本發明專利技術涉及一種熱驅動MEMS微鏡，包括鏡面（1）、驅動臂（2）、微鏡邊框（3）和隔熱連接件（4），所述驅動臂（2）的兩端分別通過隔熱連接件（4）與微鏡邊框（3）、鏡面（1）相連接；本發明專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡能夠有效增強驅動臂（2）上的熱響應率，且能有效降低驅動臂（2）上的熱損耗，提高熱驅動MEMS微鏡的工作效率。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種熱驅動MEMS微鏡。
技術介紹
微型化，高性能，低成本，大批量是當今器件制造的追求目標。因此，微機電系統技 術就應運而生，被廣大制造商廣泛應用，使用微機電系統技術制造的器件主要可分成兩大 類，其一就是單純微型化傳統器件，如微型光學平臺，其優點集中體現在可以拓展微型化的 系統的使用范圍；其二使用革新原理制造出傳統方法無法制作的器件，如地磁傳感器?，F有的熱驅動MEMS微鏡的驅動臂的熱響應率低，且伴隨著較高的熱損耗，這樣的 缺點就使得MEMS微鏡的驅動臂響應慢，并且驅動臂上產生的熱功率很快會分別傳導到微 鏡邊框和鏡面上，就帶來了很大的熱損耗，以至于不能有效地調節微鏡的高度，且該熱驅動 MEMS微鏡不適合高頻應用。
技術實現思路
本專利技術所要解決的技術問題是提供一種能夠有效增強驅動臂上的熱響應率，且能 有效降低驅動臂上的熱損耗的熱驅動MEMS微鏡。本專利技術為了解決上述技術問題采用以下技術方案本專利技術設計了一種熱驅動 MEMS微鏡，包括鏡面、驅動臂和微鏡邊框，還包括隔熱連接件，所述驅動臂的兩端分別通過 隔熱連接件與微鏡邊框、鏡面相連接。作為本專利技術的一種優選技術方案還包括導電走線，所述導電走線設置在所述驅 動臂與微鏡邊框之間的隔熱連接件上。作為本專利技術的一種優選技術方案還包括設置在所述微鏡邊框上的金屬導熱塊。作為本專利技術的一種優選技術方案所述隔熱連接件為&02材料。本專利技術所述一種熱驅動MEMS微鏡采用以上技術方案與現有技術相比，具有以下 技術效果(1)本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡中，通過在驅動臂的兩端設置隔熱連接件，能夠有 效增強驅動臂上的熱響應率，且能有效降低驅動臂上的熱損耗，提高熱驅動MEMS微鏡的工 作效率；(2)本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡中，通過設置在驅動臂與微鏡邊框之間的隔熱連接 件上的導電走線，可以方便地連接與控制驅動臂；(3)本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡中，在微鏡邊框上設置金屬導熱塊，使得當該熱驅 動MEMS微鏡降溫時，也能有效快速的對其溫度進行降溫。附圖說明圖1是本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡的結構示意圖。其中，1.鏡面，2.驅動臂，3.微鏡邊框，4.隔熱連接件，5.金屬導熱塊， 6.導電走線。具體實施方式下面結合說明書附圖對本專利技術的具體實施方式作進一步詳細的說明。如圖1所示，本專利技術設計了一種熱驅動MEMS微鏡，包括鏡面1、驅動臂2和微鏡邊 框3，還包括隔熱連接件4，所述驅動臂2的兩端分別通過隔熱連接件4與微鏡邊框3、鏡面 I相連接。本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡中，通過在驅動臂2的兩端設置隔熱連接件4，能夠 有效增強驅動臂2上的熱響應率，且能有效降低驅動臂2上的熱損耗，提高熱驅動MEMS微 鏡的工作效率。作為本專利技術的一種優選技術方案還包括導電走線6，所述導電走線6設置在所述 驅動臂2與微鏡邊框3之間的隔熱連接件4上。本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡中，通過設置在驅動臂2與微鏡邊框3之間的隔熱 連接件4上的導電走線6，可以方便地連接與控制驅動臂2。