一種能夠防止短路或泄漏、并且能夠?qū)崿F(xiàn)順利的檢測(cè)的探頭單元。所述探頭單元具有主體部11以及探頭探針12，所述主體部11具有形成有第1通孔31a的第1支承部31以及形成有第2通孔32a的第2支承部32，所述探頭探針12在其前端部21及底端部22分別插入到第1通孔31a及第2通孔32a的狀態(tài)下由主體部11來(lái)支承，其中央部23構(gòu)成為在進(jìn)行檢測(cè)時(shí)能夠彎曲，并且以使中央部23的直徑大于第1通孔31a的直徑的厚度在中央部23的外周面形成有第1絕緣層24，在探頭探針12的前端部21的部分表面，在除了與電路基板100的端子101接觸的部分以外的預(yù)先規(guī)定的前端區(qū)域A，以使前端區(qū)域A的直徑小于第1通孔31a的直徑的厚度來(lái)形成第2絕緣層25。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專(zhuān)利技術(shù)涉及通過(guò)將探頭探針插入一對(duì)支承部的通孔中而構(gòu)成的探頭單元、具有多個(gè)探頭和保持各個(gè)探頭的保持部的探頭單元、具備該探頭單元的電路基板檢查裝置、以及制造該探頭單元的探頭單元制造方法。
技術(shù)介紹
作為檢查電路基板等所使用的探頭單元，已知有日本專(zhuān)利特開(kāi)2000 - 292439號(hào)公報(bào)中所公開(kāi)的探頭單元(垂直動(dòng)作型檢測(cè)卡)。該探頭單元構(gòu)成為包括在中央部具有壓曲部的多個(gè)探頭、形成有通過(guò)各向異性導(dǎo)電體與各個(gè)探頭的連接部接觸的布線圖案的基板、以及具有分別形成有多個(gè)貫通孔的上側(cè)支承基板和下側(cè)支承基板的探頭支承構(gòu)件。在該探頭單元中，將各個(gè)探頭在貫通上側(cè)支承基板的貫通孔和下側(cè)支承基板的貫通孔的狀態(tài)下、利用粘接劑固定于上側(cè)支承基板上。在該探頭單元中，按照檢測(cè)對(duì)象基板的導(dǎo)體圖案的排列來(lái)規(guī)定探頭的排列，使得各個(gè)探頭能夠?qū)Ω鱾€(gè)導(dǎo)體圖案同時(shí)進(jìn)行檢測(cè)。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本專(zhuān)利特開(kāi)2000 - 292439號(hào)公報(bào)(第3頁(yè)、第I圖)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
然而，上述探頭單元存在如下問(wèn)題。也就是說(shuō)，該探頭單元具有利用多個(gè)構(gòu)件(在上述示例中為上側(cè)支承基板和下側(cè)支承基板)以能夠壓曲的方式對(duì)在中央部具有壓曲部的探頭進(jìn)行支承的復(fù)雜結(jié)構(gòu)。另外，因?yàn)樵撎筋^單元的結(jié)構(gòu)為在檢測(cè)時(shí)使得用于輸入輸出信號(hào)的電極(在上述示例中為各向異性導(dǎo)電體的與探頭相對(duì)的部位)與探頭的連接部接觸，而在非檢測(cè)時(shí)使得它們分離，因此，在該電觸點(diǎn)處可能會(huì)發(fā)生接觸不良等故障。另一方面，隨著電路基板的高密度化，需要使導(dǎo)體圖案進(jìn)一步微細(xì)化、以及進(jìn)一步使間距變窄，為了應(yīng)對(duì)這種情況，要求實(shí)現(xiàn)探頭單元的小型化。然而，因?yàn)橐延械奶筋^單元具有如上所述的復(fù)雜結(jié)構(gòu)，因此，難以實(shí)現(xiàn)其小型化，很難應(yīng)對(duì)電路基板的高密度化。另外，即使能夠?qū)崿F(xiàn)小型化，但由于小型化需要高超的加工技術(shù)，因此，由此引起探頭單元的制造成本提高，而且隨著小型化還可能容易發(fā)生如上所述的接觸不良等故障。另一方面，在上述探頭單元中，因?yàn)閷⒏鱾€(gè)探頭在貫穿上側(cè)支承基板的貫通孔和下側(cè)支承基板的貫通孔中的狀態(tài)下利用粘接劑固定于上側(cè)支承基板上，所以還存在更換探頭時(shí)取出探頭的作業(yè)以及安裝探頭的作業(yè)較為復(fù)雜的問(wèn)題。