具有多個探頭單元的陣列檢測裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術提供一種具有多個探頭單元的陣列檢測裝置，其中在陣列檢測裝置中安裝有多個探頭單元，從而一個探頭單元檢測特定的玻璃模型，另一個探頭單元交換探針卡用來對具有不同圖案線寬的另一個LCD玻璃進行檢測，以便能夠減少由于交換探針卡而產(chǎn)生的裝置的空置時間。

【技術實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術涉及一種具有多個探頭單元的陣列檢測裝置，特別涉及一種將多個探頭單 元安裝在陣列檢測裝置中，在LED產(chǎn)品的生產(chǎn)期間，當探針卡接觸到LCD玻璃的圖案時，執(zhí) 行檢測處理，從而一個探頭單元檢測一個特定的LCD玻璃，同時另一個探頭單元將探針卡 交換來檢測另外一個具有不同圖案線寬的LCD玻璃的陣列測試裝置。
技術介紹
如現(xiàn)有技術中公知的，平板顯示器包括液晶顯示器(LCDs)、等離子顯示面板 (PDPs)和場致發(fā)射顯示器(FEDs)。為制造這樣一個平板顯示器，包括制造下基板的步驟，制造上基板的步驟以及將 上、下基板粘結的步驟。更為詳細地，在用于制造下基板的玻璃盤上形成多個單元，在每個單元中設置多 條橫向線和多條縱向線，其按照矩陣的方式相互交叉。并且在橫向線和縱向線的每一個交 叉部上形成具有透明像素電極的像素單元。在每個像素單元中，薄膜晶體管與橫向線、縱向線和像素電極連接。在檢測步驟之后，通過劃線步驟切割玻璃盤上形成的多個單元，并且將多個單元 中的每一個從玻璃盤上切割下來，即，在上基板的制備步驟完成后，將下基板粘結到上基板 上，然后將用于驅(qū)動像素單元的驅(qū)動電路和各種元件進行組裝，以完成一個平板顯示器的 制備。然后，在上述平板顯示器的制造過程中，在對玻璃盤上形成的多個單元進行檢測 的步驟中，通過使用探針裝置將電檢測信號施加于電路圖上，從而檢測電路的狀態(tài)。圖1A和圖1B為示意性闡述用于傳統(tǒng)的平板顯示器檢測裝置的探針夾具裝置的俯 視圖和主視圖。探針夾具裝置包括探針調(diào)整滑塊I和2、探針調(diào)整滑塊安裝板3、基板4、固 定臺5、用于對準探針卡和玻璃圖案的攝像頭、以及探針卡7。因此，為了執(zhí)行檢測平板顯示器的步驟，將一套或多個對應于相應的玻璃模型的 探針卡安裝到探針調(diào)整滑塊安裝板上以進行檢測。S卩，當驅(qū)動平臺向前、后、左、右、上和下移動的同時，玻璃相對于探針卡固定于平 臺上，平臺與探針卡和玻璃相接觸，進行檢測。然而，在上面提到的傳統(tǒng)的平板顯示器檢測裝置中，由于每當玻璃模型改變時，為 了對具有不同線寬的圖案進行檢測，必須交換探針卡，以使所述檢測用于各種平板顯示器 玻璃模型。當探針卡進行交換時，不能進行檢測操作，設備的操作時間顯著地減少，并且必 須安裝多個不同的探針卡，以解決上述問題。而且，由于平臺的移動類型增加了平臺移動的必要區(qū)域，而且也增加了裝置的體 積，因此在使用傳統(tǒng)的裝置對尺寸趨于增加的玻璃進行測量的時候是有局限的。
技術實現(xiàn)思路
因此，本專利技術用來解決現(xiàn)有技術中發(fā)生的上述問題，并且本專利技術的目的是提供一 種陣列檢測裝置，該裝置具有多個探頭單元，其中多個探頭單元安裝在陣列檢測裝置中，從 而一個探頭單元檢測一個特定的玻璃模型，另一個探頭單元交換探針卡來檢測具有不同圖 案線寬的另一個LCD玻璃，盡可能地減少由于交換探針卡而帶來的閑置時間。為了達到這個目的，本專利技術提供一種陣列檢測裝置，該檢測裝置具有多個探頭單 元，包括:基板，具有檢測區(qū)域，在該檢測區(qū)域的中央部分對平板顯示器玻璃進行檢測，并且 具有空置區(qū)域，該空置區(qū)域位于檢測區(qū)域的相對兩側；平臺，安裝在基板的檢測區(qū)域，并且 特定的玻璃定位于平臺上；至少兩個探頭單元，其上安裝有多個探針卡，用于當與電路圖進 行電接觸時，檢測形成在玻璃上的電路圖的特性，并且所述探頭單元安裝在基板上；第一線 性電動機，用于向前和向后驅(qū)動平臺；和第二線性電動機，用于向左和向右驅(qū)動多個探頭單J Li ο根據(jù)本專利技術，當平板顯示器玻璃的不同模型通過一個陣列檢測裝置進行檢測時， 由于多個探頭單元中的一個探頭單元檢測一個特定的玻璃模型，并且另一個探頭交換一個 探針卡來檢測具有不同圖案線寬的另一個玻璃，由于使交換探針卡帶來的設備的空置時間 減少，所以系統(tǒng)的運轉效率得到提聞。附圖說明通過下面的詳細描述并結合附圖會使本專利技術上面的以及其他的目的、特征和優(yōu)點 更清楚，其中:圖1A和圖1B為俯視圖和主視圖，其示意性地示出了用于傳統(tǒng)的平板顯示器檢測 裝置的探針夾具裝置。圖2為立體圖，示出了本專利技術的陣列檢測裝置的結構，該陣列檢測裝置具有多個 探頭單元；圖3為主視圖，示出了本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置的結構；圖4為俯視圖，示出了本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置的結構；圖5為立體圖，示出了本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置的平臺的結 構；圖6為立體圖，示出了本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置的每個探頭單 元的結構；圖7為立體圖，示出了本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置的變換裝置的 結構。