光掃描裝置及光掃描控制裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術提供能夠減少傳感器配線的干擾，高精度地檢測反射鏡的傾斜的光掃描裝置及光掃描控制裝置。該光掃描裝置具有：以夾著反射鏡及反射鏡支撐部的方式成對設置的第一驅動梁；將第一驅動梁的一側與扭轉梁連結的連結梁；以及第一壓電傳感器，其形成在連結梁上，當在第一驅動梁上施加驅動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測由扭轉梁的繞軸的擺動引起的連結梁的位移，第一壓電傳感器機構將上部電極配線向夾著反射鏡及反射鏡支撐部的一方的第一驅動梁引出，將下部電極配線向夾著反射鏡及反射鏡支撐部的另一方的第一驅動梁引出。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及利用扭轉梁從軸向兩側支撐用于支撐反射鏡的反射鏡支撐部，利用上述扭轉梁的扭轉使上述反射鏡支撐部在繞軸方向及與上述繞軸正交的方向上擺動的光掃描裝置及光掃描控制裝置。
技術介紹
以往，已知有使用在壓電元件的上表面形成上部電極、在下表面形成下部電極的促動器使反射入射光的反射鏡部繞旋轉軸旋轉，從而使反射光進行掃描的光掃描裝置。在該促動器中，通過在上部電極與下部電極上施加驅動電壓，使反射鏡部相對于反射面垂直及水平地擺動。在這種促動器中，設有檢測在驅動反射鏡部并擺動的狀態下在壓電元件上產生的電壓的檢測用壓電傳感器，根據該壓電傳感器的輸出，檢測反射鏡部的傾斜，控制促動器的動作。然而，壓電傳感器在驅動反射鏡部并擺動的狀態下產生的電壓是微弱的電壓，存在含有干擾的場合。因此，以往，為了檢測未施加驅動電壓的狀態的壓電傳感器的輸出，下了各種功夫。例如，在專利文獻I中，公開了在檢測未施加驅動電壓的壓電傳感器的產生電壓的場合，避免由與驅動電壓的電壓差引起的接地電位的干擾的干涉的技術。現有技術文獻專利文獻1:日本特開2009-169195號公報在現有的檢測用的壓電傳感器中，由于輸出是微弱的，因此容易受到來自其他信號的干擾(串線)，由于該串線，反射鏡的傾斜的檢測精度下降。
技術實現思路
本專利技術是鑒于上述情況并為了解決上述問題而完成的，其目的在于提供能減少傳感器配線的干擾，高精度地檢測反射鏡部的傾斜的光掃描裝置及光掃描控制裝置。本專利技術為了實現上述目的，采用以下那樣的結構。本專利技術是一種光掃描裝置100，其利用扭轉梁130AU30B從軸向兩側支撐反射鏡支撐部120，該反射鏡支撐部120支撐反射鏡110，通過上述扭轉梁130AU30B的扭轉，使上述反射鏡支撐部120在繞軸方向上擺動，該光掃描裝置100具有以夾著上述反射鏡110及上述反射鏡支撐部120的方式成對設置的第一驅動梁150AU50B ；將上述第一驅動梁150A、150B的一側與上述扭轉梁130A、130B連結的連結梁140AU40B ;以及第一壓電傳感器191，其形成在上述連結梁140AU40B上，當在上述第一驅動梁150AU50B上施加驅動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測由上述扭轉梁130AU30B的繞軸的擺動引起的上述連結梁140A、140B的位移，上述第一壓電傳感器191將上述電極配線202向夾著上述反射鏡110及上述反射鏡支撐部120的一方的上述第一驅動梁150B引出，將下部電極配線201向夾著上述反射鏡110及上述反射鏡支撐部120的另一方的上述第一驅動梁150A引出。另外，上述參照符號是為了容易地理解而添加的，只是一個例子，不限定于圖示的方式。本專利技術的效果如下。根據本專利技術，能夠減少傳感器配線的干擾，高精度地檢測反射鏡的傾斜。附圖說明圖1是說明第一實施方式的光掃描裝置的圖。圖2是放大了圖1的部分A的圖。圖3是放大了圖1的部分B的圖。圖4是說明第二實施方式的光掃描裝置的圖。圖5是對第二實施方式的保護圖案進行說明的圖。圖6是放大了圖4的部分Al的圖。圖7是放大了圖4的部分BI的圖。圖8是說明第三實施方式的光掃描裝置的圖。圖9是放大了圖8的部分B2的圖。圖10是說明第四實施方式的光掃描裝置的圖。