用于放置基板的存儲裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術提供了用于放置基板的存儲裝置。存儲裝置包括：殼體，殼體包括上殼體和下殼體，上殼體和下殼體之間形成存儲空間；插架，插架嵌設在下殼體的內部，具有多個彼此獨立的插架凹槽。本實用新型專利技術通過在殼體內設置插架，從而形成用于放置基板的存儲空間。由于插架上設置有多個彼此獨立的插架凹槽，從而將每個基板獨立隔開，因而減少了基板間的碰撞。本實用新型專利技術還具有結構簡單、制造成本低等特點。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及基板存儲領域，更具體地，涉及一種用于放置基板的存儲裝置。
技術介紹
基板，例如小尺寸勻膠鉻版，是一種硬面光掩膜材料，即光掩膜基板。它是在平整的、高光潔度的玻璃基板上通過直流磁控濺射沉積上氮化鉻氮氧化鉻薄膜而形成鉻膜基板，再在其上涂敷一層光致抗蝕劑(又稱光刻膠)或電子束抗蝕劑制成勻膠鉻版。現有技術中基板一般放置在晶圓包裝盒中存儲。由于晶圓與基板的形狀不同，所以晶圓包裝盒的內部空間不能很好的滿足基板的存儲要求。而且晶圓包裝盒是透明的，但存儲基板時應需要滿足其避光的存儲要求，所以難以避免基板在存儲的過程中發生曝光的情況。在運輸的過程中，為保證不會發生基板與晶圓包裝盒的盒壁碰撞而導致基板損壞的情況，所以在盒內與基板角部對應的位置采用硬物頂住的方式進行固定，但此方法導致加工工序復雜、制造成本高，且當震動較大的情況下易造成基板產生擦痕。
技術實現思路
本技術旨在提供一種用于放置基板的存儲裝置，以解決現有技術中存儲基板時容易發生基板損壞的問題。為解決上述技術問題，本技術提供了一種用于放置基板的存儲裝置，包括殼體，殼體包括上殼體和下殼體，上殼體和下殼體之間形成存儲空間；插架，插架嵌設在下殼體的內部，具有多個彼此獨立的插架凹槽。進一步地，存儲裝置還包括緩沖部，緩沖部設置在上殼體的頂壁上。進一步地，上殼體和下殼體均包括不透光層。進一步地，上殼體包括第一容納腔，下殼體包括第二容納腔，第一容納腔和第二容納腔配合形成存儲空間。進一步地，第一容納腔內設置有卡槽，緩沖部通過卡槽可拆卸地設置在上殼體上。進一步地，緩沖部是彈性軟管或海綿件或橡膠件。進一步地,第二容納腔內設置有多個卡板,各個卡板從第二容納腔的底壁向所第二容納腔的開口延伸，插架卡設在相鄰兩個卡板所形成的卡接空間中。進一步地，插架包括插架容納腔，插架的相對側壁上對應設置有插架凹槽。進一步地，插架的相鄰兩側壁上的插架凹槽的大小不同。進一步地，插架還包括設置在插架底部的支撐板。進一步地，上殼體的連接端設置有第一連接凸緣，下殼體的連接端設置有與第一連接凸緣配合的第二連接凸緣。進一步地，第一連接凸緣上設置有向下殼體延伸的凸沿，第二連接凸緣設置有與凸沿相對應的卡口，凸沿為多個，多個凸沿沿殼體的縱向中平面對稱設置在第一連接凸緣上；卡口與凸沿對應地設置。本技術通過在殼體內設置插架，從而形成用于放置基板的存儲空間。由于插架上設置有多個彼此獨立的插架凹槽，從而將每個基板獨立隔開，因而減少了基板間的碰撞。本技術還具有結構簡單、制造成本低等特點。附圖說明構成本申請的一部分的附圖用來提供對本技術的進一步理解，本技術的示意性實施例及其說明用于解釋本技術，并不構成對本技術的不當限定。在附圖中圖I示意性示出了本技術中的上殼體的結構示意圖；圖2示意性示出了本技術中的下殼體的結構示意圖；以及圖3示意性示出了本技術中的插架的結構示意圖。具體實施方式以下結合附圖對本技術的實施例進行詳細說明，但是本技術可以由權利要求限定和覆蓋的多種不同方式實施。本技術提供一種用于放置基板的存儲裝置。如圖I至圖3所示，本技術的存儲裝置包括殼體，殼體包括上殼體10和下殼體20，上殼體10和下殼體20之間形成存儲空間；插架40，插架40嵌設在下殼體20的內部，具有多個彼此獨立的插架凹槽41。優選地，插架40可拆卸地嵌設在下殼體20的內部。基板放置在殼體內，并通過插架40進行間隔設置。為避免在搬運存儲裝置的過程中由于基板與殼體碰撞而引發基板損壞的情況，所以殼體不應制造得過大，而且基板放置在存儲裝置內后，基板應與殼體有一定的抵接作用，從而保證基板放置的可靠性。由于設置了插架40，從而使得每個基板都被獨立隔開，因而減少了基板間的碰撞，減少了基板損壞的情況。同時，本技術還具有結構簡單、制造成本低等特點。本技術中的存儲裝置還包括緩沖部，緩沖部設置在上殼體10的頂壁。由于在上殼體10內設置有緩沖部，從而使得基板放置在殼體內后與緩沖部相接觸，不僅提高了基板放置的可靠性，同時還避免了基板與殼體直接發生碰撞，起到了減震緩沖的作用。優選地,如圖I和圖2所不的實施例中，上殼體10包括第一容納腔11，下殼體20包括第二容納腔21，第一容納腔11和第二容納腔21配合形成存儲空間。