石英坩堝加熱涂層包裝一體機制造技術

本發明專利技術公開了一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機，包括石英坩堝的傳輸系統、以及按傳輸方向依次設有的加熱系統、噴涂系統和包裝系統；所述加熱系統包括一個可密閉的加熱間，加熱間內設置有紅外線加熱管和用于恒定溫度的溫度感應器，所述噴涂系統包括一個可密閉的涂層間，涂層間內設置有可自動升降的旋轉接頭和噴嘴，所述包裝系統由置于石英坩堝上方和側方的負壓吸附機械手組成，所述傳輸系統包括作為動力源的伺服電機、鏈輪、鏈條和傳送帶，所述鏈輪與鏈條連接，傳送帶安裝在鏈條上。本發明專利技術設備可以有效的對石英坩堝進行加熱，涂層并包裝入庫，大大節省了人工，提高工作效率，也有效的解決了坩堝涂層粉末粘結不牢的問題。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種石英坩堝涂層包裝自動化的設備，具體涉及一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機。
技術介紹
作為拉制單晶硅時，在單晶硅上形成位錯的一個原因，是石英坩堝的內表面上析出的方石英石會釋放到硅熔融液中。作為對策，已知有在坩堝內表面上涂布結晶化促進劑， 使坩堝內表面早期形成結晶化的方法，在這些方法中，在石英坩堝表面上涂布氫氧化鋇溶液，氫氧化鋇與空氣中的二氧化碳反應，使生成的碳酸鋇沉淀在坩堝表面上，將其干燥，則附著在坩堝表面上，然而以前表面處理的石英坩堝存在如下問題，需要解決(I)以前附著在石英坩堝上的碳酸鋇粉末，由于沒有用粘合劑固著，所以附著力非常弱。因此，制品檢查和搬運，向盛放袋中裝入等制造方面的作業工序中，坩堝表面的碳酸鋇粉很容易剝落下來。處理器具和操作員觸及時也會剝落，成為斑點形成不均勻的附著狀態。進而，打開盛放袋時， 碳酸鋇粉飛揚，對操作員的健康造成危害；(2)由于碳酸鋇粉只是附著在表面上，所以附著力很弱，形成結晶核的效率很低，很容易形成碳酸鋇附著量過剩
技術實現思路
本專利技術的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機，解決了石英坩堝表面改質問題。本專利技術采用的技術方案是一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機，包括石英坩堝的傳輸系統、以及按傳輸方向依次設有的加熱系統、噴涂系統和包裝系統；所述加熱系統包括一個可密閉的加熱間，加熱間內設置有紅外線加熱管和用于恒定溫度的溫度感應器，所述噴涂系統包括一個可密閉的涂層間，涂層間內設置有可自動升降的旋轉接頭和噴嘴，所述包裝系統由置于石英坩堝上方和側方的負壓吸附機械手組成，所述傳輸系統包括作為動力源的伺服電機、鏈輪、鏈條和傳送帶，所述鏈輪與鏈條連接，傳送帶安裝在鏈條上。作為優選，所述加熱間和涂層間相通形成一個隧道房，隧道房的入口處和出口處設置有氣動門。隧道房的內外壁夾層設有聚脂泡沫板，內壁設有石英隔熱保溫板。作為優選，所述隧道房內設有濕度傳感器和排風循環管道。作為優選，所述傳送帶上設有固定石英坩堝的限位塊。傳送帶為不銹鋼傳送帶。本專利技術采用伺服電機作為主動力源傳遞動力，不銹鋼傳送帶固定鏈條上，靠鏈輪實現鋼帶的傳動，在隧道房入口處與出口處裝有氣動門在每進入一只石英坩堝時氣動門自行關閉，傳動帶停止傳送。記時器開始工作，每15分鐘進入一只石英坩堝。在隧道房進口與入口上方各有一個出風口，出風口表面含有排風扇用于將熱水氣抽走，內部還設有濕度傳感器用于檢驗室內的濕度，這樣加工車間中不會產生大量霧氣。隧道房內包括不銹鋼傳動帶、加熱系統、排風循環系統、噴涂系統，不銹鋼傳送帶采用特制限位塊拼制而成，每三個節距一節，有效的固定了石英坩堝，并保證坩堝在輸送鏈上的間距一致，從而也方便編碼器定位。加熱系統采用五組紅外線加熱管，并在房中間配有溫度感應器使其溫度恒定在350攝氏度左右，上方的排風循環管道保證管道內空氣流通也防止熱量的損失使房內的房外的壓力不至于相差過大。噴涂設備采用旋轉接頭加噴嘴，底盤在減速電機帶動下使噴管勻速轉動，時噴涂液均勻涂在石英坩堝內壁上，同時氣缸靠電磁閥控制進氣量時噴嘴勻速升降以保證坩堝內壁每處都能噴涂到溶液。同時加熱房內溫度與噴淋房內溫度一致這樣噴涂的液體附著力更強，坩堝在出了隧道房后進入包裝線，不銹鋼傳動帶上的限位塊隨鏈輪下降轉動到底部，坩堝與限位塊脫離，平穩過渡在中間的平帶上由于兩邊有限位欄坩堝不向兩側偏移這樣包裝線就與前面的加熱噴淋線分離開來。也就不需要和加熱噴淋線保持同步性， 畢竟加熱噴涂段工作間隔為15分鐘遠遠長于包裝時間。進入包裝線后，下左右機械手利用負壓吸附兩塊下泡沫包裝塊將其包裝在石英坩堝上后,上機械手將上一整塊泡沫包裝在坩堝上側，傳輸到平臺上后，上負壓吸管將平整的紙箱展開，蝸桿傳動的推桿將坩堝推入紙箱后貼膠帶打包。