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本實(shí)用新型公開一種真空噴涂旋轉(zhuǎn)靶材的行走機(jī)構(gòu)，該行走機(jī)構(gòu)位于真空靶材噴涂罐體內(nèi)并固定于罐體內(nèi)壁上；該行走機(jī)構(gòu)包括固定架及移動(dòng)車，所述固定架包括固定板及滑軌，所述滑軌固定于固定板上，而固定板固定于罐體內(nèi)壁上；所述移動(dòng)車上設(shè)置有固定靶材卷筒的靶...該專利屬于廈門映日新材料科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過廈門映日新材料科技有限公司授權(quán)不得商用。