高純度混合氣體配制系統技術方案

本實用新型專利技術公開了一種高純度混合氣體配制系統，包括分別與第一供氣單元、第二供氣單元、分析單元和計量單元連接的氣體混合單元；所述第一供氣單元包括依次連接的氣體集裝格、減壓裝置和過濾裝置；所述第二供氣單元包括依次連接的低溫液體貯槽、汽化器、減壓裝置和過濾裝置；所述第一供氣單元中的過濾裝置和第二供氣單元中的過濾裝置均與氣體混合單元連接。供氣公司直接將高純氣體用低溫液體形式給客戶供應，客戶用該高純度混合氣體配制系統在車間就能夠完成兩種高純度氣體的現場混制，解決長期以來因運輸力、生產能力和材料供應等影響客戶正常生產的問題，同時還有效地降低了公司的在供氣這塊的成本投入。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及氣體配置技術，具體涉及兩種高純度氣體現場混合的配置裝置。
技術介紹
現代的電子廠都是高效率、大規(guī)模、集成度極高的現代產業(yè)，其對氣體的純度和質量要求都非常的高，高純度氣體主要體現在對原料氣的要求，原料氣的純度至少需要達到三個9以上。現有技術中常采用的是將兩種或兩種以上的高純度氣體混制好充裝在鋼瓶中后，通過混勻機混勻，檢驗合格后再裝車運輸到需要高純度氣體的客戶處，使用鋼瓶來給客戶進行氣體供應，使得運輸成本非常的高昂(危險品運輸)，工序復雜，步驟繁瑣，當客戶用氣量達到一定規(guī)模后就需要大量的鋼瓶來盛裝混合氣體，增大了公司的成本投入。
技術實現思路
針對現有技術中的上述不足，本技術提供的高純度混合氣體配制系統，能夠現場進行高純度氣體的混制，解決了長期以來來回運輸灌裝混合氣體的成本投入大及影響客戶正常生產等問題。為了達到上述專利技術目的，本技術采用的技術方案為:提供了一種高純度混合氣體配制系統，其包括分別與第一供氣單元、第二供氣單元、分析單元和計量單元連接的氣體混合單元；所述第一供氣單元包括依次連接的氣體集裝格、減壓裝置和過濾裝置；第一供氣單元為混配氣體單元提供所需壓力的氣體；所述第二供氣單元包括依次連接的低溫液體貯槽、汽化器、減壓裝置和過濾裝置，第一供氣單元和第二供氣單元為混配氣體單元提供所需壓力的氣體；所述第一供氣單元中的過濾裝置和第二供氣單元中的過濾裝置均與氣體混合單元連接。優(yōu)選地，所述氣體混合單元包括連接在一起的混配器和緩沖罐；所述混配器與過濾裝置連接，緩沖罐分別與分析單元和計量單元連接。優(yōu)選地，所述緩沖罐和計量單元之間的管道上還連接有補償單元。優(yōu)選地，所述補償單元包括混合氣集裝格和減壓裝置，所述混合氣集裝格通過減壓裝置連接在緩沖罐和計量單元之間的管道上。優(yōu)選地，所 述第一供氣單元和/或第二供氣單元內部還設置有可燃氣體保護裝置。優(yōu)選地，所述可燃氣體保護裝置包括安裝在第一供氣單元和/或第二供氣單元所在區(qū)域內的煙感報警器和溫控器。本技術的有益效果為:供氣公司直接將高純氣體用低溫液體形式給客戶供應，客戶用該高純度混合氣體配制系統在車間就能夠完成兩種高純度氣體的現場混制，解決了長期以來因運輸力、生產能力和材料供應等影響客戶正常生產的問題，同時還有效地降低了公司的在供氣這塊的成本投入。附圖說明圖1為高純度混合氣體配制系統的原理框圖。具體實施方式如圖1所示，該高純度混合氣體配制系統包括分別與第一供氣單元、第二供氣單元、分析單元和計量單元連接的氣體混合單元；所述第一供氣單元 包括依次連接的氣體集裝格、減壓裝置和過濾裝置；所述第二供氣單元包括依次連接的低溫液體貯槽、汽化器、減壓裝置和過濾裝置；所述第一供氣單元中的過濾裝置和第二供氣單元中的過濾裝置均與氣體混合單元連接。所述氣體混合單元包括連接在一起的混配器和緩沖罐；所述混配器與過濾裝置連接，緩沖罐分別與分析單元和計量單元連接；所述緩沖罐和計量單元之間的管道上還連接有補償單元；所述補償單元包括混合氣集裝格和減壓裝置，所述混合氣集裝格通過減壓裝置連接在緩沖罐和計量單元之間的管道上，補償單元通過壓力信號的識別，自動對管網進行補充；所述第一供氣單元和/或第二供氣單元內部還設置有可燃氣體保護裝置；所述可燃氣體保護裝置包括安裝在第一供氣單元和/或第二供氣單元所在區(qū)域內的煙感報警器和溫控器。