本發明專利技術公開了一種半導體直流參數測量模塊組快速校準裝置，基于半導體直流參數通道參數測量單元模塊模塊、電源模塊；測量板的觸點與模塊組的彈簧針對接，通過多選一的多路開關、高速繼電器與外部測量設備數字多用表，標準可調電阻器連接，由軟件控制，自動進行測量、數據保存、判定、給出結果報告；本發明專利技術節省校準時間、提高效率。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體直流參數測量模塊組快速校準裝置，保證半導體直流參數測量模塊測量值準確，屬于半導體測試
技術介紹
IS09001質量管理體系和測量管理IS0/IEC17025 (檢測和校準實驗室通用要求) 都對測量設備的校準提出了要求認為通過正確的校準使得測量可以溯源到國際單位制或公認的國際標準是測量結果可信性的基礎。半導體直流參數測量模塊用來檢測半導體產品參數，并評定半導體產品性能和質量，半導體直流參數測量模塊測量的準確性、可靠性直接影響半導體產品的質量，而校準是保證半導體直流參數測量模塊正確性及有效性的重要手段，半導體直流參數測量模塊精度高、結構復雜，傳統的校準方法繁瑣，時間長；專業校準板價格昂貴，如果每年都要做一次校準，費用較高，因此設計開發半導體直流參數測量模塊快速校準裝置，可以實現快速校準，節省成本。
技術實現思路
本專利技術的目的就是解決半導體直流參數測量模塊組的快速校準，節省校準成本， 提高效率。本專利技術所采用的技術方案是基于半導體直流參數通道參數測量單元模塊、電源測量模塊；本專利技術的半導體直流參數測量模塊快速校準裝置組裝在帶有多個插槽的裝置上， 模塊組上方安裝有測量板，測量板的觸點與模塊組的彈簧針對接，測量板將模塊組的所有通道引出，通過多選一的多路開關、高速繼電器與外部測量設備數字多用表的“ + ”端連接， 測量板的地與數字多用表的端連接，同時連接校準用的標準可調電阻器； 快速校準裝置測試板上有4個定位孔；快速校準裝置測試板背面有觸點；快速校準裝置測試板將半導體直流參數測量模塊的通用電源引出給多路開關、繼電器供電；快速校準裝置由軟件控制，自動進行測量，數據保存、判定、給出結果報告；本專利技術的通道參數測量單元模塊組快速校準裝置測量特征是設置半導體直流參數模塊組所有通道，通道電壓分別設置不同的測量點，同時使用外接數字多用表進行電壓測量；通道參數測量單元模塊測量特征是電流測量準確度測量共5個量程2mA檔、 200 μ A檔、20 μ A檔、2 μ A檔、200ηΑ檔；設置電流準確度測量，與模塊設置電流比較；通道參數測量單元模塊組快速校準裝置測量特征是電壓測量準確度測量采用加流測壓方式，與模塊測量電壓值進行比較；本專利技術的電源模塊快速校準裝置測量特征是電壓設置準確度測量將被檢模塊的器件電源通道與標準電阻器和數字多用表連接，數字多用表測量電壓與電源測量模塊設置電壓比較。本專利技術所提供的半導體直流參數測量模塊快速校準裝置可以實現自動化校準從而節省校準時間、提高效率。名詞解釋Slot :插槽，每一個插槽有一個模塊，slotO slot3表不模塊O至模塊3,每個參數測量模塊具有通道128個。附圖說明下面結合附圖和具體實施方案做進一步說明圖1為半導體直流參數測量模塊組快速校準裝置示例圖2測量板背面接觸點圖3測量板線路原理3測量板線路原理圖圖4為半導體直流參數測量模塊組快速校準裝置具體實施步驟示意圖具體實施方式 下面通過實例詳細說明本專利技術的裝置和應用步驟本專利技術的通道參數測量單元模塊測量本專利技術采用如圖1所示的硬件平臺執行快速校準任務，在圖1中，半導體直流參數測量模塊組裝在帶有多個插槽的裝置上，模塊組上方安裝有測量板，模塊組上方安裝有測量板，測量板的觸點與模塊組的彈簧針對接，見圖2 所示；測量板將模塊組的所有通道引出，通過多選一的多路開關、高速繼電器與外部測量設備數字多用表的“ + ”端連接，測量板的地與數字多用表的端連接，同時連接校準用的標準可調電阻器；見圖3所示；快速校準裝置測試板上有4個定位孔，見圖3 ；快速校準裝置測試板將半導體直流參數測量模塊的通用電源引出給多路開關、繼電器供電；圖4是半導體直流參數測量模塊組快速校準裝置具體實施步驟示意圖，在方框(I)-啟動半導體直流參數測量模塊自檢程序；在方框(2)-自檢通過，執行下一步，不通過否則終止；在方框(3)-由外部測量設備連接測量板的有關測量點，開始校準工作，執行通道特性參數測量；在方框(4)-保存測量值；在方框(5)-判定測量值；首先進行該通道直流參數測量驅動高電平、低電平或電流測量其次執行通道參數測量單元模塊自動測量；該測量包括以下幾個方面電壓設置準確度測量設置所有通道電壓分別為不同的測量點，外接數字萬用表測量電壓；電流測量準確度測量設置5個量程2mA檔、200 μ A檔、20 μ A檔、2 μ A檔、200ηΑ檔；分別通過數字萬用表進行測量；設置電流準確度測量與半導體直流參數測量模塊設置的電流值進行比較；電壓測量準確度測量采用加流測壓方式，與半導體直流參數測量模塊的測量電壓值進行比較；第三執行電源模塊測量與通道參數測量單元模塊自動測量相同；在方框(6)-判斷是否完成測量；在方框(7)-按傳統的格式生成數據報告；顯然本專利技術的具體實現形式并不局限于此，對于本
的一般技術人員來 說，在不背離本專利技術的權利要求范圍的情況下對它進行的各種顯而易見的改變都在本專利技術 的保護范圍。權利要求1.半導體直流參數測量模塊組快速校準裝置，其特征在于包括如下 半導體直流參數通道參數測量單元模塊、電源測量模塊； 半導體直流參數通道參數測量單元模塊、電源測量模塊組裝在帶有多個插槽的裝置上，模塊組上方安裝有測量板，測量板的觸點與模塊組的彈簧針對接，測量板將模塊組的所有通道引出，通過多選一的多路開關、高速繼電器與外部測量設備數字多用表的“+”端連接，測量板的地與數字多用表的端連接，同時連接校準用的標準可調電阻器； 快速校準裝置測試板上有4個定位孔，背面有觸點。2.根據權利要求1所述的半導體直流參數測量模塊組快速校準裝置其特征在于測試板將半導體直流參數測量模塊的通用電源引出給多路開關、繼電器供電。3.根據權利要求2所述的半導體直流參數測量模塊組快速校準裝置其特征在于快速校準裝置由軟件控制，自動進行測量，數據保存、判定、給出結果報告。全文摘要本專利技術公開了一種半導體直流參數測量模塊組快速校準裝置，基于半導體直流參數通道參數測量單元模塊模塊、電源模塊；測量板的觸點與模塊組的彈簧針對接，通過多選一的多路開關、高速繼電器與外部測量設備數字多用表，標準可調電阻器連接，由軟件控制，自動進行測量、數據保存、判定、給出結果報告；本專利技術節省校準時間、提高效率。文檔編號G01R19/25GK102998646SQ20121052978公開日2013年3月27日 申請日期2012年12月11日 優先權日2012年12月11日專利技術者石志剛, 孫昕, 金蘭, 吉國凡 申請人:北京確安科技股份有限公司本文檔來自技高網...
【技術保護點】
半導體直流參數測量模塊組快速校準裝置，其特征在于包括如下：?半導體直流參數通道參數測量單元模塊、電源測量模塊；?半導體直流參數通道參數測量單元模塊、電源測量模塊組裝在帶有多個插槽的裝置上，模塊組上方安裝有測量板，測量板的觸點與模塊組的彈簧針對接，測量板將模塊組的所有通道引出，通過多選一的多路開關、高速繼電器與外部測量設備數字多用表的“+”端連接，測量板的地與數字多用表的“?”端連接，同時連接校準用的標準可調電阻器；?快速校準裝置測試板上有4個定位孔，背面有觸點。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：石志剛，孫昕，金蘭，吉國凡，
申請(專利權)人：北京確安科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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