第一容納腔11內設置有卡槽12，緩沖部通過卡槽12可拆卸地設置在上殼體10上。由于緩沖部可拆卸，因而可以根據放置在存儲裝置內基板的大小，來調整緩沖部的大小，從而保證基板可以穩固的放置在存儲裝置內。優選地，緩沖部是彈性軟管或海綿件或橡膠件。進一步地，緩沖部是中空軟管。基板放置在存儲裝置內后，軟管會頂住基板。因為軟管柔韌性好且中空，所以不會損傷基板，而且在搬運存儲裝置的過程中也會起到良好的緩沖作用。軟管還具有成本低、安裝方便的特點。本技術中的第二容納腔21內設置有多個卡板22，各個卡板22從第二容納腔21的底部向所第二容納腔21的開口延伸，插架40卡設在相鄰兩個卡板22所形成的卡接空間中(請參考圖I和圖2)。優選地，卡板22設置在殼體的每兩個相鄰的內側壁的連接區域。由于設置了卡板22，使得相鄰內側壁上的兩個卡板22與兩個內側壁共同形成了插架40的卡接空間，從而使插架40卡放在殼體內不會隨意晃動，進一步保證了基板放置的可靠性。優選地，如圖3所示的實施例中，插架40包括插架容納腔，插架40的相對側壁上對應設置有上述的插架凹槽41。放置基板時，每個基板都應獨立的放置在兩個對應設置的插架凹槽41所形成的放置空間內，從而減小基板之間的碰撞情況，防止基板損壞。進一步地，插架40的相鄰兩側壁上的插架凹槽41的大小不同。由于插架凹槽41的大小不同，因而插架40可以用于放置不同型號的基板，使插架40具有良好的適用性。放置基板時，只需將對應型號的基板放置在相應型號的插架40的插架凹槽41內，就可以實現對基板的穩定放置。優選地，如圖3所示的實施例中，插架40還包括設置在插架40底部的支撐板42。 基板放置在存儲裝置內后，支撐板42為基板提供支撐力，從而將基板托起，保證基板存放在插架容納腔內。本技術中的上殼體10的連接端設置有第一連接凸緣13，下殼體20的連接端設置有與第一連接凸緣13配合的第二連接凸緣23 (請參考圖I和圖2)。優選地，第一連接凸緣13上設置有外緣邊，第二連接凸緣23上設置有內緣邊，且外緣邊與內緣邊相配合。當上殼體10與下殼體20連接時，第一連接凸緣13與第二連接凸緣23相接觸，且外緣邊與內緣邊相疊合，使得存儲裝置內形成一個密封的存儲空間。優選地，如圖I和圖2所示的實施例中，第一連接凸緣13上設置有向下殼體20延伸的凸沿14，第二連接凸緣23設置有與凸沿14相對應的卡口 24，凸沿14為多個，多個凸沿14沿殼體的縱向中平面對稱地設置在第一連接凸緣13上；卡口 24與凸沿14對應地設置。由于設置了凸沿14和卡口 24，從而實現了將上殼體10與下殼體20相卡接。優選地，凸沿14是兩個(當然凸沿14還可以是四個、六個等)。兩個對稱設置的凸沿14與相應的卡口 24相配合，不僅可以實現將上殼體10與下殼體20卡接，還節省了制造成本、簡化了制造工藝。本技術中的基板(例如，小尺寸勻膠鉻版)，如果是易曝本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于放置基板的存儲裝置，其特征在于，包括：殼體，所述殼體包括上殼體(10)和下殼體(20)，所述上殼體(10)和所述下殼體(20)之間形成存儲空間；插架(40)，所述插架(40)嵌設在所述下殼體(20)的內部，具有多個彼此獨立的插架凹槽(41)。

【技術特征摘要】
1.一種用于放置基板的存儲裝置，其特征在于，包括 殼體，所述殼體包括上殼體(10)和下殼體(20),所述上殼體(10)和所述下殼體(20)之間形成存儲空間； 插架(40)，所述插架(40)嵌設在所述下殼體(20)的內部，具有多個彼此獨立的插架凹槽(41)。2.根據權利要求I所述的存儲裝置，其特征在于，所述存儲裝置還包括緩沖部，所述緩沖部設置在所述上殼體(10)的頂壁上。3.根據權利要求I所述的存儲裝置，其特征在于，所述上殼體(10)和所述下殼體(20)均包括不透光層。4.根據權利要求I所述的存儲裝置，其特征在于，所述上殼體(10)包括第一容納腔(11)，所述下殼體(20)包括第二容納腔(21)，所述第一容納腔(11)和所述第二容納腔(21)配合形成所述存儲空間。5.根據權利要求4所述的存儲裝置，其特征在于，所述第一容納腔(11)內設置有卡槽(12)，所述緩沖部通過所述卡槽(12)可拆卸地設置在所述上殼體(10)上。6.根據權利要求5所述的存儲裝置，其特征在于，所述緩沖部是彈性軟管或海綿件或橡月父件。7.根據權利要求4所述的存儲裝置，其特征在于，所述第二容納腔(21)內設置有多個卡板(22)，各個所述卡板(22)...

【專利技術屬性】
技術研發人員：李偉，
申請(專利權)人：湖南電子信息產業集團有限公司，湖南普照信息材料有限公司，
類型：實用新型
國別省市：