【技術實現步驟摘要】
一種高真空系統密封裝置
本技術涉及一種用于真空系統中接通和截止氣流領域，尤其是一種高真空系統密封裝置。
技術介紹
目前大部分油擴散泵采用擋板閥的結構，也有部分裝置采用了翻板閥的結構。這些結構解決了真空密封問題，但是對低溫深冷撲集系統無法起到保護作用。國內翻板閥存在以下缺點(1)翻板時無調整，密封圈易被擠壞，泄露量大；(2)密封圈加工于閥體上，更換密封圈需拆下翻板閥閥板，影響生廣效率。
技術實現思路
本技術的專利技術目的在于針對上述存在的問題，提供一種用于真空系統中接通和截止氣流裝置。這種裝置的優點在于真空翻板閥在真空狀態啟閉過程中瞬時完成，通導能力達到90%以上，生產效率高，也可根據生產及設備的本身需要，可界定其不同大小的通導能力。如果操作過程中出現停電或意外，閥板會自行關閉，將真空室體大氣一端和油擴散泵及深冷撲集裝置進行隔離，起到安全保護深冷系統不被暴露大氣和升溫影響，且保護真空擴散泵泵油不易氧化的作用。本技術采用的技術方案是這樣的一種高真空系統密封裝置，包括真空室體、 高真空翻板閥、低溫盤管、冷凝罩和K-800A擴散泵。適用于壓力低于一個大氣壓至10-5Pa 真空度范圍內。可遠距離使用控制和電器連鎖控制。這種裝置的優點在于翻板閥連接于真空室體和冷凝罩之間，起著隔開或連通室體與真空抽氣系統之作用。翻板閥采用驅動氣缸驅動，驅動氣缸由電氣控制，實現自動動作；冷凝罩中裝有深冷系統低溫盤管，主要是為了使擴散泵的油蒸汽在泵口能更好的冷卻、回流，盤管吸附高真空中的水蒸氣，使泵發揮更大的抽氣能力。所述的高真空翻板閥，包括驅動氣缸、氣缸轉臂、閥板固定臂、閥板調整機構...
【技術保護點】
一種高真空系統密封裝置，其特征在于,包括:真空室體（1）、高真空翻板閥（2）、低溫盤管（3）、冷凝罩（4）和擴散泵（5），所述的冷凝罩（4）中裝有低溫盤管（3）；所述的高真空翻板閥（2）包括：驅動氣缸（2?1）、氣缸轉臂（2?2）、閥板固定臂（2?3）、閥板調整機構（2?4）、閥板調平軸（2?5）、閥板（2?6），所述的驅動氣缸（2?1）由自動控制動作，驅動氣缸（2?1）驅動氣缸轉臂（2?2）和閥板固定臂（2?3）動作。
【技術特征摘要】
1.一種高真空系統密封裝置，其特征在于，包括真空室體(I)、高真空翻板閥(2)、低溫盤管(3)、冷凝罩(4)和擴散泵(5)，所述的冷凝罩(4)中裝有低溫盤管(3);所述的高真空翻板閥(2)包括驅動氣缸(2-1 )、氣缸轉臂(2-2)、閥板固定臂(2-3)、閥板調整機構(2-4 )、閥板調平軸(2-5 )、閥板(2-6 )，所述的驅動氣缸(2-1)由自動控制動作，驅動氣缸(2-1)驅動氣缸...
【專利技術屬性】
技術研發人員：范多旺，牛曉山，牛進虎，楊書本，范多進，令曉明，
申請(專利權)人：常州大成綠色鍍膜科技有限公司，蘭州交大國家綠色鍍膜工程中心有限責任公司，蘭州大成科技股份有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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