線狀鋸制造技術(shù)

線狀鋸具備：多個(gè)加工用輥（11A、11B），在多個(gè)加工用輥上掛設(shè)用于工件加工的線材（12）；供給側(cè)卷線筒（13A、13B），進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而向加工用輥（11A、11B）之間供給線材（12）；以及收卷側(cè)卷線筒（13B、13A），進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而將加工用輥（11A、11B）之間的線材（12）收卷。線狀鋸具備：一對(duì)位移機(jī)構(gòu)（16），使兩個(gè)卷線筒（13A、13B）分別沿著旋轉(zhuǎn)軸線的方向進(jìn)行位移動(dòng)作；一對(duì)傳感器（18），分別檢測(cè)加工用輥（11A、11B）與兩個(gè)卷線筒（13A、13B）之間的線材（12）的張力；以及一對(duì)張力調(diào)整機(jī)構(gòu)（17），根據(jù)傳感器（18）的檢測(cè)結(jié)果，分別使卷線筒（13A、13B）移動(dòng)，以調(diào)整線材（12）的張力。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)涉及一種線狀鋸，用線材將由例如半導(dǎo)體材料、磁性材料、陶瓷等脆性材料構(gòu)成的工件切斷。
技術(shù)介紹
以往，作為這種線狀鋸，提出有例如專利文獻(xiàn)I中公開的結(jié)構(gòu)。在該現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中，線狀鋸具備掛設(shè)線材的多個(gè)加工用輥；供給側(cè)卷線筒，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而向加工用輥之間供給線材；以及收卷側(cè)卷線筒，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而將加工用輥之間的線材收卷。在供給側(cè)卷線筒以及收卷側(cè)卷線筒上設(shè)置有用于使這些卷線筒沿著旋轉(zhuǎn)軸線的方向進(jìn)行位移動(dòng)作的位移機(jī)構(gòu)。在加工用輥與供給側(cè)卷線筒以及收卷側(cè)卷線筒之間分別設(shè)置有用于調(diào)整線材的張力的浮動(dòng)輥式張力調(diào)整裝置、以及用于引導(dǎo)線材行進(jìn)的多個(gè)引導(dǎo)輥。而且，線材在加工用輥之間行進(jìn)的同時(shí)，向該線材上供給含有磨粒的漿液。在該狀態(tài)下，工件被按壓到線材上，工件被切斷。專利文獻(xiàn)1:日本特開平4-135158號(hào)公報(bào)在該現(xiàn)有結(jié)構(gòu)中，通過位移機(jī)構(gòu)使兩個(gè)卷線筒沿著其旋轉(zhuǎn)軸線的方向進(jìn)行位移動(dòng)作。因此，無需在與各卷線筒對(duì)置的位置上設(shè)置包括使線材沿著卷線筒的旋轉(zhuǎn)軸線的方向移動(dòng)的位移輥的位移機(jī)構(gòu)。但是，在該現(xiàn)有構(gòu)成中，在加工用輥與兩個(gè)卷線筒之間分別設(shè)置有調(diào)整線材張力的張力調(diào)整裝置和引導(dǎo)線材行進(jìn)的多個(gè)引導(dǎo)輥。因此，存在這樣的問題不僅部件數(shù)量多且結(jié)構(gòu)復(fù)雜，在加工用輥與兩個(gè)卷線筒之間，需要用于配置張力調(diào)整裝置以及多個(gè)引導(dǎo)輥的空間，導(dǎo)致整個(gè)線狀鋸變大型化。另外，線材在加工用輥與兩個(gè)卷線筒之間一邊通過多個(gè)引導(dǎo)輥來轉(zhuǎn)換行進(jìn)方向一邊行進(jìn)，所以存在如下問題在線材上容易產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)，產(chǎn)生慣性問題，線材的斷線率變高。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)是著眼于這種現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題而提出的。其目的在于，提供一種線狀鋸，無需確保用于配置張力調(diào)整裝置或多個(gè)引導(dǎo)輥的空間，能夠?qū)⒄麄€(gè)線狀鋸小型化，能夠抑制由引導(dǎo)輥導(dǎo)致在線材上產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)，并且能夠降低由引導(dǎo)輥引起的慣性問題或線材的斷線率。