一種基板輸送裝置及顯影機制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種基板輸送裝置及顯影機，用以解決基板在通過顯影與沖洗區的傳送裝置時，彩色濾光片膜各層的線寬均勻性較差的問題。所述裝置包括：輸送帶及驅動裝置，所述驅動裝置驅動輸送帶運送基板，所述輸送帶包括：用于輸送所述基板的第一輸送部；與所述第一輸送部的一端連接第二輸送部；所述輸送裝置還包括：角度控制裝置，所述角度控制裝置與所述第一輸送部及所述第二輸送部連接，所述角度控制裝置使所述第一輸送部與水平面在第一設定方向上成設定角度；并且所述角度控制裝置使所述第二輸送部與水平面在第二設定方向上成所述設定角度，所述第一設定方向與所述第二設定方向反向。本實用新型專利技術可以改善了彩色濾光片膜各層的線寬均勻性。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及液晶顯示器制造
，尤其涉及一種基板輸送裝置及顯影機。
技術介紹
通常，在平面顯示裝置的制造工序中，在玻璃基板上形成電路圖形的過程，可包括清洗基板的工序、在己清洗的基板表面涂敷感光性樹脂而形成感光膜的工序、通過預定圖案曝光所述感光膜而進行顯影(developing)的工序。這種顯示器的制造工序中，顯影工序利用現有的顯影液供給裝置來對基板涂敷顯影液。這種顯影工序，可采用向盛有顯影液的腔室通過基板的方式或者采用噴射裝置向基板噴射顯影液的方式進行。而這種顯影裝置，包括用于向腔室供給顯影液的顯影液供給裝置和用于輸送基板的輸送裝置。·其中現有的基板輸送裝置一般采用一側傾斜的結構，如圖I所示，包括第一輸送部11、具有傾斜角度a的第二輸送部12，圖中的第一輸送部在開始工作時為水平狀態，當將基板輸送到第二輸送部12上時,有與之連接的驅動裝置驅動第一輸送部傾斜一角度a與第二輸送部12的傾斜角度相匹配。對于高世代基板的彩色慮光片膜的制程中，基板在顯影機中始終保持傾斜角度輸送，用以提高顯影液在基板表面的流動性，但是由于輸送裝置的傾斜始終為一個方向，因此造成了彩色濾光片膜各層的線寬均勻性較差問題的產生。如圖2及圖3所示，為現有技術中高世代基板某層線寬的均勻性概況，圖中圓圈直徑代表此區域線寬的大小，圖3中，R1 R9為每個區域線寬的平均值。很明顯的可以看出，彩色濾光片膜各層的線寬均勻性較差，Rl的線寬小于R9的線寬平均值。
技術實現思路
針對現有技術中存在的上述問題，本技術提供一種基板輸送裝置及顯影機，解決了基板在通過顯影與沖洗區的傳送裝置時，由于顯影液在基板上流動，而使彩色濾光片膜各層的線寬均勻性較差的問題。為實現解決上述問題，本技術一方面提供了一種基板輸送裝置，應用于顯影裝置中，包括輸送帶及驅動裝置，所述驅動裝置驅動輸送帶運送基板，所述輸送帶包括用于輸送所述基板的第一輸送部；與所述第一輸送部的一端連接第二輸送部；所述輸送裝置還包括角度控制裝置，所述角度控制裝置與所述第一輸送部及所述第二輸送部連接，所述角度控制裝置使所述第一輸送部與水平面在第一設定方向上成第一設定角度；并且所述角度控制裝置使所述第二輸送部與水平面在第二設定方向上成第二設定角度，所述第一設定方向與所述第二設定方向反向。優選的，所示第一塊輸送部的前端設有一過渡部，所述第二塊輸送部的末端也設有一過渡部。優選的，所述輸送帶還包括第三輸送部，設置在所述第一輸送部及所述第二輸送部之間，通過調節所述第三輸送部的傾斜角度，使所述基板由所述第一輸送部傳輸到所述第二輸送部。優選的，所述第三輸送部與所述角度控制裝置相連接。優選的，所述第三輸送部上設有位置傳感器，當所述位置傳感器檢測到所述基板到達所述第三輸送部上時，由所述角度控制裝置調節所述第三輸送部的傾斜角度與所述第一輸送部的傾斜角度相匹配，并當所述基板過渡到所述第三輸送部上時，進一步調節所述第三輸送部的傾斜角度與所述第二輸送部的傾斜角度相匹配。 優選的,所述設定角度的大小為0° "10°。優選的，所述第一設定方向為與所述基板傳輸的方向垂直的方向。優選的，所述第三傳送部上設有提供向上傾斜或向下傾斜的連接部件。優選的，所述驅動裝置具體為自由電動機、氣缸及步進電動機中的一個或組合。本技術實施例另一方面還提供了一種顯影機，包括所述的基板輸送裝置。