圖11是說明增益、相位調整部的圖。圖12是說明第四實施方式的干擾去除部的電路結構的圖。圖13是說明第四實施方式的干擾去除部的順序的圖。圖14是表示干擾去除前的壓電傳感器的輸出波形的圖。圖15是說明干擾同等成分的圖。圖16是表示干擾去除后的壓電傳感器的輸出波形的圖。圖17是說明第四實施方式的干擾去除部的電路結構的其他例的圖。圖18是說明第五實施方式的光掃描裝置的圖。圖19是說明第五實施方式的干擾去除的處理的流程圖。圖20是放大了第五實施方式的光掃描裝置的反射鏡部分的圖。圖21是表不第五實施方式的壓電傳感器的輸出的例子的圖。圖22是表示在第五實施方式中壓電傳感器的輸出信號的差信號的例子的圖。圖23是說明第七實施方式的光掃描裝置的圖。圖24是說明第七實施方式的光掃描模塊的第一圖。圖25是說明第七實施方式的光掃描模塊的第二圖。圖26是說明光學傳感器的圖。圖27是說明光學傳感器的配置位置的圖。圖28是對反射鏡的垂直方向的傾斜的測定進行說明的圖。圖29是表示實測值與光學傳感器的輸出的比較結果的第一圖。圖30是表示實測值與光學傳感器的輸出的比較結果的第二圖。圖31是表示實測值與光學傳感器的輸出的比較結果的第三圖。圖中100、100A、100B、100D —光掃描裝置，300、300A、300B—光掃描控制裝置，100C—光掃描模塊，110—反射鏡，120—反射鏡支撐部，130—扭轉梁，140—連結梁，150A、150B—第一驅動梁，151A、151B、171A、171B-驅動源，160-可動框，170A、170B-第二驅動梁，180-固定框，191、195、196—壓電傳感器，201、202、207A、207B、208A、208B —傳感器配線，203、204、205、206、210A、210B—驅動配線，220、220A、221、221A—保護圖案，700—光學傳感器。具體實施例方式(第一實施方式)下面，參照附圖對本專利技術的第一實施方式進行說明。圖1是說明第一實施方式的光掃描裝置的圖。本實施方式的光掃描裝置100具備反射鏡110、反射鏡支撐部120、扭轉梁130A、130B、連結梁140A、140B、第一驅動梁150A、150B、可動框160、第二驅動梁170A、170B、固定框180。另外，本實施方式的第一驅動梁150A、150B分別具備驅動源151AU51B。第二驅動梁170A、170B分別具備驅動源171A、171B。在本實施方式的反射鏡支撐部120上沿反射鏡110的圓周形成有狹縫122。利用該狹縫122，能夠使反射鏡支撐部120輕量化，并且能夠向反射鏡110傳遞由扭轉梁130A、130B產生的扭轉。在本實施方式的光掃描裝置100中，在反射鏡支撐部120的表面支撐有反射鏡110，反射鏡支撐部120連結在位于兩側的扭轉梁130AU30B的端部。扭轉梁130AU30B構成擺動軸，在軸向上延伸并從軸向兩側支撐反射鏡支撐部120。通過扭轉梁130AU30B扭轉，支撐在反射鏡支撐部120上的反射鏡110擺動，進行使照射在反射鏡110上的光的反射光掃描的動作。扭轉梁130AU30B分別連結支撐在連結梁140AU40B上，并連結在第一驅動梁 150A、150B 上。第一驅動梁150A、150B、連結梁140A、140B、扭轉梁130A、130B、反射鏡支撐部120及反射鏡110被可動框160包圍。第一驅動梁150AU50B將各自的一側支撐在可動框160上。第一驅動梁150A的另一側在內周側延伸并與連結梁140AU40B連結。第一驅動梁150B的另一側與同樣地向內周側延伸并與連結梁140AU40B連結。第一驅動梁150AU50B在與扭轉梁130AU30B正交的方向上以夾住反射鏡110及反射鏡支撐部120的方式成對設置。在第一驅動梁150A、150B的表面分別形成有驅動源151A、151B。