本發明專利技術公開了一種用于在系統(8)中輸送類板狀基板(10)的裝置，所述系統(8)用于基板的化學和/或電化學處理、尤其是用于導電層的無電沉積。所述裝置包括至少一個旋轉的輸送元件(14)，所述輸送元件(14)至少部分地由無機玻璃構成。此外，本發明專利技術涉及一種傳送裝置，其包含根據權利要求1至權利要求11中任一項所述被成對地布置在彼此頂部上的多個旋轉的輸送元件(14)，由此類板狀基板(10)在所述輸送元件(14)之間是能移動的。
【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】用于在化學和/或電化學處理系統中輸送類板狀基板的裝置
本專利技術涉及一種用于在化學和/或電化學處理、尤其用于在導電層的無電沉積的系統中輸送類板狀基板的裝置，其具有獨立專利權利要求的特征。
技術介紹
類板狀基板的化學或電化學處理是通過處理設備完成的。基板穿過容納有處理溶液的浴槽，由此涂層、尤其是金屬涂層、尤其是銅就沉積在類箔片狀或類板狀基板的表面上。類板狀基板例如是晶片、太陽能電池、撓性箔片、尤其是印刷電路(例如印刷電路板)以及導電箔片。通過多個相似的旋轉的輸送元件以水平方向輸送類板狀基板。輸送元件可以是動力驅動的，并且同時以作為用于類板狀基板的支承件和傳送驅動件為特征。每個旋轉的輸送元件通過雙側鉸接的旋轉輪軸形成。輪軸具有接觸和輸送基板的圓柱形罩殼表面，或者輪軸包括用于被布置在其長度上的類板狀基板的盤狀圓柱形支承元件，由此基板的下側靠在支承元件上，或者由此支承元件位于基板的上側。一對輪軸需要被精確地布置成平直的而且平行的，使得接觸基板的上側和下側的接觸區域精確地為一個在另一個上方。這樣可將類板狀基板的偏斜和變形、以及輪軸的偏心運轉減至最小。旋轉的輸送元件以及接觸浴槽溶液的所有部件必需是化學惰性的。它們必須抵抗化學物質的侵襲，并且不與浴槽中的溶液進行相互作用。尤其是必需避免來源于處理浴槽的金屬沉積。因此，輪軸一般由塑料材料(例如，GfK(通過玻璃纖維增強的塑料)或CfK(通過碳纖維增強的塑料))或不銹鋼或鈦合金制成。盤狀支承元件一般由合適的熱塑材料制成。當小碎片溶解并且污染浴槽時，用于輪軸的GfK或CfK材料會產生問題。此外，使用未涂層的金屬輪軸可導致在輪軸上明顯且漸進的金屬沉積。經涂層的輪軸常常具有由于公差高而涂層厚度不規則的問題。
技術實現思路
本專利技術的目的在于建立一種化學惰性的且具有高同軸度的機械彈性旋轉的輸送元件，其能夠精確地引導和輸送類板狀基板而確保涂層和產品的高質量。本專利技術的目的是通過獨立權利要求的裝置來獲得的。在從屬權利要求中描述了本專利技術的其它有利的實施例的其它特征。為了實現此目的，本專利技術提出了一種用于在基板的化學和/或電化學處理的系統中輸送類板狀基板的裝置。該系統尤其用于導電層的無電沉積。本專利技術包括用于類板狀基板的傳送裝置的旋轉的輸送元件，其是化學和/或電化學處理裝置的一部分。傳送優選地以限定的傳送方向發生，由此許多相似的旋轉的輸送元件共同形成用于類板狀基板的支承件，這些類板狀基板被輸送越過旋轉的輸送元件。根據本專利技術，旋轉的輸送元件或多個旋轉的輸送元件至少部分地由無機玻璃構成。根據本專利技術的裝置的一個優選實施例，輸送元件具有至少一個軸承元件以及至少一個輸送器件，所述軸承元件用于輸送元件的旋轉承載，所述輸送器件顯示出對被輸送的類板狀基底的至少一個二維或類線狀的接觸區域。輸送器件以及軸承元件可至少部分地由無機玻璃形成。輸送元件可示出輪軸或軸，所述輪軸或軸至少部分地包括無機玻璃并且/或者至少部分地由無機玻璃制成且至少部分地形成軸承元件。該輪軸或軸可至少部分地由玻璃棒或玻璃管形成。如果使用玻璃管，兩個前端優選地被封閉。此外，輸送元件的輸送部分可通過用于類板狀基板的至少一個旋轉對稱的支承元件形成。輸送元件可以例如示出用于基板的旋轉對稱的支承元件。另一個有用的變型可以具有輸送部分，該輸送部分包括采用軸或管形狀的旋轉對稱的中間部分，其顯示出在軸或管的前部處用于軸承元件的軸端或軸承元件的接收器件。軸的直徑可分級，例如，中間部分可略微成錐形，由此直徑相比于相鄰軸端的側向外緣或具有較小直徑的軸承元件減小大約0.05mm至1mm、尤其是0.1mm至0.3mm。這確保了類板狀基板僅在它們的外緣處被輸送，同時基板的最大表面區域被布置在中間收縮區段或錐形區段的上方并且大部分被自由接觸輸送。這樣的軸使得具有至少兩個導電板的所謂整個電路板的自由接觸輸送成為可能，它們被用作用于導電板的基礎材料。僅邊緣區域通過輸送元件進行接觸，這些邊緣區域稍后被去除。除旋轉對稱的中間部分之外，輸送元件還可包括在中間部分各側處的軸螺栓或軸端，軸螺栓或軸端沿著中間部分的軸線處于中心。該輪軸螺栓或軸端用作輸送元件的旋轉軸承，并且可被鉸接在系統的對應軸承部分中。在該實施例中，中間部分或輸送部分的直徑優選為大于軸承元件的軸端或軸承元件的模具直徑。此外，軸端和/或至少中間部分的表面或輸送部分由無機玻璃制成。如上文已提到的，至少一個支承元件可通過具有圓柱形罩殼表面區域的至少一個軸形成，所述至少一個軸被安裝到輪軸或玻璃棒上以及/或者軸承元件的軸端或軸承元件之間。