離子分離裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術提出的一種離子分離裝置，通過在絕緣子外圍添加開口向上的第一罩子和開口向下并罩在第一罩子外圍的第二罩子來保護絕緣子，避免其遭受污染，從而確保絕緣子的絕緣性，使石墨盤與萃取機本體完全絕緣，進而延長離子分離裝置的工作時間。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及到半導體生產行業中的離子注入機臺，尤其涉及離子分離裝置。
技術介紹
在離子注入機臺中，離子的產生是通過電子轟擊氣體而得到的。離子離開離子源后會經過一個叫萃取(extraction)的裝置，這個裝置的目的是為了防止二次電子和萃取出離子。萃取裝置上有兩個電極，一個是電極抑制端(Electrode Suppression),—個電電極接地端(Electrode Ground)。通常萃取裝置工作時，需要在電極抑制端上加-5KV到-10KV的電壓，并將電極接地端接地，離子先經過電極抑制端再經過電極接地端。為了電極抑制端可以上下以及前后活動，所以在電極抑制端和外界相連的地方安裝了一個活動部件(bellow),電極抑制端上的電壓是通過bellow導向電極抑制端的；而在bellow下方裝了一個絕緣子，這個絕緣子的目的是為了讓bellow上的電壓和extraction的本體絕緣。但在實際生產過程中，由于離子源出來的多樣性，導致絕緣子容易被濺射到并被污染。由于絕緣 子緊緊貼著bellow, —旦bellow加的電壓很大,bellow和絕緣子在受到污染很嚴重的情況下，絕緣子就被放電，從而表面遭到擊穿，進而失去絕緣的作用。
技術實現思路
本技術提出的離子分離裝置，其目的在于能夠保護絕緣子不受污染，從而保證其絕緣性。為了實現上述目的，本技術提出的離子分離裝置，包括萃取機本體，頂部提供一開口 ；第一絕緣子，固定于所述萃取本體機開口內；活動部件，下端固定連接在所述第一絕緣子的上端；第一罩子，固定連接在所述活動部件上端的外周，并且開口朝上；第二絕緣子，下端與所述活動部件的定端固定連接；第二罩子，固定連接在所述第二絕緣子上端的外周表面，開口朝下并罩在所述第一罩子的外圍；石墨盤，位于所述第二罩子上方并電連接所述第二罩子，所述石墨盤的盤面垂直于所述第二絕緣子上端表面；電源線，一端連接所述第二罩子，另一端連接一電源。進一步地，所述第一絕緣子的材質為氧化鋁。進一步地，固定于所述第一絕緣子的下端外周的一絕緣O型橡膠圈。進一步地，所述第一絕緣子通過螺絲固定在所述萃取機本體的圓形開口內。進一步地，所述活動部件下端通過螺絲與所述第一絕緣子上端相連接。進一步地,所述活動部件為圓柱體,其直徑為5cnT8cm。進一步地，所述第一罩子通過螺絲固定在所述活動部件上端的外周。進一步地，所述第一罩子的材質為鋁。進一步地，所述第一罩子為圓錐體、圓柱體或長方體。進一步地,所述第一罩子的上端口徑大小為6cnTl0cm,深度為lcnT3cm。進一步地，所述活動部件上端有一圓形內部帶有內螺紋的開口。進一步地，所述第二絕緣子下端有與所述開口內螺紋尺寸相匹配的外螺紋。進一步地，所述第二絕緣子下端與所述活動部件通過螺絲固定。進一步地，所述第二絕緣子材質為氧化鋁。進一步地，所述第二絕緣子為圓柱體，其直徑為2cnT5cm,高度為5mnT2cm。 進一步地，所述第二罩子與所述第二絕緣子上端通過螺絲固定連接，開口朝下且其必須保持與所述第一罩子最外沿的水平和豎直距離都相隔5mm以上。進一步地，所述第二罩子的材質為鋁。進一步地，所述第二罩子為圓錐體或柱體。進一步地,所述第二罩子下端口徑大小為8cnTl3cm,深度為3cnT8cm,下端口徑必須大于第一罩上端的口徑，深度必須大于第一罩深度3 5cm,并且所述第二罩與所述萃取機本體之間最少保持5cm以上的距離。進一步地，所述電源線通過螺絲與所述第二罩子固定連接。進一步地，所述石墨盤通過螺絲與所述第二絕緣子上端和所述第二罩子上端相連。與現有技術相比，本技術提出的離子分離裝置，其有益效果主要體現在通過在絕緣子外圍添加開口向上的第一罩子和開口向下并罩在第一罩子外圍的第二罩子來保護絕緣子，避免其遭受污染，從而確保絕緣子的絕緣性，使石墨盤與萃取機本體完全絕緣，進而延長離子分離裝置的工作時間。