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    下載復合真空泵泵腔結構及帶有該泵腔結構的真空泵使用方法的技術資料

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    本發明公開了一種真空泵泵腔結構,提供了一種結構簡單、節能增效,可根據工藝要求改變真空泵的抽氣速率和極限真空度的復合真空泵泵腔結構及帶有該泵腔結構的真空泵使用方法,解決了現有技術中存在的抽氣速率和極限真空度無法改變,從而造成不必要的能源浪費的...
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