作為本專利技術的一種優選技術方案還包括設置在所述微鏡邊框3上的金屬導熱塊 5。本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡中，在微鏡邊框3上設置金屬導熱塊5，使得當該熱 驅動MEMS微鏡降溫時，也能有效快速的對其溫度進行降溫。作為本專利技術的一種優選技術方案所述隔熱連接件4為SiO7.材料。現有的熱驅動MEMS微鏡中，驅動臂2熱響應時，驅動臂2上產生的熱功率很快會 分別傳導到微鏡邊框3和鏡面I上，這樣驅動臂2上的溫度由中間向兩邊呈溫度梯度，中間 高，兩端低，導致驅動臂2在靠近微鏡邊框3和鏡面I的位置，很難產生位移，影響熱驅動 MEMS的工作效率。本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡在實際應用過程當中，當驅動臂2熱響應時，由于 設置在驅動臂2兩端的隔熱連接件4的熱阻遠小于驅動臂2的熱阻，使得驅動臂2上熱效 應的變化變得均勻，即驅動臂2上各個位置的熱效應變得均勻，進而由多種不同熱膨脹系 數的材料疊加而成的驅動臂2，會由于其上均勻的熱效應，準確的產生位移，使得MEMS微鏡 進行工作；同時，由于在驅動臂2兩端設置隔熱連接件4，可以有效降低由驅動臂2上傳導 到微鏡邊框3和鏡面I上的熱量，有效降低了熱驅動MEMS微鏡工作時的熱損耗。本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡在需要降溫時，由于在微鏡邊框3上設置有金屬導 熱塊5，這樣，就可以加快整個熱驅動MEMS微鏡的降溫過程，這個過程當中，即使在驅動臂2 兩端設置隔熱連接件4，但是少許由驅動臂2傳導過來的熱量，也會由金屬導熱塊5進行散 熱，進而加快整個熱驅動MEMS微鏡的降溫過程。本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡在工作時，由于在驅動臂2兩端設置隔熱連接件4， 使得驅動臂2的熱效應變化變得均勻，利于熱驅動MEMS微鏡的工作；需要降溫時，由于在微 鏡邊框3上設置金屬導熱塊5，又加快了整個熱驅動MEMS微鏡的降溫過程，縮短了因隔熱連 接件4帶來的降溫緩慢問題。同樣，對于本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡降溫來說，為了縮短因隔熱連接件4帶來的降溫緩慢問題，可以控制熱驅動MEMS微鏡周期的工作一段時間后，停止工作，便于熱 驅動MEMS微鏡上溫度的散熱，這樣就可有效控制熱驅動MEMS微鏡上的溫度，保證熱驅動 MEMS微鏡降溫過程的時間。本專利技術設計的熱驅動MEMS微鏡中，隔熱連接件4的熱阻為驅動臂2熱阻的O. 5 3倍，此設計值可以有效的提高驅動臂2的熱響應率，且能夠控制熱驅動MEMS微鏡降溫過 程的時間處于可使用的范圍內。上面結合附圖對本專利技術的實施方式作了詳細說明，但是本專利技術并不限于上述實施 方式，在本領域普通技術人員所具備的知識范圍內，還可以在不脫離本專利技術宗旨的前提下 做出各種變化。本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種熱驅動MEMS微鏡，包括鏡面（1）、驅動臂（2）和微鏡邊框（3），其特征在于：還包括隔熱連接件（4），所述驅動臂（2）的兩端分別通過隔熱連接件（4）與微鏡邊框（3）、鏡面（1）相連接。
【技術特征摘要】
1.一種熱驅動MEMS微鏡，包括鏡面(I)、驅動臂(2)和微鏡邊框(3)，其特征在于還包括隔熱連接件(4)，所述驅動臂(2)的兩端分別通過隔熱連接件(4)與微鏡邊框(3)、鏡面(O相連接。2.根據權利要求1所述一種熱功率MEMS微鏡，其特征在于還包括導電走線(6)，所述導電走線...
【專利技術屬性】
技術研發人員：丁金玲，謝會開，陳巧，
申請(專利權)人：無錫微奧科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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