【技術實現步驟摘要】
本技術涉及多晶硅領域,尤其涉及一種多晶雙端面研磨機。
技術介紹
數控多晶雙端面研磨機是多晶硅長方體四平面加工的必備設備,而多晶硅錠經工藝處理后又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料。多晶硅錠作為現代信息社會的關鍵支撐材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料,也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構的作用為,在數控多晶雙端面研磨機作業過程中,磨頭進給機構可以使磨頭平穩、勻速的前進和退出,保證被加工件的磨削精度,且不會將被加工件損壞。一般的磨頭進給機構,是采用硬性定位的方式來實現的,操作困難,容易造成被加工件損壞,維護困難等現象。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是提供一種數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構,通過電機帶動絲杠副運動,解決了原機構引起的磨頭進給困難、被加工件易損壞的現象。本技術是這樣實現的:一種數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構,包括支座、滑板、線性滑動導軌、滾珠絲杠、絲桿座和電機;所述線性滑動導軌共有一對,一對線性滑動導軌平行固定安裝在支座上,所述滾珠絲杠通過軸承安裝在支座上,滾珠絲杠與線性滑動導軌平行設置;所述電機通過傳動機構與滾珠絲杠相連,所述絲桿座固定安裝在滾珠絲杠的絲杠螺母上,所述滑板安裝在線性滑動導軌的滑塊上,滑板與絲桿座固定相連,磨頭固定安裝在滑板的頂部。所述的電機通過接套固定安裝在減速箱上,所述減速箱固定安裝在支座上,電機通過減速箱與滾珠絲杠相連帶動滾珠絲杠。所述滾珠絲杠上靠近軸承的一端旋有鎖緊螺母。所述滑板兩端與支座之間設有防護罩。所述的防護罩為折疊伸縮防護罩 ...
【技術保護點】
一種數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構,其特征是:包括支座(1)、滑板(2)、線性滑動導軌(3)、滾珠絲杠(4)、絲桿座(5)和電機(6);所述線性滑動導軌(3)共有一對,一對線性滑動導軌(3)平行固定安裝在支座(1)上,所述滾珠絲杠(4)通過軸承(7)安裝在支座(1)上,滾珠絲杠(4)與線性滑動導軌(3)平行設置;所述電機(6)通過傳動機構與滾珠絲杠(4)相連,所述絲桿座(5)固定安裝在滾珠絲杠(4)的絲杠螺母上,所述滑板(2)安裝在線性滑動導軌(3)的滑塊上,滑板(2)與絲桿座(5)固定相連,磨頭(8)固定安裝在滑板(2)的頂部。
【技術特征摘要】
1.一種數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構,其特征是:包括支座(I)、滑板(2)、線性滑動導軌(3)、滾珠絲杠(4)、絲桿座(5)和電機¢);所述線性滑動導軌(3)共有一對,一對線性滑動導軌(3)平行固定安裝在支座(I)上,所述滾珠絲杠(4)通過軸承(7)安裝在支座(I)上,滾珠絲杠(4)與線性滑動導軌(3)平行設置;所述電機(6)通過傳動機構與滾珠絲杠(4)相連,所述絲桿座(5)固定安裝在滾珠絲杠(4)的絲杠螺母上,所述滑板(2)安裝在線性滑動導軌(3)的滑塊上,滑板(2)與絲桿座(5)固定相連,磨頭(8)固定安裝在滑板⑵的頂部。2.如權利要求1所述的數控多晶雙端面研磨機磨頭進給機構,其特征是:所述的電機(...
【專利技術屬性】
技術研發人員:吳學軍,周凱平,
申請(專利權)人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司,
類型:新型
國別省市:寧夏;64
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