【技術實現步驟摘要】
一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構
本技術涉及一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，按國際專利分類表（IPC)劃 分屬于靶材噴涂中移動機構
。
技術介紹
在真空噴涂旋轉靶材過程中，靶材和噴槍都位于真空罐體內，噴槍和旋轉靶材自 己必須產生水平相對移動來完成噴涂工藝，而這種水平相對移動就要通過行走機構來實 現。現有的行走機構是通過伺服電機帶動鏈條后，鏈條帶動槍架，從而使得噴槍隨著進行水 平移動。由于在真空噴涂靶材的真空罐體中有大量的粉塵，粉塵會導致鏈條與齒輪錯位，最 終導致行走機構運行不穩定甚至停止行走。大大提高了真空噴涂靶材作業的異常率；而且 噴槍上有許多連接電路和冷卻水路，在噴槍行走過程中，電路和冷卻水路也會跟著移動，這 樣導致了電路和回路異常率大大提高，從而影響旋轉靶材的噴涂效率。 由此，本專利技術人考慮對現有的靶材噴涂中水平移動的機構進行改進，本案由此產 生。
技術實現思路
針對現有技術的不足，本技術提供了一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其 增加行走機構的平穩性、降低連接噴槍電路和冷卻水路的異常發生率，從而提高旋轉靶材 的噴涂效率，降低靶材噴涂成本。 為達到上述目的，本技術是通過以下技術方案實現的： -種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，該行走機構位于真空靶材噴涂罐體內并固定 于罐體內壁上；該行走機構包括固定架及移動車，所述固定架包括固定板及滑軌，所述滑軌 固定于固定板上，而固定板固定于罐體內壁上；所述移動車上設置有固定靶材卷筒的靶材 支架，該移動車下方設置有與滑軌配合實現移動車滑動的滾輪。 進一步，所述滑軌為兩個...
【技術保護點】
一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：該行走機構位于真空靶材噴涂罐體內并固定于罐體內壁上；該行走機構包括固定架及移動車，所述固定架包括固定板及滑軌，所述滑軌固定于固定板上，而固定板固定于罐體內壁上；所述移動車上設置有固定靶材卷筒的靶材支架，該移動車下方設置有與滑軌配合實現移動車滑動的滾輪。
【技術特征摘要】
1. 一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：該行走機構位于真空靶材噴涂罐 體內并固定于罐體內壁上；該行走機構包括固定架及移動車，所述固定架包括固定板及滑 軌，所述滑軌固定于固定板上，而固定板固定于罐體內壁上；所述移動車上設置有固定靶材 卷筒的靶材支架，該移動車下方設置有與滑軌配合實現移動車滑動的滾輪。2. 根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述滑軌 為兩個平行設置的圓柱滑軌，每根滑軌下方均設置有滑軌支柱，形成滑軌支撐結構。3. 根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述移動 車包括車架、靶材支...
【專利技術屬性】
技術研發人員：羅建冬，
申請(專利權)人：廈門映日新材料科技有限公司，
類型：新型
國別省市：福建;35
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