將刀片（14）轉(zhuǎn)動(dòng)自由地安裝在刀片架（10）上。刀片架（10）做成圓筒形，在其前端設(shè)置安裝部（16）。在架接頭上設(shè)置開口部，利用磁鐵吸引并安裝刀片架（10），由此使裝拆容易進(jìn)行。另外，在刀片架（10）的面上將刀片的偏置數(shù)據(jù)作為二維編碼（17）加以記錄。通過在更換刀片架時(shí)讀出偏置數(shù)據(jù)并輸入至劃線裝置，抵消偏置。這樣，會(huì)節(jié)省在拆裝刀片架時(shí)有關(guān)修正的必要操作，可以在短暫的裝置停止期間內(nèi)更換刀片。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及用于在脆性材料基板上形成劃線線條的劃線裝置、劃線方法及其所使用的刀片架，特別涉及在保持劃線線條形成用的滾輪刀片(劃線滾輪)的刀片架上具有特征的劃線裝置、劃線方法及刀片架。
技術(shù)介紹
以往，在液晶顯示面板或液晶投影器基板等平板顯示器等中，在制造過程中，素玻璃基板在粘合后被截?cái)啵纬梢?guī)定大小的單個(gè)的面板。在截?cái)嘣撍夭ＡЩ宓却嘈圆牧匣鍟r(shí)，有劃線工序和斷開工序，在劃線工序中使用劃線裝置。圖1是表示現(xiàn)有的劃線裝置的一例的概略立體圖。該劃線裝置100中的移動(dòng)臺(tái) 101沿一對(duì)導(dǎo)軌102a、102b在y軸方向移動(dòng)自由地被保持。滾珠絲杠103與移動(dòng)臺(tái)101螺紋接合。滾珠絲杠103由馬達(dá)104驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，使移動(dòng)臺(tái)101沿導(dǎo)軌102a、102b在y軸方向移動(dòng)。在移動(dòng)臺(tái)101的上面設(shè)有馬達(dá)105。馬達(dá)105使工作臺(tái)106在xy平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，按規(guī)定角度定位。脆性材料基板107放置在該工作臺(tái)106上，由沒有圖示的真空吸引機(jī)構(gòu)等保持。在劃線裝置的上部設(shè)有拍攝脆性材料基板107的對(duì)位標(biāo)記的兩臺(tái)CCD照相機(jī)108。 在劃線裝置100中，按跨過移動(dòng)臺(tái)101和其上部的工作臺(tái)106的方式，沿x軸方向利用支柱IllaUllb架設(shè)橋構(gòu)件110。劃線頭112能沿設(shè)在橋構(gòu)件110上的導(dǎo)向件113在 X軸方向移動(dòng)。馬達(dá)114是使劃線頭112沿X軸方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源。在劃線頭112的前端部，經(jīng)由架接頭120而安裝有刀片架130。下面對(duì)安裝在劃線頭112上的現(xiàn)有的架接頭和刀片架進(jìn)行說明。如圖2所示的分解立體圖那樣，架接頭120在上部具有軸承121，下方具有構(gòu)成為L(zhǎng)字形的架部122。在架部 122的側(cè)方設(shè)有定位用的銷123。刀片架130如圖3、圖4所示是可轉(zhuǎn)動(dòng)地保持圓板狀的滾輪刀片(以下簡(jiǎn)稱為刀片)131的部件。刀片131利用銷(未作圖示)旋轉(zhuǎn)自由地保持在下端中央的前端部，銷由擋塊132防止脫落。刀片131 —邊與脆性材料基板壓接一邊滾動(dòng)，形成劃線線條。該刀片架130通過使其側(cè)面與定位銷123接觸，定位在架接頭120的架部122。 而且，刀片架130由固定螺栓133固定在架部122上。劃線頭112可升降移動(dòng)地保持其下部的架接頭120以及刀片架130。在劃線頭112上設(shè)有在其內(nèi)部可以進(jìn)行這樣的升降動(dòng)作的升降部，例如使用氣壓控制的氣缸或由線性馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)升降部等。該升降部一邊以適當(dāng)?shù)妮d荷使刀片131壓接在脆性材料基板的表面上，一邊使刀片131滾動(dòng)，形成劃線線條。