具體實施方式下面，將參考附圖來詳細地描述本專利技術的典型的實施例。圖2為立體圖，示出了本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置的結構。圖3 為主視圖，示出了本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置的結構。圖4為俯視圖，示出 了本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置的結構。圖5為立體圖，示出了本專利技術的具 有多個探頭單元的陣列檢測裝置的平臺的結構。圖6為立體圖，示出了本專利技術的具有多個 探頭單元的陣列檢測裝置的每個探頭單元的結構。圖7為立體圖，示出了本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置的變換裝置的結構。首先，本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置按照如下方式實現(xiàn)，使多個探 頭單元50安裝在陣列檢測裝置中，以使用一個探頭單元50來測量特定的平板顯示器玻璃 100，并且使用另一個探頭單元50來交換探針卡，檢測具有不同圖案線寬的另一個玻璃。為此，在本專利技術的具有多個探頭單元的陣列檢測裝置中，平臺30和一對探頭單元 50安裝在具有特定結構的基板10上，該基板通過第一線性電動機20和第二線性電動機40 能夠向上、下、如和后移動?；?0具有一個基本呈T形的平面形狀，設置在其中央部分的檢測區(qū)域A用于檢 測平板顯示器玻璃100，空置區(qū)域B設于檢測區(qū)域A的相對側。將用于定位特定玻璃100以執(zhí)行檢測過程的平臺，安裝到基板10的檢測區(qū)域A 中，第一線性電動機20安裝在平臺30的下面，用于驅(qū)動平臺30向前和向后。平臺30設置為使相應的玻璃100定位在平臺的上表面而進行檢測。為此目的，平 臺30具有基本上呈矩形板狀的主體38，并包括多個用于在平臺的上表面定位和從平臺的 上表面分離玻璃100的起模頂桿32、多個用于確定相應的玻璃100位置的預校準器34、以 及安裝在主體38的中央部分，用來當實施吹氣功能時有選擇地旋轉相應的玻璃100的卡盤 36。用于驅(qū)動探頭單元50向左和向右移動的第二線性電動機40安裝在基板10的后 端，因此探頭單元50設置為通過第二線性電動機40在基板10的檢測區(qū)域A和空置區(qū)域B 之間進行有選擇地移動。多個探針卡60安裝在探頭單元50上，用于在與電路圖電接觸時，檢測定位于平臺 30上的、形成于相應的玻璃100中的電路圖的特性，其中一對探頭單元50安裝于本專利技術的 實施例的基板10上。在對探頭單元50更加詳細的描述中，探頭單元50包括:具有特定形狀的托架52， 該托架安裝在第二線性電動機40上；和一個探針卡組。該探針卡組安裝于托架52中，包 括:多個探針卡60，該探針卡用于在與電路圖電接觸時，檢測形成于玻璃100中的電路圖的 特性；和多個用于對探針卡的銷和測量區(qū)域進行攝像的攝像頭54。此外，多個驅(qū)動電動機56a和56e安裝在托架52中，該驅(qū)動本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術保護點】
一種陣列檢測裝置，其具有多個探頭單元，包括：基板，具有檢測區(qū)域以及該位于檢測區(qū)域相對兩側的空置區(qū)域，在該檢測區(qū)域的中央部分對平板顯示器玻璃進行檢測；平臺，該平臺安裝在基板的檢測區(qū)域中，并且特定的玻璃定位于其上；至少兩個探頭單元，其上安裝有多個探針卡，用于當與電路圖進行電接觸時，檢測形成在玻璃上的電路圖的特性，并且所述探頭單元安裝在基板上；第一線性電動機，用于向前和向后驅(qū)動所述平臺；第二線性電動機，用于向左和向右驅(qū)動多個探頭單元。

【技術特征摘要】
2011.11.23 KR 10-2011-01227491.一種陣列檢測裝置，其具有多個探頭單元，包括:基板，具有檢測區(qū)域以及該位于檢測區(qū)域相對兩側的空置區(qū)域，在該檢測區(qū)域的中央 部分對平板顯示器玻璃進行檢測；平臺，該平臺安裝在基板的檢測區(qū)域中，并且特定的玻璃定位于其上；至少兩個探頭單元，其上安裝有多個探針卡，用于當與電路圖進行電接觸時，檢測形成 在玻璃上的電路圖的特性，并且所述探頭單元安裝在基板上；第一線性電動機，用于向前和向后驅(qū)動所述平臺；第二線性電動機，用于向左和向右驅(qū)動多個探頭單元。2.如權利要求1所述的陣列檢測裝置，其中在基板的每個空置區(qū)域，安裝有交換工具， 用于有選擇地夾住與特定玻璃模型相對應的探針卡組，其中夾住探針...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：金鐘紋，柳尚燦，樸俊植，金忍洙，
申請(專利權)人：陽電子系統(tǒng)株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：