為了解決上述問(wèn)題，專(zhuān)利技術(shù)人已經(jīng)開(kāi)發(fā)了如圖9所示的探頭單元102。該探頭單元102構(gòu)成為包括由金屬來(lái)形成探頭本體120的探頭探針112、以及支承探頭探針112的第I支承部131和第2支承部132。該探頭單元102具有如下結(jié)構(gòu)即，與相鄰的其它探頭探針112之間保持絕緣，在探頭探針112的中央部123形成絕緣層124，利用該絕緣層124將中央部123形成為直徑大于第I支承部131的第I通孔131a。在組裝該探頭單元102時(shí)，使探頭探針112插入第2支承部132的第2通孔132a和第I支承部131的第I通孔131a，且使前端部121從第I支承部131突出，接著，使電極板113與第2支承部132抵接并固定。由此，探頭探針112利用第I支承部131和第2支承部132來(lái)保持。在這種情況下，形成為直徑大于第I通孔131a的中央部123的端部、即形成于中央部123的絕緣層124的端部與第I支承基板131的第I通孔131a的邊緣部抵接，由此限制探頭探針112從第I通孔131a脫落。這樣，在該探頭單元102中，因?yàn)槟軌蚴÷允褂谜辰觿﹣?lái)固定探頭探針112的作業(yè)，因此，能夠容易地進(jìn)行探頭探針112的取出作業(yè)和安裝作業(yè)。然而，對(duì)于本申請(qǐng)人已開(kāi)發(fā)的上述探頭單元102，有如下需要改進(jìn)的問(wèn)題。也就是說(shuō)，在該探頭單元102中，僅在中央部123形成有絕緣層124。因此，探頭探針112的前端部121的由金屬所形成的探頭本體120的表面(金屬表面)成為露出的狀態(tài)。另一方面，當(dāng)用探頭探針112來(lái)檢測(cè)電路基板上的端子時(shí)，端子或者附著在端子上的焊錫會(huì)被探頭探針112刮削，產(chǎn)生金屬屑(切削屑)，且該金屬屑往往會(huì)附著在探頭探針112的前端部121上。在這種情況下，在該探頭單元102中，為了應(yīng)對(duì)于電路基板的高密度化，會(huì)將各探頭探針112的間隔限定得非常窄。因此，相鄰的探頭探針112上的金屬面露出的前端部121彼此之間會(huì)通過(guò)所附著的金屬屑而進(jìn)行電連接，由此可能會(huì)發(fā)生短路或泄漏。另外，專(zhuān)利技術(shù)人發(fā)現(xiàn)金屬面露出的探頭探針112的前端部121上所附著的焊錫的切削屑(焊錫屑)很容易附著在前端部121的金屬面上。在這種情況下，進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，當(dāng)隨著中央部123的壓曲而使前端部121相對(duì)于第I支承部131滑動(dòng)時(shí)，附著在前端部121上的焊錫屑被帶入第I通孔131a內(nèi)，由于該焊錫屑會(huì)阻礙前端部121的滑動(dòng)，也可能導(dǎo)致很難順利地進(jìn)行檢測(cè)。本專(zhuān)利技術(shù)正是鑒于上述問(wèn)題而完成的，主要目的在于提供一種能夠防止發(fā)生短路或泄漏、并且能夠?qū)崿F(xiàn)順利的檢測(cè)的探頭單元、以及電路基板檢查裝置。另外，其它主要目的在于提供一種能夠抑制制造成本提聞和發(fā)生故障、并且實(shí)現(xiàn)小型化的探頭單兀、電路基板檢查裝置以及探頭單元制造方法。 解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案關(guān)于達(dá)成上述目的的專(zhuān)利技術(shù)的第I方面所述的探頭單元，包括主體部和探頭探針，所述主體部具有形成有第I通孔的板狀的第I支承部及與該第I支承部相對(duì)地配置且形成有第2通孔的板狀的第2支承部，所述探頭探針在其前端部和底端部分別插入所述第I通孔和所述第2通孔中的狀態(tài)下由所述主體部來(lái)支承，其位于所述第I支承部和所述第2支承部之間的中央部構(gòu)成為在進(jìn)行檢測(cè)時(shí)能夠彎曲，并且以使該中央部的直徑大于所述第I通孔的直徑的厚度在該中央部的外周面形成第I絕緣層，在所述探頭探針的所述前端部的表面的一部分、即除了與檢測(cè)對(duì)象物接觸的部位以外的預(yù)先規(guī)定的前端區(qū)域，以使該前端區(qū)域的直徑小于所述第I通孔的直徑的厚度來(lái)形成第2絕緣層。