其次，對(duì)在作為劃線裝置組裝后，對(duì)劃線動(dòng)作所需的電以及機(jī)械方面的調(diào)整結(jié)束了的劃線裝置的劃線動(dòng)作進(jìn)行說明。圖5A、圖5B是表示該處理順序的流程圖。在劃線開始前，如圖6所示，首先把脆性材料基板107放置在工作臺(tái)106上，在定位后進(jìn)行吸引固定(步驟S0)。之后，為了確認(rèn)定位狀況，使用設(shè)在劃線裝置上方的兩臺(tái)CCD照相機(jī)108，分別放大攝像基板上的左右兩處的定位用的對(duì)位標(biāo)記63a及63b，進(jìn)行圖像處理(步驟SI)。由于攝像后的放大圖像在各自對(duì)應(yīng)的監(jiān)視器上顯示，所以，操作人員可以一邊確認(rèn)其攝制的圖像一邊進(jìn)行精確的定位作業(yè)。劃線裝置100通過圖像處理，檢測(cè)基板107從連接兩臺(tái)CXD照相機(jī)的線、即工作臺(tái)106的基準(zhǔn)線A傾斜多少角度(Θ )放置，或者基板107從作為工作臺(tái) 106的基準(zhǔn)的原點(diǎn)位置偏離多少放置(步驟S2)。根據(jù)其檢測(cè)結(jié)果，劃線裝置100進(jìn)入步驟 S3，通過馬達(dá)105的轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行修正，使工作臺(tái)106的傾斜角Θ變成O。從工作臺(tái)106的原點(diǎn)位置的偏離可以進(jìn)行以下修正。關(guān)于y軸方向，使工作臺(tái)106在7軸方向上移動(dòng)與上述偏離量的y軸方向成分相當(dāng)?shù)牧浚硗猓P(guān)于X軸方向使劃線頭112的位置移動(dòng)與上述偏離量的X軸成分相當(dāng)?shù)牧俊Ａ硗猓鳛槠渌男拚椒ǎ€有下述的方法。即，劃線裝置把上述偏離量分成X軸成分和y軸成分，通過修正劃線動(dòng)作開始位置的位置數(shù)據(jù)的各軸成分的值， 使劃線開始位置移動(dòng)。若這樣作也可以得到相同的結(jié)果。在更換劃線對(duì)象的基板時(shí)，每次必定需要在劃線開始前實(shí)行上述偏離量的修正作業(yè)。只要修正作業(yè)結(jié)束，就從所希望的位置開始劃線動(dòng)作。劃線裝置100使刀片架下降，使刀片一邊與基板接觸一邊滾動(dòng)，進(jìn)行通常劃線(步驟S5 S7)。之后，在該劃線線條的形成之后，劃線裝置100使刀片架上升(步驟S8)，接著，使基板相對(duì)移動(dòng)(步驟S9)，返回至S5。下面，利用圖5B對(duì)步驟S9中所示的基板的移動(dòng)進(jìn)行詳細(xì)說明。首先，劃線裝置100 判斷作為控制程序內(nèi)的控制數(shù)據(jù)的旗標(biāo)FX是否為O (步驟S10)。該旗標(biāo)FX是在工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)創(chuàng)建的旗標(biāo)，初始化后成為O。只要旗標(biāo)FX為0，就進(jìn)入步驟S11，判斷X軸方向的劃線是否結(jié)束。如果未結(jié)束，則劃線裝置100通過移動(dòng)工作臺(tái)106相對(duì)移動(dòng)基板(步驟S12)，返回至步驟S5，反復(fù)進(jìn)行同樣的處理。這樣，通過反復(fù)該循環(huán)，可以結(jié)束X軸方向的劃線。在 X軸方向的劃線結(jié)束后，進(jìn)入步驟S13，劃線裝置100設(shè)定旗標(biāo)FX為1，進(jìn)入步驟S14，使工作臺(tái)106向右方向轉(zhuǎn)動(dòng)90度。之后，在步驟 S15中判斷y軸方向的劃線是否結(jié)束，如果未結(jié)束，就進(jìn)入步驟S16使工作臺(tái)106移動(dòng)，返回到步驟S5。如果X軸方向的劃線結(jié)束，則旗標(biāo)FX即被建立，所以，劃線裝置100從步驟SlO進(jìn)入到步驟S15，判斷y軸方向的劃線是否結(jié)束。在沒有結(jié)束的情況下，劃線裝置100使基板相對(duì)地向y軸方向平行移動(dòng)必要的移動(dòng)量(步驟S16)。之后，再次返回步驟S5，重復(fù)同樣的劃線動(dòng)作。此后，當(dāng)劃線裝置100判斷在步驟S15中完全結(jié)束了 y軸方向的劃線線條的形成時(shí)，使工作臺(tái)向左方向轉(zhuǎn)動(dòng)90度，結(jié)束劃線動(dòng)作。