基板反轉裝置及基板操作方法以及基板處理裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術的基板反轉裝置具有：多個第一下引導件，通過第一下傾斜部和基板的周緣部的接觸，將基板支撐為水平姿勢；多個第一上引導件，通過第一上傾斜部和基板的周緣部的接觸，來與多個第一下引導件協同動作地夾持基板；引導件移動機構，使多個第一上引導件以及第一下引導件水平移動；引導件旋轉單元，通過使多個第一上引導件以及第一下引導件圍繞水平延伸的反轉軸線旋轉，來使基板進行反轉。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及使基板反轉的基板反轉裝置、基板操作方法以及處理基板的基板處理裝置?；謇绨ò雽w晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子顯示器用基板、FED (FieldEmission Display :場發射型顯示器)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太陽能電池用基板等。
技術介紹
在半導體裝置、液晶顯示裝置等的制造工序中，使用處理半導體晶片、液晶顯示裝置用玻璃基板等基板的基板處理裝置。例如美國專利申請公開號 US2008/0156357A1記載的基板處理裝置具有反轉單元，該反轉單元通過使基板圍繞水平軸線進行旋轉，來使基板反轉。反轉單元包括被支撐為水平的固定板；與固定板相向的可動板；使可動板沿著上下方向平行移動的缸體；使固定板以及可動板圍繞水平軸線旋轉的旋轉驅動裝置。在使基板進行反轉時，搬入至固定板和可動板之間的基板通過安裝在固定板上的多個支撐銷被固定板支撐。然后，通過缸體使可動板下降，可動板接近固定板。由此，通過安裝在固定板上的多個支撐銷和安裝在可動板上的多個支撐銷，上下夾著被固定板支撐的基板。然后，通過旋轉驅動裝置使固定板以及可動板圍繞水平軸線旋轉，被固定板以及可動板夾持的基板進行反轉。US2008/0156357A1記載的反轉單元，由于可動板上下移動，因此需要在可動板的上下確?？蓜影逡苿佑玫目臻g。因此，反轉單元的高度增加，反轉單元會大型化。
技術實現思路
本專利技術的一個實施方式提供能夠抑制或者防止大型化的基板反轉裝置及基板操作方法。而且，本專利技術的一個實施方式提供具有能夠抑制或者防止大型化的基板反轉裝置的基板處理裝置。本專利技術的一實施方式的基板反轉裝置，具有多個第一下引導件，分別具有朝向鉛垂延伸的基準線向斜下方傾斜的第一下傾斜部，通過使多個上述第一下傾斜部與基板的周緣部相接觸，來將上述基板支撐為水平的姿勢；多個第一上引導件，各自具有朝向上述基準線向斜上方傾斜的第一上傾斜部，通過在多個上述第一下傾斜部和上述基板的周緣部相接觸的位置的上方，使多個上述第一上傾斜部與上述基板的周緣部相接觸，來使多個上述第一上引導件借助與上述多個第一下引導件的協同動作來夾持上述基板；引導件移動機構，使多個上述第一上引導件水平移動，并使多個上述第一下引導件水平移動；引導件旋轉單元，通過使多個上述第一上引導件以及多個上述第一下引導件圍繞水平延伸的反轉軸線進行旋轉，來使被多個上述第一上引導件以及多個上述第一下引導件夾持的基板反轉。根據該結構，多個第一下引導件的第一下傾斜部與基板的周緣部相接觸，并且在第一下傾斜部和基板的周緣部相接觸的位置的上方，多個第一上引導件的第一上傾斜部與基板的周緣部相接觸。由此，通過多個第一上引導件以及多個第一下引導件將基板夾持為水平的姿勢。在多個第一上引導件以及多個第一下引導件夾持有基板的狀態下，引導件旋轉單元使多個第一上引導件以及多個第一下引導件圍繞反轉軸線旋轉180度。由此，基板的表面的位置和基板的背面的位置被調換，基板被反轉。第一下引導件的第一下傾斜部朝向鉛垂延伸的基準線向斜下方傾斜。因此，多個第一下引導件能夠通過使多個第一下傾斜部與基板的周緣部相接觸，來將基板支撐為水平的姿勢。而且，引導件移動機構能夠通過使多個第一上引導件水平移動，來使多個第一上引導件退避。在多個第一上引導件退避的狀態下，用于搬運基板的基板搬運機械手能夠將基板載置于多個第一下引導件上，或者接收被多個第一下引導件支撐的基板。另外，由于第一上引導件的第一上傾斜部朝向基準線向斜上方傾斜，因此當引導件旋轉單元使多個第一上引導件以及第一下引導件圍繞反轉軸線旋轉180度時，第一上傾斜部從朝下的狀態變為朝上的狀態。在第一上傾斜部朝上的狀態下，多個第一上引導件能夠通過使多個第一上傾斜部與基板的周緣部相接觸，來將基板支撐為水平的姿勢。