驅動源151A、151B由形成在第一驅動梁150AU50B的表面上的壓電元件的薄膜的上表面的上部電極、形成本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種光掃描裝置，其利用扭轉梁從軸向兩側支撐對反射鏡進行支撐的反射鏡支撐部，通過上述扭轉梁的扭轉，使上述反射鏡支撐部在繞軸方向上擺動，該光掃描裝置的特征在于，具有：以夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的方式成對設置的第一驅動梁；將上述第一驅動梁的一側與上述扭轉梁連結的連結梁；以及第一壓電傳感器，其形成在上述連結梁上，當在上述第一驅動梁上施加驅動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測由上述扭轉梁的繞軸的擺動引起的上述連結梁的位移，上述第一壓電傳感器將上部電極配線向夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的一方的上述第一驅動梁引出，將下部電極配線向夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的另一方的上述第一驅動梁引出。

【技術特征摘要】
2011.10.03 JP 2011-219255;2012.07.06 JP 2012-15281.一種光掃描裝置，其利用扭轉梁從軸向兩側支撐對反射鏡進行支撐的反射鏡支撐部，通過上述扭轉梁的扭轉，使上述反射鏡支撐部在繞軸方向上擺動，該光掃描裝置的特征在于，具有 以夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的方式成對設置的第一驅動梁； 將上述第一驅動梁的一側與上述扭轉梁連結的連結梁；以及 第一壓電傳感器，其形成在上述連結梁上，當在上述第一驅動梁上施加驅動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測由上述扭轉梁的繞軸的擺動引起的上述連結梁的位移， 上述第一壓電傳感器將上部電極配線向夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的一方的上述第一驅動梁引出，將下部電極配線向夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的另一方的上述第一驅動梁引出。2.根據權利要求1所述的光掃描裝置，其特征在于， 具有包圍上述反射鏡及上述反射鏡支撐部、上述扭轉梁、上述第一驅動梁、以及上述連結梁的可動框； 第二驅動梁，其以夾著上述可動框的方式成對，一端連結在上述可動框上，使上述反射鏡及上述反射鏡支撐部在與上述繞軸正交的方向上擺動；以及 第二壓電傳感器，其形成在上述第二驅動梁上，當在上述第二驅動梁上施加驅動電壓而使上述反射鏡擺動時，檢測上述第二驅動梁的位移。3.根據權利要求1或2所述的光掃描裝置，其特征在于， 上述上部電極配線以與向上述一方的上述第一驅動梁具有的驅動源供給驅動電壓的一方的驅動配線并行的方式形成， 上述下部電極配線以與向上述另一方的上述第一驅動梁具有的驅動源供給驅動電壓的另一方的驅動配線并行的方式形成， 上述上部電極配線和上述一方的驅動配線并行的長度與上述下部電極配線和上述另一方的驅動配線并行的長度相等。4.根據權利要求3所述的光掃描裝置，其特征在于， 在上述上部電極配線與上述一方的驅動配線之間、以及上述下部電極配線與上述另一方的驅動配線之間形成有與地線連接的保護圖案。5.根據權利要求4所述的光掃描裝置，其特征在于， 上述保護圖案從上述上部電極配線與上述一方的驅動配線開始并行的位置、以及上述下部電極配線與上述另一方的驅動配線開始并行的位置形成。6.根據權利要求4所述的光掃描裝置，其特征在于， 上述保護圖案從下述位置的附近形成 上述下部電極配線與設在一方的上述第二驅動梁上的一方的上述第二壓電傳感器的上部電極配線及下部電極配線開始并行的位置；以及 上述上部電極配線與設在另一方的上述第二驅動梁上的另一方的上述第二壓電傳感器的上部電極配線及下部電極配線開始并行的位置。7.一種光掃描控制裝置，其具備權利要求1 6任一項所述的光掃描裝置，該光掃描控制裝置的特征在于， 具有干擾去除部，其根據施加在夾著上述反射鏡及上述反射鏡支撐部的一方的上述第一驅動梁上的第一...

【專利技術屬性】
技術研發人員：田中豐樹，高橋宗明，關根久通，阿賀壽典，日比谷利一郎，
申請(專利權)人：三美電機株式會社，
類型：發明
國別省市：