劃線裝置100重新設(shè)定旗標(biāo)FX，基板解除吸引，從工作臺(tái)106拆下(步驟S17)。 接著，在工作臺(tái)上放置另一基板時(shí)，也可以按同樣的順序進(jìn)行劃線動(dòng)作。在新制造的劃線裝置100上安裝使用架接頭120時(shí)，或在使用劃線裝置的中途為了調(diào)整、修理或?yàn)榱烁鼡Q而拆除安裝刀片131的刀片架130、劃線頭112或架接頭120后，調(diào)整后再安裝使用時(shí)，或在更換后安裝另一構(gòu)件進(jìn)行使用時(shí)，需要用下述方法進(jìn)行偏移量的修正作業(yè)。此時(shí)，為了簡(jiǎn)單地說明，假定以下的調(diào)整已經(jīng)結(jié)束來(lái)進(jìn)行說明。即，調(diào)整兩臺(tái)CXD 照相機(jī)內(nèi)的一臺(tái)的攝影圖像的中心坐標(biāo)，使之與劃線線條的形成所必需的原點(diǎn)位置一致， 進(jìn)而，在刀片架等構(gòu)件安裝后由刀片形成的劃線線條預(yù)先調(diào)整成與工作臺(tái)的X軸方向的基準(zhǔn)線平行。首先，為了精確測(cè)出劃線裝置100的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的原點(diǎn)位置和實(shí)際上刀片131在基板上開始形成劃線線條的開始位置的偏移，必須進(jìn)行測(cè)試劃線。在進(jìn)行測(cè)試劃線時(shí)，操作人員把與一般的母基板不同的虛擬基板放置在工作臺(tái)106上，實(shí)施從步驟SO到S3的前處理。 圖7是表示由測(cè)試在虛擬基板上形成的劃線和由CCD照相機(jī)拍攝的圖像的對(duì)位標(biāo)記的中心坐標(biāo)PO的位置關(guān)系的模式圖。只要?jiǎng)澗€頭112或架接頭120及刀片架130的各偏置量被修正處理并抵消，劃線裝置100就可以從中心坐標(biāo)PO開始劃線。可是，由于存在電及機(jī)械的誤差，每個(gè)組裝構(gòu)件的值都不同，故若不重新測(cè)定安裝后的誤差量而結(jié)束所需的修正處理的話，就不能從中心坐標(biāo)PO進(jìn)行劃線。因此，操作人員使刀片架130下降，使刀片與虛擬基板接觸(步驟S5'、S6')。之后，對(duì)虛擬基板進(jìn)行測(cè)試劃線，形成一根劃線本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種劃線裝置的刀片架安裝結(jié)構(gòu)體，其特征在于，具備用于切斷脆性材料基板的劃線線條形成用的刀片架、架接頭和磁鐵，所述刀片架在一端具備一面被切削成包括傾斜部的安裝部，所述刀片架在另一端具備安裝成能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的劃線線條形成用的滾輪刀片，所述架接頭被安裝于劃線裝置的劃線頭，并且具備將所述刀片架支承成能夠裝拆的支承部，所述磁鐵被安裝于所述架接頭，用以吸引所述刀片架的安裝部，在所述架接頭的支承部形成有用于插入所述刀片架的安裝部的開口，在該開口的內(nèi)側(cè)埋設(shè)所述磁鐵，在所述開口的內(nèi)部在與開口的中心軸隔開的位置上與中心軸垂直地設(shè)有平行銷，若將所述刀片架的安裝部插入到架接頭的開口中，則所述平行銷與所述刀片架的傾斜部接觸，所述滾輪刀片與刀片架一體化，所述刀片架的安裝部由磁性體金屬構(gòu)成，呈向所述開口被插入的形態(tài)，所述架接頭具備軸承，并且能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于所述劃線頭。
【技術(shù)特征摘要】
...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：山本正男，田端淳，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：三星鉆石工業(yè)股份有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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