附圖說明圖I為本技術實施例一中第二絕緣子安裝在活動部件中的結構示意圖；圖2為本技術實施例一中圓錐體罩的裝置結構示意圖；圖3為本技術實施例二中第二絕緣子安裝在活動部件上的結構示意圖；圖4為本技術實施例二中圓柱體罩的裝置結構示意圖。具體實施方式為了便于理解，下面結合具體實施例一、二和附圖對本技術作進一步的描述。實施例一請參考圖1，本實施例提供一種離子分離裝置，包括第一絕緣體1，活動部件2，第二絕緣體3,第一罩子4,第二罩子5,石墨盤6,電源線7,萃取機本體8。在本實施例中，第一絕緣子I包括其下端外周一圈的O型橡膠圈(圖中未示出)，并全部通過絕緣螺絲固定在萃取機本體8圓形開口內，上端通過螺絲與活動部件2相連。請參考圖2，在本實施例中，活動部件2上端帶有圓形開口，在開口內壁設有內螺紋；第二絕緣子3下端帶有與活動部件2上端開口內螺紋尺寸相匹配的外螺紋，并通過螺紋固定在活動部件2的圓形開口內。請參考圖1，在本實施例中，第一罩子4通過螺絲固定在活動部件2的上端，且第一罩子4的開口朝上；第二罩子5和石墨盤6通過螺絲固定在第二絕緣子3的上端，第二罩子5與石墨盤6電連接，并且第二罩子5開口向下，罩在第二罩子外圈，且比在第一罩子最外沿保持間距為5mm ;電源線7 —端與第二罩子5通過螺絲連接，另一端連接一電源，并且電源線7與萃取機本體8彼此完全絕緣。請參考圖I，在本實施例中，第一絕緣子I和第二絕緣子3的材質為氧化鋁；第二絕緣子3為圓柱體，其直徑為1cm，長度為2cm ;活動部件2為圓柱體，其直徑為5cm ;第一罩子4和第二罩子5的材質為鋁，因為鋁能夠吸收反應過程中產生的射線；第一罩子4和第二罩子5形狀均為兩側都開口的圓錐體；第一罩子4的上端口徑大小為7cm，深度為Icm ;第二罩子5的下端口徑為9cm,深度為4cm。需要說明的是，第二罩子5的下端口徑要大于第一罩子4的上端口徑，且第二罩子5的深度要大于第一罩子4的深度3cm以上，以防止第一罩子4與第二罩子5短路；為了保證活動部件2在上下移動的過程中第二罩子5不碰到萃取機本體8，在安裝過程中要確保第二罩子5的最低端離取機本體8的最小距離保持在10cm。在安裝過程中，需要注意的是石墨盤6是通過活動部件2帶動從而進行位置調節；因為萃取機本體8必須與石墨盤6和電源線7絕緣，當活動部件2上下左右在一定范圍活動時，一定得確保第二罩子5和第一罩子4不能接觸，同時確保第二罩子5和萃取機本體8不能接觸。采用本實施例提供的離子分離裝置，能很好的避免絕緣子被污染，從而保證其絕緣性性能。實施例二由于實施例一中需要第二絕緣子3’長度較長，浪費材料，本實施例在實施例一的基礎上做了小幅改進。請參考圖3，本實施例提供一種離子分離裝置，包括第一絕緣體1，活動部件2，第二絕緣體3’，第一罩子4’，第二罩子5’，石墨盤6,電源線7,萃取機本體8。請參考圖4，第二絕緣子3’通過螺絲固定在活動部件2的上端。由于第二絕緣子3’無需固定在活動部件2的內部，從而可以減少第二絕緣子3’的長度。請參考圖3，由于其他部件的連接方式和材料都沒有變化，在此就不再贅述彼此之間的連接方式和使用材料。在本實施例中，需要特別指出的是，第一罩子4’和第二罩子5’的形狀為圓柱體；第一罩子4’上端的口徑為6cm,深度為2cm ;第二罩子5’下端的口徑為本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種離子分離裝置，其特征在于，包括：萃取機本體，頂部提供一開口；第一絕緣子，固定于所述萃取本體機開口內；活動部件，下端固定連接在所述第一絕緣子的上端；第一罩子，固定連接在所述活動部件上端的外周，并且開口朝上；第二絕緣子，下端與所述活動部件的定端固定連接；第二罩子，固定連接在所述第二絕緣子上端的外周表面，開口朝下并罩在所述第一罩子的外圍；石墨盤，位于所述第二罩子上方并電連接所述第二罩子，所述石墨盤的盤面垂直于所述第二絕緣子上端表面；電源線，一端連接所述第二罩子，另一端連接一電源。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：許飛，陳立峰，
申請(專利權)人：中芯國際集成電路制造上海有限公司，
類型：實用新型
國別省市：