另外，關(guān)于專(zhuān)利技術(shù)的第2方面所述的探頭單元，是在專(zhuān)利技術(shù)的第I方面所述的探頭單元中，在所述中央部的外周面以及所述前端區(qū)域連續(xù)地形成所述第2絕緣層，所述第I絕緣層作為上層，形成在形成于所述中央部的所述第2絕緣層的上部。關(guān)于專(zhuān)利技術(shù)的第3方面所述的探頭單元，是在專(zhuān)利技術(shù)的第I方面所述的探頭單元中，所述探頭探針的所述前端部形成為粗細(xì)相同的圓柱體，將所述前端部的整個(gè)外周面規(guī)定作為所述前端區(qū)域。關(guān)于專(zhuān)利技術(shù)的第4方面所述的探頭單元，是在專(zhuān)利技術(shù)的第2方面所述的探頭單元中，所述探頭探針的所述前端部形成為粗細(xì)相同的圓柱體，將所述前端部的整個(gè)外周面規(guī)定作為所述前端區(qū)域。關(guān)于專(zhuān)利技術(shù)的第5方面所述的探頭單元，是在專(zhuān)利技術(shù)的第I方面所述的探頭單元中，構(gòu)成所述探頭探針，以使所述前端部具有隨著朝向前端而直徑變小的小直徑部，將所述前端部的除了該小直徑部以外的部分的外周面規(guī)定作為所述前端區(qū)域。而且，關(guān)于專(zhuān)利技術(shù)的第6方面所述的探頭單元，是在專(zhuān)利技術(shù)的第2方面記載的探頭單元中，構(gòu)成所述探頭探針，以使所述前端部具有隨著朝向前端而直徑變小的小直徑部，將所述前端部的除了該小直徑部以外的部分的外周面規(guī)定作為所述前端區(qū)域。關(guān)于專(zhuān)利技術(shù)的第7方面所述的電路基板檢查裝置，包括專(zhuān)利技術(shù)的第I至第6方面中任一項(xiàng)所述的探頭單元；以及檢查部，該檢查部根據(jù)通過(guò)與作為檢測(cè)對(duì)象物的電路基板接觸的所述探頭單元的所述探頭探針?biāo)斎胼敵龅碾娦盘?hào)，對(duì)該電路基板進(jìn)行電檢查。關(guān)于專(zhuān)利技術(shù)的第8方面所述的探頭單元，具有多個(gè)探頭、以及保持該各個(gè)探頭的保持部，所述保持部由具有通孔的板狀體來(lái)構(gòu)成，所述探頭由線形或棒狀的導(dǎo)電體構(gòu)成，所述導(dǎo)電體本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種探頭單元，其特征在于，該探頭單元包括主體部和探頭探針，所述主體部具有形成有第1通孔的板狀的第1支承部及與該第1支承部相對(duì)地配置且形成有第2通孔的板狀的第2支承部，所述探頭探針在其前端部和底端部分別插入所述第1通孔和所述第2通孔中的狀態(tài)下由所述主體部來(lái)支承，其位于所述第1支承部和所述第2支承部之間的中央部構(gòu)成為在進(jìn)行檢測(cè)時(shí)能夠彎曲，并且以使該中央部的直徑大于所述第1通孔的直徑的厚度在該中央部的外周面形成第1絕緣層，在所述探頭探針的所述前端部的表面的一部分、即除了與檢測(cè)對(duì)象物接觸的部位以外的預(yù)先規(guī)定的前端區(qū)域，以使該前端區(qū)域的直徑小于所述第1通孔的直徑的厚度來(lái)形成第2絕緣層。
【技術(shù)特征摘要】
...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：堀誠(chéng)一，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：日置電機(jī)株式會(huì)社，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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