壓力傳感器制造技術

一種壓力傳感器(1)，具有：壓力檢測元件(2)；基座(4)，內表面固定有該壓力檢測元件；承載部件(5)，與基座相對配置；膜片(6)，由基座和承載部件夾持；夾持部件(13)，對夾持膜片的狀態下的基座和承載部件兩者進行夾持以防止兩者互相分開；及液體，封入在基座與膜片之間的空間，承載部件與膜片之間的空間內的壓力，通過膜片及液體傳遞給壓力檢測元件。因具有夾持部件，故即使基座和承載部件之間重復受到高壓，兩者也不會分開，即使基座和承載部件為焊接接合，也能避免焊接部的破裂，可防止壓力傳感器的破損。本發明專利技術的壓力傳感器，在用于對CO2等高壓制冷劑所通過的流路等的壓力進行檢測時能防止高壓所引起的破損，較為安全。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種壓力傳感器，尤其涉及一種在收容有壓力檢測元件的受壓空間封入有液體的充液式壓力傳感器。
技術介紹
以往，提出了各種的壓力傳感器，在收容有壓力檢測元件的受壓空間內封入有液體，將從外部施加于壓力檢測室的壓力通過液體而傳遞給壓力檢測元件，由此從壓力檢測元件輸出與外部壓力對應的電壓信號。作為上述充液式壓力傳感器的一例子，專利文獻I記載了這樣一種壓力傳感器: 該壓力傳感器具有蓋部件，該蓋部件通過形成于底部的貫通孔與將來自外部的壓力導入的壓力導入管連接、且通過沿外周的焊接部與壓力檢測元件連接，將從該蓋部件的外周部至貫通孔的縱截面的至少一部分形成為L字狀，由此，降低流體壓力作用于蓋部件的內表面時以焊接部為支點的朝向旋轉方向的力，防止焊接部斷裂。專利文獻I :日本特開2005-308397號公報但是，在上述專利文獻所記載的壓力傳感器中，雖然通過防止蓋部件的焊接部斷裂來提高耐壓性能，但是，在用于使用了 CO2等高壓制冷劑的制冷設備、空調機是制冷劑流路等的壓力檢測的情況下，因為較高的壓力重復地施加在上述焊接部等上，因此，焊接部可能會產生破裂等、造成破損。
技術實現思路
因此，本專利技術是為了解決上述問題而做的，其目的在于提供一種壓力傳感器，在用于CO2等高壓制冷劑所通過的流路等的壓力的檢測時，也能防止高壓所造成的破損，較為安全。為了實現上述目的，本專利技術的壓力傳感器，其具有壓力檢測元件；基座，該基座的內表面固定有該壓力檢測元件；承載部件，該承載部件與該基座相對配置；膜片，該膜片由所述基座和所述承載部件夾持；夾持部件，該夾持部件對夾持該膜片的狀態下的所述基座和所述承載部件兩者進行夾持以防止兩者互相分離開；以及液體，該液體封入在所述基座與所述膜片之間的空間，所述承載部件與所述膜片之間的空間內的壓力通過所述膜片及所述液體傳遞給所述壓力檢測元件。此外，采用本專利技術，由于利用夾持部件將夾持有膜片的狀態的基座及承載部件予以夾持、防止兩者互相離開，因此，即使基座和承載部件之間反復受到高壓，兩者也不會分離開，即使基座和承載部件被焊接接合，也可避免焊接部破裂，防止壓力傳感器破損。在上述壓力傳感器中，所述基座和承載部件分別具有鼓出部及周緣部，且所述膜片由所述基座及承載部件的周緣部夾持，所述夾持部件的一端與所述基座及所述承載部件中的某一方的鼓出部或周緣部卡合，所述夾持部件的另一端與所述基座及所述承載部件中的另一方的周緣部焊接接合。CN 102980713 A書明說2/7頁在上述壓力傳感器中，所述夾持部件由圓筒部及設在該圓筒部的一端的內凸緣部構成，該內凸緣部與所述基座及所述承載部件中的某一方的周緣部卡合，該圓筒部的另一端與所述基座及所述承載部件中的另一方的周緣部焊接接合。另外，所述夾持部件由圓筒部及設在該圓筒部的一端上的傾斜部構成，該傾斜部與所述基座及所述夾持部件中的某一方的鼓出部的肩部卡合，該圓筒部的另一端與所述基座及所述承載部件中的另一方的周緣部焊接接合。此外，所述夾持部件由圓筒部及 設在該圓筒部的一端的內凸緣部構成，該內凸緣部與所述基座及所述夾持部件中的某一方的鼓出部的上表面部周邊卡合，該圓筒部的另一端與所述基座及所述承載部件中的另一方的周緣部焊接接合。在該情況下，所述內凸緣部的內周形成有圓弧狀的凹陷部，該凹陷部用于避開形成在所述鼓出部的密封孔。還有，所述夾持部件由圓筒部及設在該圓筒部的一端的頂部構成，該頂部與所述基座及所述承載部件中的某一方的鼓出部的上表面部整個面卡合，該圓筒部的另一端與所述基座及所述承載部件中的另一方的周緣部焊接接合。在該情況下，所述頂部形成有孔，該孔用于避開形成在所述鼓出部的密封孔。