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本發明公開了一種用于在系統(8)中輸送類板狀基板(10)的裝置，所述系統(8)用于基板的化學和/或電化學處理、尤其是用于導電層的無電沉積。所述裝置包括至少一個旋轉的輸送元件(14)，所述輸送元件(14)至少部分地由無機玻璃構成。此外，本發明...
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