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本實用新型提供一種快速熱退火機臺搬送裝置，包括：外部搬送單元、與所述外部搬送單元銜接的內部存放單元、以及與所述內部存放單元銜接的內部傳送單元。本實用新型通過所述外部搬送單元將晶盒傳輸至所述內部存放單元，再由所述內部傳送單元對所述晶盒中的晶圓...
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