專利技術效果如上所述，采用本專利技術提供一種壓力傳感器，在用于CO2等高壓制冷劑所通過的流路等的壓力的檢測時，也能防止高壓所造成的破損，較為安全。附圖說明圖I是表示本專利技術的壓力傳感器的第一實施方式的圖，圖1(a)是俯視圖，圖1(b) 是沿圖1(a)中的A-A線的截面圖。圖2是表示本專利技術的壓力傳感器的第二實施方式的圖，圖2(a)是俯視圖，圖2 (b) 是沿圖2(a)中的B-B線的截面圖。圖3是表示本專利技術的壓力傳感器的第三實施方式的圖，圖3(a)是俯視圖，圖3 (b) 是沿圖3(a)中的C-C線的截面圖。圖4是表示本專利技術的壓力傳感器的第四實施方式的圖，圖4(a)是俯視圖，圖4(b) 是沿圖4(a)中的D-D線的截面圖。符號說明4 1壓力傳感器2壓力檢測元件3流入管4基座4a貫通孔4b密封件4c周緣部4d側面部4e上表面部5承載部件5a周緣部5b側面部5c下表面部6膜片7受壓空間8加壓空間9球體11(11A 11C) 輸出用引腳 12(12A 12E) 調整用引腳 13 夾持部件13a內凸緣部13b圓筒部14、15 焊接部21壓力傳感器22夾持部件22a傾斜部22b圓筒部22c內凸緣部31壓力傳感器32夾持部件32a傾斜部32b圓筒部32c內凸緣部32x、32y 凹陷41壓力傳感器42夾持部件42a、42b 孔42c圓筒部42d傾斜部42e頂部具體實施方式下面，參照附圖來詳細說明實施本專利技術用的方式。圖I表示本專利技術的壓力傳感器的第一實施方式，該壓力傳感器I具有壓力檢測元件2 ;基座4 ;與基座4相對配置的承載部件5 ；由基座4和承載部件5夾持的膜片6 ；以及對夾持有膜片6的狀態下的基座4及承載部件5再進行夾持(保持)的夾持部件(保持部件)13。在基座4與膜片6之間的受壓空間7封入有液體(油)。壓力檢測元件2在受壓空間7的內部且固定在基座4上。在承載部件5與膜片6 之間形成有作為壓力導入空間的加壓空間8，加壓空間8與流入制冷劑的流入管3的內部空間連通。基座4例如通過沖壓加工成型，具有從周緣部(鍔部)4c的內側向上方鼓出的鼓出部，并形成為下部開口的蓋狀。該鼓出部包括從周緣部4c的內側立起的側面部4d ;以及與側面部4d相連設置的上表面部4e。在基座4的鼓出部的下表面(即上表面部4e的下表面)上利用粘接方式固定有壓力檢測元件2。承載部件5例如通過沖壓加工成型，具有從周緣部(鍔部)5a的內側向下方鼓出的鼓出部，并形成為上部開口的盤狀。該鼓出部包括從周緣部5a的內側立起的側面部5b ； 以及與側面部5b相連設置的下表面部5c。在承載部件5的鼓出部中央(即下表面部5c的中央)的開口上釬焊固定有流入管3。膜片6的外周緣部夾入在基座4的周緣部4c與承載部件5的周緣部5a之間，這三個部件4 6在將膜片6外周緣部露出的外周緣部分通過激光焊接等而被同時焊接(焊接部14)，被一體化。受壓空間7是在從貫通基座4上的表面部4e而形成的充填孔(未圖示)注入液體(油)后,在基座4的上表面由球體9封住充填孔。夾持部件13具有圓筒部13b，該圓筒部的內徑比夾持有膜片6的狀態下的基座4 及承載部件5的外徑大一些；以及內凸緣部13a，該內凸緣部13a在該圓筒部13b的上部向內側延伸，夾持部件13對基座4及承載部件5進行夾持以防止兩者互相離開。將夾持部件 13的圓筒部13b從上方安裝在基座4及承載部件5的周緣部4c、5a的外周上，在內凸緣部 13a與基座4的周緣部4c的上表面卡合的狀態下，圓筒部13b的下部通過激光焊接等焊接在承載部件5的周緣部5a的側面上(焊接部15)。壓力檢測本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種壓力傳感器，其特征在于，具有：壓力檢測元件；基座，該基座的內表面固定有該壓力檢測元件；承載部件，該承載部件與該基座相對配置；膜片，該膜片由所述基座和所述承載部件夾持；夾持部件，該夾持部件對夾持該膜片的狀態下的所述基座和所述承載部件兩者進行夾持以防止兩者互相分離開；以及液體，該液體封入在所述基座與所述膜片之間的空間，所述承載部件與所述膜片之間的空間內的壓力通過所述膜片及所述液體傳遞給所述壓力檢測元件。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：高月修，青山倫久，向井元桐，住吉雄一朗，
申請(專利權)人：株式會社不二工機，
類型：發明
國別省市：