下面以氮氣占95%、氫氣占5%的混合氣體為例，對該系統進行詳細地說明:首先，將高純液氮(99.999^99.9995%)由低溫液體貯槽送到汽化器，經過熱交換后由液態(tài)氮變成1.f 1.4Mpa壓力氣態(tài)的高純氮氣，并由管道送至減壓裝置，經過減壓后的氮氣壓力降到0.95Mpa，再送入到過濾裝置，接著進入混配器；將氣體集裝格的氫氣經過管道輸送到用于氫氣的專用減壓裝置，該裝置除了實現減壓的目的外，還能根據兩端壓力，自動進行切換，保證裝置出口壓力。減壓裝置將氫氣由13Mpa減壓至1.0Mpa后輸送到過濾裝置變成潔凈氫氣后，再送入混配器。兩種氣體在混配器中配制完成后通過管道送入緩沖罐；與緩沖罐連接的分析單元，會不間斷地分析混配器配置好的氣體，當樣氣中氫氣比例符合生產要求時，系統繼續(xù)正常配制。當分析單元發(fā)現樣氣中氫氣比例過高或過低，立即停止混配器工作，以保證氣體的品質。當停電、系統發(fā)生故障停機或是供氣管網壓力過低時，為了保證客戶的正常生產，補償單元的壓力調節(jié)閥會及時打開，向供氣管網供氣。當對危險氣體進行混制時，由于可燃氣體很容易發(fā)生燃燒或爆炸，為了解決這個隱患，在第一供氣單元和/或第二供氣單元所在區(qū)域內安裝的煙感報警器和溫控器，可以實時監(jiān)控生產場所的安全狀況。以上所述僅是本技術的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本
的普通技術人員來說，在不脫離本技術原理的前提下，還可以對本技術進行若干改進，這些改進也落入本技術權利要求的保護范圍內。權利要求1.一種高純度混合氣體配制系統，其特征在于:包括分別與第一供氣單元、第二供氣單元、分析單元和計量單元連接的氣體混合單元； 所述第一供氣單元包括依次連接的氣體集裝格、減壓裝置和過濾裝置；所述第二供氣單元包括依次連接的低溫液體貯槽、汽化器、減壓裝置和過濾裝置；所述第一供氣單元中的過濾裝置和第二供氣單元中的過濾裝置均與氣體混合單元連接。2.根據權利要求1所述的高純度混合氣體配制系統，其特征在于:所述氣體混合單元包括連接在一起的混配器和緩沖罐；所述混配器與過濾裝置連接，緩沖罐分別與分析單元和計量單元連接。3.根據權利要求2所述的高純度混合氣體配制系統，其特征在于:所述緩沖罐和計量單元之間的管道上還連接有補償單元。4.根據權利要求3所述的高純度混合氣體配制系統，其特征在于:所述補償單元包括混合氣集裝格和減壓裝置，所述混合氣集裝格通過減壓裝置連接在緩沖罐和計量單元之間的管道上。5.根據權利要求1-4中任一項所述的高純度混合氣體配制系統，其特征在于:所述第一供氣單元和/或第二供氣單元內部還設置有可燃氣體保護裝置。6.根據權利要求5所述的高純度混合氣體配制系統，其特征在于:所述可燃氣體保護裝置包括安裝在第 一供氣單元和/或第二供氣單元所在區(qū)域內的煙感報警器和溫控器。專利摘要本技術公開了一種高純度混合氣體配制系統，包括分別與第一供氣單元、第二供氣單元、分析單元和計量單元連接的氣體混合單元；所述第一供氣單元包括依次連接的氣體集裝格、減壓裝置和過濾裝置；所述第二供氣單元包括依次連接的低溫液體貯槽、汽化器、減壓裝置和過濾裝置；所述第一供氣單元中的過濾裝置和第二供氣單元中的過濾裝置均與氣體混合單元連接。供氣公司直接將高純氣體用低溫液體形式給客戶供應，客戶用該高純度混合氣體配制系統在車間就能夠完成兩種高純度氣體的現場混制，解決長期以來因運輸力、生產能力和材料供應等影響客戶正常生產的問題，同時還有效地降低了公司的在供氣這塊的成本投入。文檔編號B01F15/04GK203090852SQ20122072577公開日2013年7月31日 申請日期2012年12月26日 優(yōu)先權日2012年12月26日專利技術者李涌濤 申請人:成都成鋼梅塞爾氣體產品有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種高純度混合氣體配制系統，其特征在于：包括分別與第一供氣單元、第二供氣單元、分析單元和計量單元連接的氣體混合單元；所述第一供氣單元包括依次連接的氣體集裝格、減壓裝置和過濾裝置；所述第二供氣單元包括依次連接的低溫液體貯槽、汽化器、減壓裝置和過濾裝置；所述第一供氣單元中的過濾裝置和第二供氣單元中的過濾裝置均與氣體混合單元連接。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：李涌濤，
申請(專利權)人：成都成鋼梅塞爾氣體產品有限公司，
類型：實用新型
國別省市：