本發(fā)明專利技術(shù)提供一種探針保護(hù)系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括氮?dú)猱a(chǎn)生裝置、氮?dú)廨斔凸艿兰皽y試機(jī)臺陣列，所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生氮?dú)猓凰龅獨(dú)廨斔凸艿婪謩e與所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置及所述測試機(jī)臺陣列連接；所述測試機(jī)臺陣列由N個并聯(lián)的測試機(jī)臺組成，N為正整數(shù)，且N≥1；所述測試機(jī)臺上安裝有探針卡；所述探針卡上設(shè)置有探針保護(hù)裝置。本發(fā)明專利技術(shù)還提供了一種探針保護(hù)方法，解決了探針卡的探針被氧化的問題，從而延長探針的使用壽命，降低測試成本。本發(fā)明專利技術(shù)還可以從一定程度上去除晶圓上的雜質(zhì)，從而提高初測的良率。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)主要應(yīng)用于集成電路測試領(lǐng)域，特別是一種探針卡的保護(hù)系統(tǒng)及方法。
技術(shù)介紹
眾所周知，探針卡的探針在測試過程中都是裸露在空氣中的，所以很容易被氧化，特別是在測試有熔絲燒錄測試的芯片中表現(xiàn)特別明顯，因?yàn)樵谌劢z燒錄的過程中探針上會有大電流通過，探針極容易被氧化。當(dāng)探針被氧化后，測試的良率會受到很大影響，這時候必須選擇磨探針，嚴(yán)重的只能到針卡廠重新?lián)Q針才能提高良率。探針被氧化后對測試有以下幾點(diǎn)影響I、成品率變低，間接的提高了產(chǎn)品的測試成本； 2、磨針影響了測試效率，直接提高產(chǎn)品的測試成本；3、返廠維修針卡，影響的測試進(jìn)度。如果只有一張針卡時會導(dǎo)致整個產(chǎn)品的測試處于停滯狀態(tài)，直接影響產(chǎn)品的出貨周期。另一方面，一般測試是晶圓出廠后的第一步工序，晶圓在做測試的時候比較臟，上面有很多我們?nèi)庋鄄荒芸吹降碾s質(zhì)。如果測試的時候針剛好落在這些雜質(zhì)上面，就會導(dǎo)致接觸不良從而影響測試的初測良率，延長了測試時間，間接增加了測試成本。從整個測試行業(yè)來看，目前并沒有相應(yīng)的技術(shù)、方法或措施來解決探針卡的探針在測試過程被氧化這一問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的是提供了一種探針在測試過程中的保護(hù)系統(tǒng)及方法，用以解決探針卡的探針被氧化的問題，從而延長探針的使用壽命，降低測試成本。本專利技術(shù)還可以從一定程度上去除晶圓上的雜質(zhì)，從而提高初測的良率。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)提供一種探針保護(hù)系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括氮?dú)猱a(chǎn)生裝置、氮?dú)廨斔凸艿馈y試機(jī)臺陣列，所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生氮?dú)猓凰龅獨(dú)廨斔凸艿婪謩e與所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置及所述測試機(jī)臺陣列連接；所述測試機(jī)臺陣列由N個并聯(lián)的測試機(jī)臺組成，N為正整數(shù)，且N > I ;所述測試機(jī)臺上安裝有探針卡；所述探針卡上設(shè)置有探針保護(hù)裝置。較佳的，所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置處于永久激活狀態(tài)；較佳的，所述痰氣輸送管道上設(shè)置一開關(guān)，所述開關(guān)用來控制氮?dú)獾耐〝啵惠^佳的，所述探針保護(hù)裝置包括能自由彎曲伸縮的輸氣管道、調(diào)節(jié)閥門和氮?dú)鈬娮欤瞿茏杂蓮澢炜s的輸氣管道分別與所述氮?dú)廨斔凸艿篮退龅獨(dú)鈬娮爝B接，所述調(diào)節(jié)閥門安裝在所述能自由彎曲伸縮的輸氣管道上，用來調(diào)節(jié)氮?dú)饬康拇笮 １緦＠夹g(shù)還提供了一種探針保護(hù)方法，包括以下步驟安裝探針；放置待測晶圓到測試機(jī)臺上；調(diào)整探針保護(hù)裝置，將氮?dú)鈬娮鞂?zhǔn)晶圓和探針的接觸面，并根據(jù)晶圓和探針的形狀利用調(diào)節(jié)閥門來調(diào)節(jié)氮?dú)鈬娮斓某鰵饬浚淮蜷_所述開關(guān)，為探針保護(hù)裝置供氣； 