一種激光切割機的防護裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術涉及半導體制造領域，尤其涉及一種激光切割機的防護裝置，包括至少一側面擋板，所述側面擋板上固定設置至少一滑輪和至少一直角支架；一激光切割機底板上設置與所述側面單板匹配的凹槽，所述側面擋板可滑動的卡接在所述凹槽內，所述滑輪隨著所述側面擋板在所述激光切割機底板上滾動，所述直角支架貼合所述激光切割機底板隨所述側面擋板滑動，即通過在機關切割機外圍設置可移動的遮擋激光的裝置，能有效的縮小激光折射的范圍，從而降低對人體造成的傷害，且有效的促進了失效分析工作的發展。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及半導體集成電路及其制造領域，尤其涉及一種激光切割機的防護>J-U ρ α裝直。
技術介紹
由于激光具有亮度強和能量密度大等特點，從而對人體的眼睛和皮膚均有傷害。(I)對眼睛的傷害:因為激光束能通過眼自身的屈光系統在視網膜上聚焦成一個非常小的光斑，使光能高度集中而導致灼傷，如燒傷生物組織，尤其是視網膜的灼傷最為常見；而處在紅外區或微波區的激光輻射由于被虹膜或晶體吸收而造成熱損傷，從而導致虹膜炎和白內障等眼科疾病。激光對眼睛的傷害與其波長、脈沖寬度、間隙時間、光束能量、入射角度、受照組織特性等因素有關。(2)對皮膚的傷害:激光對皮膚的傷害過程表現為輕度紅斑、灼燒直至組織炭化壞死，此外亦可損傷色素細胞，引起毛細栓塞，有時可見血管破潰和溢血?，F今半導體芯片制造業中，失效分析實驗室的12英寸激光切割機從物鏡最底端到地面的距離約為1.2-1.3米，但是目前還沒有任何的防護措施來預防激光對人體造成的傷害。由于12英寸激光切割機主要采用的是綠光和紫外光，其損害皮膚的嚴重程度是由皮膚對激光吸收率決定的，而皮膚對激光的吸收率由激光的波長所決定，即皮膚對某波長激光的吸收率越高，受到的損傷也越嚴重。如皮膚對紫外激光的吸收率很高時，這類激光就是損傷皮膚的主要波段激光。 在紫外激光照射皮膚時可以引起皮膚紅斑、老化，過量時嚴重的致癌變，對皮膚危害性最大的紫外光波在270 290nm，波長比270 290nm大的或小的其危害程度都相對地減少。而當實驗室人員在操作12英寸激光切割機時，激光會打在樣品上后折射出來形成一個激光折射區域(即物鏡到載物臺區域)，若無任何防護措施，將對人體產生一定的傷害。
技術實現思路
本技術公開了一種激光切割機的防護裝置，其中，至少一側面擋板,所述側面擋板上固定設置至少一滑輪和至少一直角支架；一激光切割機底板上設置與所述側面單板匹配的凹槽，所述側面擋板可滑動的卡接在所述凹槽內，所述滑輪隨著所述側面擋板在所述激光切割機底板上滾動，所述直角支架貼合所述激光切割機底板隨所述側面擋板滑動。上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述側面擋板與所述激光切割機底板垂直的端面上還設置一沿該端面開合的門板。上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述門板上還設置一小門。上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述側面擋板的高度大于150_。上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述凹槽的長度大于所述側面擋板的長度，凹槽寬度大于側面擋板厚度。上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述側面擋板的長端面與所述凹槽卡接。上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述門板的高度大于所述側面擋板的高度，厚度和所述側面擋板的厚度一樣。上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述直角支架的高度小于所述側面擋板的高度，厚度大于所述側面擋板的厚度。上述的激光切割機的防護裝置，其中，所述滑輪的半徑為IOmm,寬5mm。綜上所述，由于采用了上述技術方案，本技術提出一種激光切割機的防護裝置，通過在機關切割機外圍設置可移動的遮擋激光的裝置，能有效的縮小激光折射的范圍，從而降低對人體造成的傷害，且有效的促進了失效分析工作的發展。