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本發明公開了一種HEMT器件柵泄漏電流中臺面泄漏電流的測試方法，主要解決現有技術不能對HEMT器件的柵泄漏電流中臺面泄漏電流分離的問題。其實現方案是：制作與被測HEMT器件結構相同，柵電極和源漏電極寬度均為被測HEMT器件α倍的測試輔助器件...
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