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本發明公開了一種濺鍍裝置，具有：背墊板、用以將靶材固定在所述背墊板的固定部、及包圍所述靶材的周圍的護罩。所述護罩具有開口部，所述固定部構成為通過將所述靶材的周邊部按壓在所述背墊板上，將所述靶材固定在所述背墊板上。所述護罩具有：沒有介于其中的...
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