附圖說明 圖1-3是本技術激光切割機的防護裝置中針對大樣品的結構示意圖；圖4-6是本技術激光切割機的防護裝置中針對小樣品的結構示意圖。具體實施方式以下結合附圖對本技術的具體實施方式作進一步的說明:圖1-3是本技術激光切割機的防護裝置中針對大樣品的結構示意圖；圖4-6是本技術激光切割機的防護裝置中針對小樣品的結構示意圖。如圖1-6所示，本技術一種激光切割機的防護裝置，在切割機底板I上設置長度為320mm、寬為3mm的兩個凹槽2,高度為160mm、長度為320mm、厚度為2mm的兩側面板3的長端面可滑動的分別一一卡接在凹槽2內，兩高度為90mm、厚度為5mm的直角支架6的長板面分別固定在兩側面板3上，直角支架6的另一板面則貼合切割機底板I的表面隨側面板3滑動，以保障側面板3在移動的時候垂直切割機底板I的表面沿溝槽2移動，半徑為10mm、寬5mm的兩滑輪5分別固定設置在兩側面板3上，以隨側面板3沿凹槽2在切割機底板I上滾動，保障側面板3在移動的時候垂直切割機底板I的表面沿溝槽2移動；每個側面板3的高端面上還設置有長度為200mm、高度為170mm、厚度為2mm門板4，并沿該高端面進行開合。進一步的，門板4還設置一和切割機底板I上凸起7形狀匹配的小門8.其中，側面擋板3、門板4和小門8用以遮擋激光的放射和散射。具體的，如圖1-3所示，當進行大樣品如12英寸晶圓片切割時，關閉兩門板4及小門8，即將切割機放置在調節好的兩側面擋板3、兩門板4與小門8形成的半封閉空間內進行激光切割工藝，由于兩側面擋板3、兩門板4與小門8能有效遮擋大部分的外泄激光，縮小激光折射范圍，降低激光對人體的危害程度。如圖4-6所示，當進行小樣品如硅片微切割機(SELA)制備的樣品或用于聚焦離子束(Focus 1n Beam，簡稱FIB)的樣品切割時，通過滑輪5移動側面擋板3形成較小的半封閉式空間，進而能進一步鎖定并縮小激光折射范圍，降低激光對人體的危害程度。進一步的，設置在門板4上的小門8則能保證側面板3移動后，門板4能不被切割機底板I柵的凸起7所阻擋，而正常閉合，避免激光外泄。綜上所述，由于采用了上述技術方案，本技術提出一種激光切割機的防護裝置，通過在機關切割機外圍設置可移動的遮擋激光的裝置，能有效的縮小激光折射的范圍，從而降低對人體造成的傷害，且有效的促進了失效分析工作的發展。通過說明和附圖，給出了具體實施方式的特定結構的典型實施例，基于本技術精神，還可作其他的轉換。盡管上述技術提出了現有的較佳實施例，然而，這些內容并不作為局限。對于本領域的技術人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權利要求書應看作是涵蓋本技術的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權利要求書范圍內任何和所有等價的范圍與內容，都應認為仍屬本技術的意圖和范圍內。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種激光切割機的防護裝置，其特征在于，至少一側面擋板，所述側面擋板上固定設置至少一滑輪和至少一直角支架；一激光切割機底板上設置與所述側面單板匹配的凹槽，所述側面擋板可滑動的卡接在所述凹槽內，所述滑輪隨著所述側面擋板在所述激光切割機底板上滾動，所述直角支架貼合所述激光切割機底板隨所述側面擋板滑動。

【技術特征摘要】
1.一種激光切割機的防護裝置，其特征在于， 至少一側面擋板，所述側面擋板上固定設置至少一滑輪和至少一直角支架； 一激光切割機底板上設置與所述側面單板匹配的凹槽，所述側面擋板可滑動的卡接在所述凹槽內，所述滑輪隨著所述側面擋板在所述激光切割機底板上滾動，所述直角支架貼合所述激光切割機底板隨所述側面擋板滑動。2.根據權利要求1所述的激光切割機的防護裝置，其特征在于，所述側面擋板與所述激光切割機底板垂直的端面上還設置一沿該端面開合的門板。3.根據權利要求2所述的激光切割機的防護裝置，其特征在于，所述門板上還設置一小門。4.根據權利要求1-3中任意一項所述的激光切割機的防護裝置，其特征在于，所...

【專利技術屬性】
技術研發人員：孫蓓瑤，唐涌耀，
申請(專利權)人：上海華力微電子有限公司，
類型：實用新型
國別省市：