【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及太陽能光伏領域，具體涉及單晶爐真空除塵過濾的一種裝置。
技術介紹
單晶生長時，對真空要求較高，每臺單晶爐都配有獨立的真空泵抽真空。在抽真空的同時，不斷充入高純的氬氣，作為保護氣，防止高溫下硅與氧、碳等發生反應。但是，高純氬氣中還是含有微量的氧氣，單晶爐體自身的密封效果不佳導致的空氣泄漏，以及單晶生長所用的石英坩堝、石墨系統等都會成生或者釋放二氧化硅、碳化硅等雜質。這些雜質隨氬氣被真空泵抽出，以保持單晶爐內真空。而這些雜質進入真空泵后，會大大降低真空泵的使用壽命，真空泵油也要頻繁更換，成本高昂。目前使用的真空除塵過濾系統，為單層不銹鋼濾網過濾，只能過濾顆粒較大的雜質，對于細小雜質無法過濾；而且過濾面積小，容易堵塞，增加了真空泵的負荷。
技術實現思路
本專利技術的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統，能夠實現過濾更多更小的雜質，減少真空泵油的用量，延長真空泵的使用壽命，提高單晶爐內真空度，提聞生廣成品率。本專利技術采用的技術方案是:一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統，包括安全充氣閥、過濾罐蓋、過濾罐體、蜂窩狀超細纖維紙、鋁合金內筒、進氣口和出氣口，所述過濾罐體上設有可開啟式過濾罐蓋，過濾罐蓋上設有安全充氣閥，過濾罐體內設有鋁合金內筒，所述蜂窩狀超細纖維紙固定在鋁合金內筒上，過濾罐體的下面設有出氣口，過濾罐體的側面設有進氣口。 作為優選，所述鋁合金內筒上設有提鉤。本專利技術循環系統改變了原有的單層不銹鋼濾網為蜂窩狀超細纖維紙過濾，能夠實現過濾更多更小的雜質，減少真空泵油的用量，延長真空泵的使用壽命，提高單晶爐內真空度，提高...
【技術保護點】
一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統，其特征在于：包括安全充氣閥、過濾罐蓋、過濾罐體、蜂窩狀超細纖維紙、鋁合金內筒、進氣口和出氣口，所述過濾罐體上設有可開啟式過濾罐蓋，過濾罐蓋上設有安全充氣閥，過濾罐體內設有鋁合金內筒，所述蜂窩狀超細纖維紙固定在鋁合金內筒上，過濾罐體的下面設有出氣口，過濾罐體的側面設有進氣口。
【技術特征摘要】
1.一種用于單晶爐真空除塵過濾的系統，其特征在于:包括安全充氣閥、過濾罐蓋、過濾罐體、蜂窩狀超細纖維紙、鋁合金內筒、進氣口和出氣口，所述過濾罐體上設有可開啟式過濾罐蓋，過濾罐蓋上設有安全充氣閥，過濾罐體內...
【專利技術屬性】
技術研發人員：徐錫文，
申請(專利權)人：揚州華爾光伏科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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