【技術實現步驟摘要】
本技術涉及ー種有機發光二極管顯示器件(OLED)制備成膜過程中的有機材料蒸發源。
技術介紹
目前，在OLED制備過程中，可以通過多種方法實現有機材料成膜。通常情況下，小分子材料采用在真空狀態下蒸鍍的方法，大分子材料采用溶解為流體進行常態涂敷的方法，如旋轉(spin)涂敷方式或狹縫(slit)涂敷方式。小分子材料真空狀態下蒸鍍的常用方法是，將預定好的具有圖案(pattern)的掩模板(mask)排列在玻璃基板下方,然后將有機材料蒸鍍到玻璃基板上。使用這種生產技 術，其蒸鍍裝置的設置非常重要。目前，一般使用的蒸鍍裝置為桶狀體再加上蓋子，在蓋子上設有多個小孔，以便被蒸鍍的有機材料通過該小孔蒸鍍到玻璃基板表面。但是，這種蒸鍍裝置往往會在其底部與上部形成溫度差，當達到有機材料的臨界溫度吋，有機材料可能會固化結晶進而堵塞小孔，影響蒸鍍速率。另外，桶狀體蒸鍍裝置對于材料的加熱也會產生溫度分布不均勻的現象，材料中心溫度低于外側的溫度，從而導致材料蒸發速率的不穩定。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種有機材料蒸發源，該蒸發源具有加熱均勻、防止堵孔，蒸鍍速率穩定的優點，適合真空環境下有機發光顯示器件的制備。為了實現上述目的，本技術采用了以下技術方案包括桶狀的本體以及設置于本體頂部的蓋子，所述蓋子上開設有孔，本體的底部為伸入本體中心的錐體狀，本體的外側設置有與本體形狀對應的加熱套。所述本體的頂部設置有用于分隔本體與蓋子的隔板，隔板的邊緣分布有等距孔。本技術所述有機材料蒸發源將本體由平底改為內錐式底部,并在本體外側設置與本體形狀對應的加熱套，本體下部與上部均可以對有機材料進行加熱，...
【技術保護點】
一種有機材料蒸發源，其特征在于：包括桶狀的本體(3)以及設置于本體(3)頂部的蓋子(1)，所述蓋子(1)上開設有孔，本體(3)的底部為伸入本體中心的錐體狀，本體(3)的外側設置有與本體形狀對應的加熱套(4)。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：周軍鵬，
申請(專利權)人：彩虹佛山平板顯示有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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