溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型提出了一種機械臂結構，包括與盛放片后端相連的推動器，固定在盛放片前端的前端擋片，位于盛放片表面的多個滾珠；在盛放片表面增加滾珠，半導體晶圓放置在滾珠上實現小摩擦滑動，并在其前端增加前端擋片，后端連接推動器，當半導體晶圓放置在滾珠上...該專利屬于中芯國際集成電路制造（北京）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯國際集成電路制造（北京）有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型提出了一種機械臂結構，包括與盛放片后端相連的推動器，固定在盛放片前端的前端擋片，位于盛放片表面的多個滾珠；在盛放片表面增加滾珠，半導體晶圓放置在滾珠上實現小摩擦滑動，并在其前端增加前端擋片，后端連接推動器，當半導體晶圓放置在滾珠上...