可以采用不同方式來實現將軸端固定到中間部分上。整個輸送元件被制成為單件，或軸端通過合適的接合工藝被固定至中間部分，接合工藝例如為通過粘附在一起、焊接、壓合在一起或者通過其它合適的固定裝置。根據本專利技術的裝置的一個可替換的實施例顯示出支承元件，支承元件由多個塑料盤形成，由此這些盤至少部分地布置在被規則地間隔開的區段中。塑料盤被安裝到輪軸或玻璃棒上，并且具有圓柱形外部罩殼表面區域和圓形邊緣。可選地，兩個相鄰支承元件的側向邊界之間的距離具有小于大約300mm、優選小于100mm的值。優選地，所有描述的實施例顯示出與介質、尤其是與處理溶液相接觸的位置處的玻璃表面的粗糙度，該粗糙度具有小于1μm的值。另一個合理的實施例可以示出從動輸送元件，由此通過至少一個旋轉傳遞構件(例如，通過布置在輸送元件的至少一個軸端上的嵌齒輪或相似物)來實現旋轉的輸送元件的驅動。本專利技術還涉及一種容納如以上實施例中所描述的多個旋轉的輸送元件的傳送裝置。輸送元件可成對地布置在彼此的頂部上，使得類板狀基板可在輸送元件之間移動。以下說明概括了本專利技術的實質方面，并且描述了其它實施例。根據本專利技術的輸送元件可選地可以包含驅動件。另外，旋轉的輸送元件在兩側處具有軸承。旋轉的輸送元件形成為旋轉軸或輪軸，旋轉軸或輪軸顯示出沿著其長度用于類板狀基板的支承元件。根據本專利技術，軸的至少一部分由無機玻璃制成。根據本專利技術的輸送元件的軸的該部分可通過玻璃棒、尤其是空心玻璃棒(其為玻璃管)形成。實驗性地顯示出玻璃管的使用相比于實心玻璃棒是有利的，因為管具有較少的重量且同時具有更好的機械性能。如果玻璃管被用作軸，那么兩個前端優選為封閉的，使得沒有處理介質或浴槽溶液能進入管中。在清潔過程期間，很難將該介質充分去除。輸送元件可至少示出兩個旋轉對稱的支承元件。輸送元件的支承元件可由多個例如被規則地間隔開的盤形成，所述盤優選地由塑料制成。這些盤被安裝在軸或玻璃棒或玻璃管上，并且以圓柱形或球形的彎曲的外部罩殼表面區域和圓形邊緣為特征。塑料盤被優選地無游隙地固定到軸或者玻璃棒或玻璃管的圓柱形罩殼表面上。塑料盤可借助于收縮工藝被緊密地固定到軸上。此外，有可能將盤灌漿裝設到或粘接到軸上。此外，軸可包含安裝到軸的至少一端上的驅動傳遞元件。該驅動傳遞元件可以例如通過由塑料或另一合適的材料制成的嵌齒輪形成。還可將該驅動傳遞元件或嵌齒輪可選地收縮到軸上并且/或者粘接到軸上。如果使用了可應用的灌漿裝設或粘接，那么可將嵌齒輪可選地灌漿裝設到軸上。根據本專利技術的輸送元件尤其被用作用于板類或箔片類基板的輸送軸。它們一般用在傳送裝置中，該傳送裝置包括如以上實施例中描述的被成對地布置在彼此頂部上的多個旋轉本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】2010.01.26 DE 102010000211.91.一種用于在系統中輸送類板狀基板(10)的裝置，所述系統用于所述基板的化學和/或電化學處理，所述裝置包括至少一個旋轉的輸送元件(14)，所述輸送元件(14)至少部分地由無機玻璃構成，由此所述輸送元件(14)的輸送部分(20)由用于所述類板狀基板(10)的至少兩個旋轉對稱的支承元件形成，并且由此所述旋轉對稱的支承元件被安裝到或收縮到所述輸送元件(14)上，兩個相鄰的支承元件的側向邊界之間的距離具有小于300mm的值。2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述系統用于導電層的無電沉積。3.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述輸送元件(14)具有至少一個軸承元件(22)以及至少一個輸送部分(20)，所述軸承元件(22)用于所述輸送元件(14)的旋轉承載且至少部分地由無機玻璃制成，所述輸送部分(20)顯示出用于所述類板狀基板(10)的至少一個二維或類線狀的接觸區域。4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述輸送元件(14)具有軸線、軸端(24)或軸(42)，所述軸線、所述軸端(24)或所述軸(42)由無機玻璃制成，且所述軸線、所述軸端(24)或所述軸(42)至少部分地形成所述軸承元件(22)。5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述軸線、所述軸端(24)或所述軸(42)至少部分地由玻璃棒或玻璃管(30)形成，所述玻璃棒或玻璃管(30)具有至少在一端處封閉的前部(32)。6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述輸送部分(20)包括采用軸形狀或管形狀的輸送元件(1...
【專利技術屬性】
技術研發人員：M克雷奇，H孔策，A盧奇，
申請(專利權)人：安美特德國有限公司，
類型：
國別省市：
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