因此，在·第一下傾斜部朝下的狀態下，基板搬運機械手能夠將基板搬入多個第一上引導件，或者從多個第一上引導件搬出基板。這樣，由于在各引導件上設置有相對于水平面傾斜的傾斜部，因此在第一上傾斜部以及第一下傾斜部中的某個朝下的狀態，基板搬運機械手能夠搬入基板以及搬出基板。而且，在通過第一上引導件或者第一下引導件將基板支撐為水平的姿勢的狀態下，引導件移動機構通過使被退避的多個引導件水平移動，來通過多個第一上引導件以及多個第一下引導件將基板夾持為水平的姿勢。而且，由于引導件移動機構使第一上引導件以及第一下引導件水平移動，因此可以不在引導件的上下設置引導件移動用的空間。因此，與使引導件上下移動來進行夾持的結構相比，能夠降低基板反轉裝置的高度。由此，能夠抑制或者防止基板反轉裝置的大型化。優選本專利技術的上述實施方式的基板反轉裝置還具有多個保持構件，多個上述保持構件分別保持上述第一上引導件以及上述第一下引導件，并且多個上述保持構件借助上述弓I導件旋轉單元圍繞上述反轉軸線進行旋轉。根據該結構，引導件旋轉單元使多個保持構件圍繞反轉軸線進行旋轉。由于多個保持構件保持多個第一上引導件以及多個第一下引導件，因此當引導件旋轉單元使多個保持構件圍繞反轉軸線進行旋轉時，多個第一上引導件以及多個第一下引導件也圍繞反轉軸線進行旋轉。因此，可以不用設置將多個第一上引導件以及多個第一下引導件與引導件旋轉單元分別單獨連接的多個構件。因此，能夠抑制或者防止基板反轉裝置的大型化。本專利技術的上述實施方式的基板反轉裝置，可以具有多個旋轉軸，多個上述旋轉軸分別與多個上述保持構件相連接，并且多個上述旋轉軸能夠圍繞上述反轉軸線進行旋轉。在該情況下，上述引導件旋轉單元可以與多個上述旋轉軸中的某一個相連接。根據該結構，引導件旋轉單元的動力(圍繞反轉軸線的動力)輸入至某一個旋轉軸(驅動側的旋轉軸)。并且，輸入至驅動側的旋轉軸的動力，通過與驅動側的旋轉軸相連接的保持構件(驅動側的保持構件)，傳送至被驅動側的保持構件保持的引導件。因此，在通過多個引導件夾持基板的狀態下，引導件旋轉單元的動力，從被驅動側的保持構件保持的引導件經由基板傳遞至被其他保持構件(從動側的保持構件)保持的引導件。由此，引導件旋轉單元的動力從驅動側的保持構件傳遞至從動側的保持構件，多個保持構件和多個旋轉軸圍繞反轉軸線進行旋轉。這樣，由于引導件旋轉單元僅與某一個旋轉軸相連接，因此與引導件旋轉單元與各旋轉軸相連接的結構相比，能夠減小基板反轉裝置的大小。由此，能夠抑制或者防止基板反轉裝置的大型化。另外，在本專利技術的上述實施方式的基板反轉裝置中，可以使多個上述第一上引導件分別配置于多個上述第一下引導件的上方。根據該結構，由于多個第一上引導件分別配置于多個第一下引導件的上方，因此俯視時第一上引導件與第一下引導件重疊。因此，能夠減小俯視時的第一上引導件以及第一下引導件的專有面積。由此，能夠抑制或者防止基板反轉裝置的大型化。本專利技術的上述實施方式的基板反轉裝置還可以具有多個第二下引導件，分別具有朝向上述基準線向斜下方傾斜的第二下傾斜部，通過使多個上述第二下傾斜部，與配置在與被多個上述第一上引導件以及多個上述第一下引導件夾持的基板不同的高度上的基板的周緣部相接觸，來將上述基板支撐為水平的姿勢，多個第二上引導件，分別具有朝向上述基準線向斜上方傾斜的第二上傾斜部，通過在多個上述第二下傾斜部和上述基板的周緣 部相本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種基板反轉裝置，其特征在于，具有：多個第一下引導件，分別具有朝向鉛垂延伸的基準線向斜下方傾斜的第一下傾斜部，通過使多個上述第一下傾斜部與基板的周緣部相接觸，來將上述基板支撐為水平的姿勢，多個第一上引導件，分別具有朝向上述基準線向斜上方傾斜的第一上傾斜部，通過在多個上述第一下傾斜部和上述基板的周緣部相接觸的位置的上方，使多個上述第一上傾斜部與上述基板的周緣部相接觸，來使多個上述第一上引導件借助與多個上述第一下引導件的協同動作來夾持上述基板，引導件移動機構，使多個上述第一上引導件水平移動，并使多個上述第一下引導件水平移動，引導件旋轉單元，通過使多個上述第一上引導件以及多個上述第一下引導件圍繞水平延伸的反轉軸線進行旋轉，來使被多個上述第一上引導件以及多個上述第一下引導件夾持的基板反轉。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：村元僚，
申請(專利權)人：大日本網屏制造株式會社，
類型：發明
國別省市：