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    下載薄膜的制造方法及制造設備的技術資料

    文檔序號:10485087

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    本發明提供一種薄膜的制造方法及制造設備,其能夠以良好的成品率制造對熱的尺寸穩定性優異的薄膜。其是進行薄膜的應力衰減處理的薄膜的制造方法,使用從氣體噴射孔對薄膜噴出加熱氣體來以非接觸狀態輸送薄膜的浮置輸送裝置(1),在以非接觸狀態輸送薄膜的同...
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