為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本專利技術(shù)提供一種線狀鋸，具備多個(gè)加工用輥，在所述多個(gè)加工用輥上掛設(shè)用于工件加工的線材；供給側(cè)卷線筒，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而向所述加工用輥之間供給線材；以及收卷側(cè)卷線筒，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而將所述加工用輥之間的線材收卷。線狀鋸的特征在于，具備一對(duì)位移機(jī)構(gòu)，使所述供給側(cè)卷線筒以及所述收卷側(cè)卷線筒分別沿著其旋轉(zhuǎn)軸線的方向進(jìn)行位移動(dòng)作；一對(duì)傳感器，分別檢測(cè)所述加工用輥與所述供給側(cè)卷線筒以及所述加工用輥與所述收卷側(cè)卷線筒之間的所述線材的張力；以及一對(duì)張力調(diào)整機(jī)構(gòu)，根據(jù)所述傳感器的檢測(cè)結(jié)果，分別使所述供給側(cè)卷線筒以及所述收卷側(cè)卷線筒移動(dòng)，以調(diào)整所述線材的張力。因此，在本專利技術(shù)的線狀鋸中，能夠?qū)⑹咕砭€筒沿著其旋轉(zhuǎn)軸線的方向進(jìn)行位移動(dòng)作的位移機(jī)構(gòu)和檢測(cè)線材的張力的張力調(diào)整機(jī)構(gòu)一體地附設(shè)在各個(gè)卷線筒上。由此，與現(xiàn)有結(jié)構(gòu)不同，無需在加工用輥與各個(gè)卷線筒之間設(shè)置浮動(dòng)輥式的張力調(diào)整裝置以及多個(gè)引導(dǎo)輥。因此，無需確保用于配置這些部件的空間，能夠?qū)蓚€(gè)卷線筒靠近加工用輥進(jìn)行配置，能夠簡(jiǎn)化線狀鋸的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒄麄€(gè)線狀鋸小型化。另外，能夠省略加工用輥與兩個(gè)卷線筒之間的多個(gè)引導(dǎo)輥，所以能夠抑制隨著線材被引導(dǎo)輥引導(dǎo)而行進(jìn)導(dǎo)致在線材上產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)，并且能夠降低由引導(dǎo)輥引起的慣性問題、線材的斷線率。在上述結(jié)構(gòu)中，所述傳感器對(duì)從所述線材產(chǎn)生的聲波進(jìn)行感應(yīng)來檢測(cè)所述線材的張力。在上述結(jié)構(gòu)中，所述傳感器在從所述線材離開的位置上檢測(cè)所述線材的張力。 在上述結(jié)構(gòu)中，各個(gè)位移機(jī)構(gòu)具備:支承板，對(duì)所述供給側(cè)卷線筒以及所述收卷側(cè)卷線筒之中的相應(yīng)的一個(gè)卷線筒進(jìn)行支承；位移用螺母，被固定在該支承板上；位移用滾珠螺桿，以可動(dòng)作的方式與所述位移用螺母螺合，并且沿著所述卷線筒的旋轉(zhuǎn)軸線的方向延伸；以及位移用電動(dòng)機(jī)，使所述位移用滾珠螺桿旋轉(zhuǎn)，使所述支承板沿著所述位移用滾珠螺桿移動(dòng)。在上述結(jié)構(gòu)中，各個(gè)張力調(diào)整機(jī)構(gòu)具備:支承座，對(duì)所述一對(duì)位移機(jī)構(gòu)之中的一個(gè)位移機(jī)構(gòu)進(jìn)行支承；調(diào)整用螺母，被固定在該支承座上；調(diào)整用滾珠螺桿，以可動(dòng)作的方式與所述調(diào)整用螺母螺合，并且沿著所述加工用輥的一個(gè)輥延伸；以及調(diào)整用電動(dòng)機(jī)，使所述調(diào)整用滾珠螺桿旋轉(zhuǎn)，使所述支承座沿著所述調(diào)整用滾珠螺桿選擇性地向所述加工用輥的一個(gè)輥靠近及遠(yuǎn)離。附圖說明圖1是表示一實(shí)施方式的線狀鋸的主視圖。圖2是圖1的線狀鋸的俯視圖。圖3是圖1的沿3-3線的剖視圖。附圖標(biāo)記說明11八、1他..加工用輥、仏..線材、134、138吣卷線筒、144、148吣支承裝置、價(jià)..位移機(jī)構(gòu)、17…張力調(diào)整機(jī)構(gòu)、18…傳感器、21…支承座、22…調(diào)整用電動(dòng)機(jī)、23…調(diào)整用滾珠螺桿、24…調(diào)整用螺母、25…支承板、26、27…軸裝置、28…旋轉(zhuǎn)用電動(dòng)機(jī)、29…位移用電動(dòng)機(jī)、30…位移用滾珠螺桿、31…位移用螺母、W…工件。具體實(shí)施例方式下面，依照附圖來說明將本專利技術(shù)具體化的線狀鋸的一實(shí)施方式。 如圖1和圖2所示，在本實(shí)施方式的線狀鋸中，在未予圖示的機(jī)架上，在水平面內(nèi)隔著間隔配置有多個(gè)(本實(shí)施方式中為一對(duì))加工用輥11A、11B，加工用輥IlAUlB被支承成能夠以相互平行延伸的旋轉(zhuǎn)軸線為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。