有益效果本專利技術設備可以有效的對石英坩堝進行加熱，涂層并包裝入庫，大大節省了人工，提高工作效率，也有效的解決了坩堝涂層粉末粘結不牢的問題。附圖說明圖1為本專利技術的結構示意圖；圖2為本專利技術的內部結構示意圖。具體實施方式下面結合附圖和具體實施方式對本專利技術作進一步說明如圖1和2所示一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機，包括石英坩堝的傳輸系統、以及按傳輸方向依次設有的加熱系統、噴涂系統和包裝系統；所述加熱系統包括一個可密閉的加熱間1，加熱間I內設置有紅外線加熱管3和用于恒定溫度的溫度感應器4，所述噴涂系統包括一個可密閉 的涂層間2，涂層間2內設置有可自動升降的旋轉接頭5和噴嘴6，所述包裝系統由置于石英坩堝上方和側方的負壓吸附機械手7組成，所述傳輸系統包括作為動力源的伺服電機8、鏈輪9、鏈條10和傳送帶11，所述鏈輪9與鏈條10連接，傳送帶11安裝在鏈條10上。所述加熱間I和涂層間2相通形成一個隧道房12，隧道房12的入口處和出口處設置有氣動門13。隧道房12的內外壁夾層設有聚脂泡沫板，內壁設有石英隔熱保溫板。所述隧道房12內設有濕度傳感器和排風循環管道15。所述傳送帶11上設有固定石英坩堝的限位塊14。傳送帶11為不銹鋼傳送帶。本專利技術是在坩堝內壁涂層前先將坩堝加熱至350攝氏度以上，再在石英坩堝內壁上噴涂氫氧化鋇溶液，當溶液遇到高溫時溶液燒成在坩堝內壁上，這樣粉末的附著力較以前有了大大的提高，另一方面也加強了坩堝的強度。權利要求1.一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機，其特征在于包括石英坩堝的傳輸系統、以及按傳輸方向依次設有的加熱系統、噴涂系統和包裝系統；所述加熱系統包括一個可密閉的加熱間(1)，加熱間(I)內設置有紅外線加熱管(3)和用于恒定溫度的溫度感應器(4)，所述噴涂系統包括一個可密閉的涂層間(2)，涂層間(2)內設置有可自動升降的旋轉接頭(5)和噴嘴(6)，所述包裝系統由置于石英坩堝上方和側方的負壓吸附機械手(7)組成，所述傳輸系統包括作為動力源的伺服電機(8)、鏈輪(9)、鏈條(10)和傳送帶(11)，所述鏈輪(9)與鏈條(10)連接，傳送帶(11)安裝在鏈條(10)上。2.根據權利要求1所述的石英坩堝加熱涂層包裝一體機，其特征在于所述加熱間(I)和涂層間(2)相通形成一個隧道房(12)，隧道房(12)的入口處和出口處設置有氣動門(13)。3.根據權利要求2所述的石英坩堝加熱涂層包裝一體機，其特征在于所述隧道房(12)的內外壁夾層設有聚脂泡沫板，內壁設有石英隔熱保溫板。4.根據權利要求2所述的石英坩堝加熱涂層包裝一體機，其特征在于所述隧道房(12)內設有濕度傳感器和排風循環管道(15)。5.根據權利要求1所述的石英坩堝加熱涂層包裝一體機，其特征在于所述傳送帶(II)上設有固定石英坩堝的限位塊(14)。6.根據權利要求1所述的石英坩堝加熱涂層包裝一體機，其特征在于所述傳送帶(11)為不銹鋼傳送帶。全文摘要本專利技術公開了一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機，包括石英坩堝的傳輸系統、以及按傳輸方向依次設有的加熱系統、噴涂系統和包裝系統；所述加熱系統包括一個可密閉的加熱間，加熱間內設置有紅外線加熱管和用于恒定溫度的溫度感應器，所述噴涂系統包括一個可密閉的涂層間，涂層間內設置有可自動升降的旋轉接頭和噴嘴，所述包裝系統由置于石英坩堝上方和側方的負壓吸附機械手組成，所述傳輸系統包括作為動力源的伺服電機、鏈輪、鏈條和傳送帶，所述鏈輪與鏈條連接，傳送帶安本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種石英坩堝加熱涂層包裝一體機，其特征在于：包括石英坩堝的傳輸系統、以及按傳輸方向依次設有的加熱系統、噴涂系統和包裝系統；所述加熱系統包括一個可密閉的加熱間（1），加熱間（1）內設置有紅外線加熱管（3）和用于恒定溫度的溫度感應器（4），所述噴涂系統包括一個可密閉的涂層間（2），涂層間（2）內設置有可自動升降的旋轉接頭（5）和噴嘴（6），所述包裝系統由置于石英坩堝上方和側方的負壓吸附機械手（7）組成，所述傳輸系統包括作為動力源的伺服電機（8）、鏈輪（9）、鏈條（10）和傳送帶（11），所述鏈輪（9）與鏈條（10）連接，傳送帶（11）安裝在鏈條（10）上。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：邵天聰，金軍，
申請(專利權)人：江蘇華爾光電材料股份有限公司，
類型：發明
國別省市：