本技術實施例與現有技術相比具有以下優點采用本技術實施例提供的基板輸送裝置及顯影機，通過驅動裝置驅動輸送帶運送基板，其中輸送帶包括用于輸送基板的第一輸送部，與所述第一輸送部的一端連接第二輸送部；所述第一輸送部以及第二輸送部均與一角度控制裝置連接，該角度控制裝置可以使所述第一輸送部與水平面在第一設定方向上成第一設定角度；并且所述角度控制裝置使所述第二輸送部與水平面在第二設定方向上成第二設定角度，所述第一設定方向與所述第二設定方向反向。通過將輸送帶設計成可以向上傾斜及向下傾斜一設定角度的各輸送部，使顯影液在基板上的流動方向可以進行調節，不致于只向一側流動，而導致彩色濾光片膜的線寬均勻性較差的現象，防止了顯影液在基板表面的堆積。附圖說明圖I為現有技術中顯影機基板輸送裝置結構示意圖；圖2為現有技術中高世代基板CF某層線寬均勻性表示圖；圖3為對應圖2的曲線圖；圖4為本技術具體實施例一基板輸送裝置結構示意圖；圖5為本技術具體實施例二基板輸送裝置結構示意圖；圖6為本技術輸送基板CF某層線寬均勻性表示圖；圖7為對應圖6的曲線圖。具體實施方式本技術提供一種基板輸送裝置及顯影機，解決了基板在通過顯影與沖洗區的傳送裝置時，由于顯影液在基板上流動，而使彩色濾光片膜各層的線寬均勻性較差的問題。結合具體實施例與說明書附圖對本技術的技術方案進行詳細的描述如圖4所示，為本技術實施例一基板輸送裝置的結構示意圖，應用于顯影裝置中，基板輸送裝置有驅動裝置與輸送帶構成，所述驅動裝置具體為自由電動機、氣缸及步進電動機中的一個或組合。其中輸送帶包括用于輸送所述基板的第一輸送部41 ;與第一輸送部41的一端連接第二輸送部42 ;第二輸送部42與第一輸送部41的位置可以互換，但是一般情況下采用相同數量的第二輸送部42與第一輸送部41，用以控制顯影液的流動。該基板輸送裝置還包括角度控制裝置，所述角度控制裝置與第一輸送部41及第二輸送部42相連接，所述角度控制裝置使第一輸送部41與水平面在第一設定方向上成設定角度；其中設定方向為向下或向上，即第一輸送部向上傾斜一設定角度或向下傾斜一設定角度，對應的，將與之連接的第二輸送部的傾斜向下或向上一設定角度，也就是所述第一設定方向與第二設定方向反向設置。所成的設定角度一般為大于O度而小于10度，較優的，一般設定角度米用4 6度。在開始輸送基板時，第一塊輸送部的前端設有一過渡部43,將基板輸送到第 一輸送部41的過程中，也需通過角度控制裝置調節傾斜角度，與第一輸送部41傾斜的設定角度a相匹配，從而使基板由過渡部43輸送到第一輸送部41上。當基板輸送到第二輸送部42的末端時,在第二輸送部42的末端也設有一過渡部43，基板由第二輸送部42輸送到過渡部43上時，過渡部43通過角度控制裝置調節傾斜角度，與第二輸送部42傾斜的設定角度a相匹配，從而使基板由第二輸送部42輸送到過渡部43上。當然本技術也不局限于就只有一個第一輸送部與第二輸送部，可以是多個輸送部的交替組合，因此將過渡部設置于整個輸送帶的前端與末端。如圖5所示，為本技術實施例二的結構示意圖，基板輸送裝置除圖4中包括的第一輸送部41、第二輸送部42及過渡部43,所述輸送帶還包括第三輸送部44,設置在第一輸送部41及第二輸送部42之間，通過調節第三輸送部44的傾斜角度，使所述基板由所述第一輸送部41傳輸到所述第二輸送部42。第三輸送部44與所述角度控制裝置相連接，并由所述角度控制裝置控制調整其傾斜角度，在第三輸送部44上設有位置傳感器，當所述位置傳感器檢測到所述基板到達第三輸送部44上時，由所述角度控制裝置調節第三輸送部44的傾斜角度與第一輸送部41的傾斜角度相匹配，并當所述基板過渡到第三輸送部44上時，并向第二輸送部42輸送時，進一步調節第三輸送部44的傾斜角度與第二輸送部4本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種基板輸送裝置，應用于顯影裝置中，包括：輸送帶及驅動裝置，所述驅動裝置驅動輸送帶運送基板，其特征在于，所述輸送帶包括：用于輸送所述基板的第一輸送部；與所述第一輸送部的一端連接第二輸送部；所述輸送裝置還包括：角度控制裝置，所述角度控制裝置與所述第一輸送部及所述第二輸送部連接，所述角度控制裝置使所述第一輸送部與水平面在第一設定方向上成設定角度；并且所述角度控制裝置使所述第二輸送部與水平面在第二設定方向上成所述設定角度，所述第一設定方向與所述第二設定方向反向。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：汪棟，吳洪江，魏崇喜，
申請(專利權)人：京東方科技集團股份有限公司，北京京東方顯示技術有限公司，
類型：實用新型
國別省市：