磁性流體真空軸封的軸芯結構制造技術

本實用新型專利技術涉及磁性流體真空軸封的軸芯結構，其為一個軸芯主體，其特征在于軸芯主體軸徑加大及加寬進而可加裝一個以上軸承（又稱培林）；由上述結構，用戶可將此軸芯主體應用于濺鍍設備上，以分散因濺鍍設備運轉時所產生的重荷，而提升軸芯主體的使用壽命，以降低因磁性流體真空軸封漏氣所造成的整個機臺內的濺鍍損失及產能停產的損失。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種磁性流體真空軸封的軸芯結構，由將該軸芯主體軸徑加大加長進而可加裝一個以上軸承軸承(又稱培林)，讓使用者可將此軸芯主體應用于濺鍍設備上，以分散因濺鍍設備運轉時所產生的重負荷，而達到提升軸芯主體的使用壽命并降低因磁性流體真空軸封漏氣所造成的整個機臺內的濺鍍損失及產能停產的損失的目的的磁性流體真空軸封的軸芯結構。
技術介紹
派度技術的原理主要是利用輝光放電(glowdis-charge)將U1氣(Ar)離子撞擊革巴(tar-get)表面，靶材的原子被彈出而堆積在基板表面形成薄膜，其性質、均勻度都比以往蒸鍍技術來的好。濺鍍設備幾乎都使用強力磁鐵將電子成螺旋狀運動以加速靶材周圍的氬 氣離子化，造成靶與氬氣離子間的撞擊機率增加，提高濺鍍速率，通過撞擊將使靶材的物質飛出而沉積在基板上形成薄膜，因此，濺鍍設備中的重要組件便是當中的承載機構-磁性流體真空軸封。大多數磁性流體真空軸封因長時間操作都需要定期保養(如更換軸承及磁液和清洗等)，然而雖有定期的保養，軸承(又稱培林)的壽命因負載過重仍然過短，一但軸承(又稱培林)損壞就必須全部更換。因此，如何提供一個可增加軸承(又稱培林)壽命，來達到減少因磁性流體真空軸封漏氣所造成的整個機臺內的濺鍍損失及產能停產的損失的目的，是專利技術人所要解決的課題。
技術實現思路
本技術專利技術人經過多年研究，終于研發出此可以利用加大及加寬軸芯主體的軸徑來達到多加裝軸承(又稱培林)而達到增長使用壽命的目的的磁性流體真空軸封的軸芯結構。本技術磁性流體真空軸封的軸芯結構，其為一個軸芯主體，其特征在于該軸芯主體軸徑加大及加寬，進而可加裝一個以上的軸承(又稱培林)。本技術的主要目的在于通過上述的結構，讓用戶可將此軸芯主體應用于濺鍍設備上，以分散因濺鍍設備運轉時所產生的重負荷，而提升軸芯主體的使用壽命，以降低因磁性流體真空軸封漏氣所造成的整個機臺內的濺鍍損失及產能停產的損失的目的。附圖說明圖1為本技術磁性流體真空軸封的軸芯結構的實施結構圖。附圖標記說明10 上端11 下端12中間部分具體實施方式如圖1為本技術磁性流體真空軸封的軸芯結構的實施結構圖。本技術磁性流體真空軸封的軸芯結構，其為一個軸芯主體，其特征在于該軸芯上端10及下端11的軸徑加大及加寬，尺寸較一般大及較寬，上端10、下端11的軸徑加寬可隨實際需要加長；通過上述結構，用戶可將此軸芯主體應用于濺鍍設備上，以分散因濺鍍設備運轉時所產生的重負荷，而提升軸芯主體的使用壽命，以降低因磁性流體真空軸封漏氣所造成的整個機臺內的濺鍍損失及產能停產的損失。本技術磁性流體真空軸封的軸芯結構，其中，可增加一至多個軸承(又稱培林)，以包覆于軸芯主體之外。本技術磁性流體真空軸封的軸芯結構，其中 ，該一至多個軸承(又稱培林)的寬度及大小可不一樣。值得一提的是，本技術磁性流體真空軸封的軸芯結構，該軸芯下端11及上端10可加裝一個以上的軸承(又稱培林)，以達到分擔負載的效果。諸如以上的本技術應用案例不勝枚舉，以上所述僅是通過較佳實施例詳細說明本技術，然而對于該實施例所作的任何修改與變化，例如中間軸芯的軸徑加大加寬、軸芯主體的樣式或是材質等等的變化都屬于本技術的專利保護范圍。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種磁性流體真空軸封的軸芯結構，其為一個軸芯主體，其特征在于，該軸芯主體上端與下端比中間部分寬。

【技術特征摘要】
2011.06.27 TW 1002117121.一種磁性流體真空軸封的軸芯結構，其為一個軸芯主體，其特征在于，該軸芯主體上端與下端比中間部分寬。2.根據權利要求1所述的磁性流體真空軸封的軸芯結構，其特征在于，該軸芯主體上端與下端的軸徑加寬可隨實際需要而加長。3.根據...

【專利技術屬性】
技術研發人員：邱金標，
申請(專利權)人：邱金標，
類型：實用新型
國別省市：