在各加工用輥IlAUlB的外周面上，以預(yù)定的間距形成有多個(gè)環(huán)狀槽11a，以線材12被配置在該加工用輥IlAUlB的環(huán)狀槽Ila內(nèi)的方式在加工用輥IlAUlB之間掛設(shè)線材12。在夾著加工用輥IlAUlB的兩側(cè)位置的下方，在機(jī)架上，一對(duì)卷線筒13A、13B被支承裝置14A、14B支承成能夠以與加工用輥11A、IIB的旋轉(zhuǎn)軸線平行延伸的旋轉(zhuǎn)軸線為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。而且，所述加工用輥11A、IIB和卷線筒13A、13B以預(yù)定循環(huán)進(jìn)行往返旋轉(zhuǎn)，使得線材12在加工用輥IlAUlB之間以預(yù)定的循環(huán)進(jìn)行往返移動(dòng)。當(dāng)加工用輥IlAUlB以及卷線筒13A、13B進(jìn)行正旋轉(zhuǎn)時(shí)，卷線筒13A、13B之中的一個(gè)卷線筒13A作為供給側(cè)卷線筒，起到向加工用輥IlAUlB之間供給線材12的作用，而另一個(gè)卷線筒13B作為收卷側(cè)卷線筒，起到從加工用輥IlAUlB之間將已使用的線材12收卷的作用。當(dāng)加工用輥IlAUlB以及卷線筒13A、13B進(jìn)行逆旋轉(zhuǎn)時(shí)，卷線筒13A作為收卷側(cè)卷線筒發(fā)揮作用，卷線筒13B作為供給側(cè)卷線筒發(fā)揮作用。在圖1和圖2所示的狀態(tài)下，如箭頭所示，左側(cè)的卷線筒13A成為供給側(cè)卷線筒，右側(cè)的卷線筒13B成為收卷側(cè)卷線筒。在所述兩個(gè)加工用輥IlAUlB之間的線材12的上方，配置有可選擇性地進(jìn)行上升和下降的未予圖示的鞍，在該鞍的下面設(shè)置有支承板15，工件W被粘貼在支承板15上而被可裝卸地安裝。而且，隨著加工用輥IlAUlB以及卷線筒13A、13B旋轉(zhuǎn)，線材12沿著延長(zhǎng)方向在加工用輥IlAUlB之間移動(dòng)的同時(shí)，該線材12上被供給含有磨粒的漿液。在該狀態(tài)下，通過使鞍下降，工件W被按壓到線材12上，該工件W被切斷。如圖1 圖3所示，在所述卷線筒13A、13B的支承裝置14A、14B上分別設(shè)置有位移機(jī)構(gòu)16，用于使卷線筒13A、13B之中的相應(yīng)的一個(gè)卷線筒沿著其旋轉(zhuǎn)軸線的方向進(jìn)行位移動(dòng)作；以及張力調(diào)整機(jī)構(gòu)17，用于使卷線筒13A或13B沿著線材12的延長(zhǎng)方向移動(dòng)而調(diào)整線材12的張力。在機(jī)架上，在加工用輥IlA與卷線筒13A之間、以及在加工用輥IlB與卷線筒13B之間，分別以與線材12對(duì)置的方式設(shè)置有傳感器18，傳感器18用于檢測(cè)線材12的張力。傳感器18與線材12之間隔著間隔配置。這些傳感器18本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來華專利技術(shù)】2011.07.29 JP 2011-1670251.一種線狀鋸，具備: 多個(gè)加工用輥，在所述多個(gè)加工用輥上掛設(shè)用于工件加工的線材； 供給側(cè)卷線筒，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而向所述加工用輥之間供給線材；以及 收卷側(cè)卷線筒，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而將所述加工用輥之間的線材收卷； 所述線狀鋸的特征在于，具備: 一對(duì)位移機(jī)構(gòu)，使所述供給側(cè)卷線筒以及所述收卷側(cè)卷線筒分別沿著其旋轉(zhuǎn)軸線的方向進(jìn)行位移動(dòng)作； 一對(duì)傳感器，分別檢測(cè)所述加工用輥與所述供給側(cè)卷線筒以及所述加工用輥與所述收卷側(cè)卷線筒之間的所述線材的張力；以及 一對(duì)張力調(diào)整機(jī)構(gòu)，根據(jù)所述傳感器的檢測(cè)結(jié)果，分別使所述供給側(cè)卷線筒以及所述收卷側(cè)卷線筒移動(dòng)，以調(diào)整所述線材的張力。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線狀鋸，其特征在于， 所述傳感器對(duì)從所述線材產(chǎn)生的聲波進(jìn)行感應(yīng)來檢測(cè)所述線材的張力。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線狀鋸，其特征在...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：阿部克彥，長(zhǎng)井俊樹，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：小松NTC株式會(huì)社，
類型：
國(guó)別省市：