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本實用新型提供了一種晶圓限制模塊和前開式晶圓盒，其中，所述晶圓限制模塊包括：連接架和多個晶圓接觸頭；所述多個晶圓接觸頭的一側均與所述連接架固定，所述多個晶圓接觸頭的另一側具有內凹的弧形表面；所述多個晶圓接觸頭之間無空隙。在本實用新型提供的晶...該專利屬于中芯國際集成電路制造（北京）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯國際集成電路制造（北京）有限公司授權不得商用。
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本實用新型提供了一種晶圓限制模塊和前開式晶圓盒，其中，所述晶圓限制模塊包括：連接架和多個晶圓接觸頭；所述多個晶圓接觸頭的一側均與所述連接架固定，所述多個晶圓接觸頭的另一側具有內凹的弧形表面；所述多個晶圓接觸頭之間無空隙。在本實用新型提供的晶...