氮?dú)馔ㄟ^氮?dú)鈬娮齑档骄A和探針的接觸面上；探針完成晶圓的測試；詢問測試是否完成，是則進(jìn)行最后一步，否則進(jìn)行下一步； 更換晶圓，再次進(jìn)行測試；詢問測試是否完成，是則進(jìn)行下一步，否則進(jìn)行上一步；測試完成后，依次關(guān)閉調(diào)節(jié)閥門、開關(guān)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本專利技術(shù)使得探針在測試的整個過程中都處于氮?dú)獾谋Ｗo(hù)下，防止被氧化，而氮?dú)獗旧頍o色無味無毒，且極易獲得，成本低廉，氮?dú)獾牧鲃舆€可以清除晶圓的雜質(zhì)。附圖說明圖I :本專利技術(shù)探針保護(hù)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框2 :本專利技術(shù)探針保護(hù)裝置結(jié)構(gòu)框3 :本專利技術(shù)探針保護(hù)方法流程圖具體實(shí)施例方式請同時參閱圖1，圖I為本專利技術(shù)探針保護(hù)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖。本專利技術(shù)探針保護(hù)系統(tǒng)較佳實(shí)施方式包括氮?dú)猱a(chǎn)生裝置、氮?dú)廨斔凸艿馈y試機(jī)臺陣列，所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生氮?dú)猓凰龅獨(dú)廨斔凸艿婪謩e與所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置及所述測試機(jī)臺陣列連接；所述測試機(jī)臺陣列由N個并聯(lián)的測試機(jī)臺組成，N為正整數(shù)，且N > I ;所述測試機(jī)臺上安裝有探針卡；所述探針卡上設(shè)置有探針保護(hù)裝置。所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置處于永久激活狀態(tài)，氮?dú)猱a(chǎn)生裝置可以是氮?dú)馄炕蛘咂渌軌虿婚g斷提供氮?dú)獾脑O(shè)備。所述痰氣輸送管道上設(shè)置一開關(guān)，所述開關(guān)用來控制氮?dú)獾耐〝唷＞唧w的，請結(jié)合圖2。所述探針保護(hù)裝置包括能自由彎曲伸縮的輸氣管道、調(diào)節(jié)閥門和氮?dú)鈬娮欤瞿茏杂蓮澢炜s的輸氣管道分別與所述氮?dú)廨斔凸艿篮退龅獨(dú)鈬娮爝B接，所述能自由彎曲伸縮的輸氣管道可以在立體空間內(nèi)自由調(diào)整所述氮?dú)鈬娮斓奈恢茫稣{(diào)節(jié)閥門安裝在所述能自由彎曲伸縮的輸氣管道上，所述調(diào)節(jié)閥門用來調(diào)節(jié)氮?dú)饬康拇笮 Ｕ垍㈤唸D3，圖3為本專利技術(shù)探針保護(hù)方法流程圖，本專利技術(shù)探針保護(hù)方法較佳實(shí)施方式包括以下步驟安裝探針；放置待測晶圓到測試機(jī)臺上；調(diào)整探針保護(hù)裝置，將氮?dú)鈬娮鞂?zhǔn)晶圓和探針的接觸面，并根據(jù)晶圓和探針的形狀利用調(diào)節(jié)閥門來調(diào)節(jié)氮?dú)鈬娮斓某鰵饬浚淮蜷_所述開關(guān)，為探針保護(hù)裝置供氣；氮?dú)馔ㄟ^氮?dú)鈬娮齑档骄A和探針的接觸面上；探針完成晶圓的測試；詢問測試是否完成，是則進(jìn)行最后一步，否則進(jìn)行下一步； 更換晶圓，再次進(jìn)行測試；詢問測試是否完成，是則進(jìn)行下一步，否則進(jìn)行上一步；測試完成后，依次關(guān)閉調(diào)節(jié)閥門、開關(guān)。結(jié)合圖I、圖3對描述本專利技術(shù)的工作原理。所述氮?dú)庋b置處于永久激活狀態(tài)，在開始工作之前，安裝適合待測晶圓的探針到所述探針卡上，根據(jù)所述待測晶圓和所述探針的形狀和尺寸通過所述調(diào)節(jié)閥門來調(diào)整氮?dú)鈬娮斓牡某鰵饬浚瑢⑺鲩_關(guān)置于閉合狀態(tài)，所述氮?dú)鈬娮燧斔偷牡獨(dú)鈱⑻结樦糜诘獨(dú)獾陌鼑h(huán)境下，隔絕了與空氣的接觸，同時不斷的利用氮?dú)獯邓鎏结樑c待測芯片的接觸面，從而將雜質(zhì)清除掉，完成所有測試后依次關(guān)閉調(diào)節(jié)閥門和開關(guān)，最后將所述探針取下另外進(jìn)行封存。在整個過程中，探針只有很少的時間裸露在空氣中，從而大大減小了其氧化的幾率，并同時提高了測試良率、降低了測試成本。以上結(jié)合最佳實(shí)施例對本專利技術(shù)進(jìn)行了描述，但本專利技術(shù)并不局限于以上揭示的實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本專利技術(shù)的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。權(quán)利要求1.一種探針保護(hù)系統(tǒng)，其特征在于包括氮?dú)猱a(chǎn)生裝置、氮?dú)廨斔凸艿馈y試機(jī)臺陣列，所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生氮?dú)猓凰龅獨(dú)廨斔凸艿婪謩e與所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置及所述測試機(jī)臺陣列連接；所述測試機(jī)臺陣列由N個并聯(lián)的測試機(jī)臺組成，N為正整數(shù)，且N > I ;所述測試機(jī)臺上安裝有探針卡；所述探針卡上設(shè)置有探針保護(hù)裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的探針保護(hù)系統(tǒng)，其特征在于所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置處于永久激活狀態(tài)。3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的探針保護(hù)系統(tǒng)，其特征在于所述痰氣輸送管道上設(shè)置一開關(guān)，所述開關(guān)用來控制氮?dú)獾耐〝唷?.根據(jù)權(quán)利要求I所述的探針保護(hù)系統(tǒng)，其特征在于所述探針保護(hù)裝置包括能自由彎曲伸縮的輸氣管道、調(diào)節(jié)閥門和氮?dú)鈬娮欤瞿茏杂蓮澢炜s的輸氣管道分別與所述氮?dú)廨斔凸艿篮退龅獨(dú)鈬娮爝B接，所述調(diào)節(jié)閥門安裝在所述能自由彎曲伸縮的輸氣管道上，用來調(diào)節(jié)氮?dú)饬康拇笮 ?.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針保護(hù)系統(tǒng)，其特征在于所述能自由彎曲伸縮的輸氣管道可以在立體空間內(nèi)自由調(diào)整所述氮?dú)鈬娮斓奈恢谩?.一種探針保護(hù)方法，包括以下步驟 安裝探針； 放置待測晶圓到測試機(jī)臺上； 調(diào)整探針保護(hù)裝置，將氮?dú)鈬娮鞂?zhǔn)晶圓和探針的接觸面，并根據(jù)晶圓和探針的形狀利用調(diào)節(jié)閥門來調(diào)節(jié)氮?dú)鈬娮斓某鰵饬浚? 打開所述開關(guān)，為探針保護(hù)裝置供氣； 氮?dú)馔ㄟ^氮?dú)鈬娮齑档骄A和探針的接觸面上； 探針完成晶圓的測試； 詢問測試是否完成，是則進(jìn)行最后一步，否則進(jìn)行下一步； 更換晶圓，再次進(jìn)行測試； 詢問測試是否完成，是則進(jìn)行下一步，否則進(jìn)行上一步； 測試完成后，依次關(guān)閉調(diào)節(jié)閥門、開關(guān)。全文摘要本專利技術(shù)提供一種探針保護(hù)系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括氮?dú)猱a(chǎn)生裝置、氮?dú)廨斔凸艿兰皽y試機(jī)臺陣列，所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生氮?dú)猓凰龅獨(dú)廨斔凸艿婪謩e與所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置及所述測試機(jī)本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種探針保護(hù)系統(tǒng)，其特征在于包括氮?dú)猱a(chǎn)生裝置、氮?dú)廨斔凸艿馈y試機(jī)臺陣列，所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生氮?dú)猓凰龅獨(dú)廨斔凸艿婪謩e與所述氮?dú)猱a(chǎn)生裝置及所述測試機(jī)臺陣列連接；所述測試機(jī)臺陣列由N個并聯(lián)的測試機(jī)臺組成，N為正整數(shù)，且N≥1；所述測試機(jī)臺上安裝有探針卡；所述探針卡上設(shè)置有探針保護(hù)裝置。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：徐正元，
申請(專利權(quán))人：成都市中州半導(dǎo)體科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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