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    通過主動對準來接合光學表面的方法和裝置制造方法及圖紙

    技術編號:41111204 閱讀:42 留言:0更新日期:2024-04-25 14:03
    本文公開了一種用于通過對準兩個或更多個棱鏡元件并沿著兩個或更多個棱鏡元件的接合表面來接合兩個或更多個棱鏡元件來生產具有多個平坦外表面的復合棱鏡的系統,該系統包括:基礎結構,該基礎結構被配置成使第一棱鏡部件和第二棱鏡部件的接合表面緊密接近或接觸;能夠控制的可旋轉機械軸,該能夠控制的可旋轉機械軸被配置成使該第一棱鏡部件的至少一個第一表面和該第二棱鏡部件的至少一個第二表面對準;光源,該光源被配置成將至少一個準直入射光束投射到所述至少一個第一表面和所述至少一個第二表面上;一個或更多個檢測器,所述一個或更多個檢測器被配置成感測從該第一表面和該第二表面反射的光束;計算模塊,該計算模塊被配置成基于所感測的數據來確定所述至少一個第一表面與所述至少一個第二表面之間的平均實際相對取向,并且如果所述至少一個第一表面與所述至少一個第二表面之間的加權平均實際相對取向與預期相對取向之間的差在準確度閾值以下,則確定該能夠控制的可旋轉機械軸的校正角,其中,所述棱鏡部件中的一個或更多個棱鏡部件是透明的或半透明的。

    【技術實現步驟摘要】
    【國外來華專利技術】

    本公開內容總體上涉及用于接合和對準光學表面的方法和系統。


    技術介紹

    1、機械或光學元件可以包含兩個或更多個平坦反射表面,它們之間應具有特定的相對位置或角度取向。制造這樣的元件可能在技術上具有挑戰性并且昂貴,特別是在需要高精度的情況下。在本領域中存在未滿足的對于用于接合和精確地對準光學元件的容易實現的技術的需要。


    技術實現思路

    1、根據本公開內容的一些實施方式,本公開內容的各方面涉及用于通過使用主動對準來接合兩個或更多個棱鏡而生產復合棱鏡的方法和系統。更具體地但非排他性地,根據本公開內容的一些實施方式,本公開內容的各方面涉及生成在部件之間具有高角度精度的復合棱鏡結構。這對于生產折射復雜波導結構和保證其質量是特別有意義的。

    2、因此,根據一些實施方式的一個方面,提供了一種用于通過對準兩個或更多個棱鏡部件并沿著兩個或更多個棱鏡部件的接合表面來接合兩個或更多個棱鏡部件來生產具有多個平坦外表面的復合棱鏡的系統,該系統包括:基礎結構,該基礎結構被配置成使第一棱鏡部件和第二棱鏡部件的接合表面緊密接近或接觸;能夠控制的可旋轉機械軸,該能夠控制的可旋轉機械軸被配置成使該第一棱鏡部件的至少一個第一表面和該第二棱鏡部件的至少一個第二表面對準;光源,該光源被配置成將至少一個準直入射光束投射到所述至少一個第一表面和所述至少一個第二表面上;一個或更多個檢測器,所述一個或更多個檢測器被配置成感測從第一表面和第二表面反射的光束;計算模塊,該計算模塊被配置成基于所感測的數據來確定所述至少一個第一表面與所述至少一個第二表面之間的平均實際相對取向,并且如果所述至少一個第一表面與所述至少一個第二表面之間的加權平均實際相對取向與預期相對取向之間的差在準確度閾值以下,則確定該能夠控制的可旋轉機械軸的校正角,其中,所述棱鏡部件中的一個或更多個棱鏡部件是透明的或半透明的。根據一些實施方式,該計算模塊還被配置成向與可旋轉機械軸功能性地相關聯的控制器提供指令,以自動地校正第一表面與第二表面之間的角度。

    3、根據一些實施方式的一個方面,提供了一種通過對準兩個或更多個棱鏡部件并沿著兩個或更多個棱鏡部件的接合表面來接合兩個或更多個棱鏡部件來生產具有多個平坦外表面的復合棱鏡的方法,該方法包括以下階段:使該第一棱鏡部件和該第二棱鏡部件的接合表面緊密接近或接觸;將該第一棱鏡部件的至少一個第一表面與該第二棱鏡部件的至少一個第二表面對準;將至少一個準直入射光束投射到所述至少一個第一表面和所述至少一個第二表面上;感測從所述至少一個第一表面和所述至少一個第二表面反射的光束;基于所感測的數據來確定所述至少一個第一表面與所述至少一個第二表面之間的平均實際相對取向;并且如果所述至少一個第一表面和所述至少一個第二表面之間的加權平均實際相對取向與預期相對取向之間的差在準確度閾值以下,則使用該能夠控制的可旋轉機械軸沿著該第一棱鏡部件和該第二棱鏡部件的接合表面來結合該第一棱鏡部件和該第二棱鏡部件,其中,所述棱鏡部件中的一個或更多個棱鏡部件是透明的或半透明的。

    4、根據一些實施方式,結合步驟可以包括以下中的一個或更多個:接合、固化、施加壓力、加熱以及/或者機械收緊。

    5、根據一些實施方式,該方法還可以包括如果第一表面和第二表面之間的實際相對取向與預期相對取向之間的差在準確度閾值以上,則重新對準第一表面和第二表面。

    6、根據一些實施方式,該方法還可以包括:如果第一表面和第二表面之間的實際相對取向與預期相對取向之間的差在準確度閾值以上,則重復以下階段:對準第一表面和第二表面;投射至少一個入射光束;以及確定第一表面與第二表面之間的實際相對取向。

    7、根據一些實施方式,在對準第一表面和第二表面的階段之前,可以在接合表面之間施加粘合劑,并且如果第一表面和第二表面之間的實際相對取向與預期相對取向之間的差在準確度閾值以下,則第一棱鏡部件和第二棱鏡部件沿著第一棱鏡部件和第二棱鏡部件的接合表面固化。在對準第一表面和第二表面的階段之前,可以在接合表面之間施加粘合劑,并且如果第一表面和第二表面之間的實際相對取向與預期相對取向之間的差在準確度閾值以下,則第一棱鏡部件和第二棱鏡部件沿著第一棱鏡部件和第二棱鏡部件的接合表面固化。

    8、根據一些實施方式,至少一個入射光束可以包括被引導成分別相對于第一表面和第二表面成第一角度和第二角度的第一入射光束和第二入射光束。至少一個入射光束可以是單色的。根據一些實施方式,至少一個入射光束中的每一個入射光束可以是激光束。根據一些實施方式,至少一個入射光束可以是相干的。

    9、根據一些實施方式,從第一表面和第二表面反射的光束被聚焦到光敏表面上,并且其中,第一表面和第二表面之間的實際相對取向與預期相對取向之間的差是從分別由從第一表面和第二表面反射的光在光敏表面上形成的第一斑點和第二斑點的位置得出的。入射光束可以使用自準直儀生成,并且其中,光敏表面是自準直儀的圖像傳感器的光敏表面。入射光束可以是相干的,并且第一表面和第二表面之間的實際相對取向與預期相對取向之間的差可以是從所反射的光束的干涉圖案的測量得出的。

    10、根據一些實施方式,第一表面和第二表面旨在是鄰接的。

    11、根據一些實施方式,第一表面和第二表面旨在彼此垂直或基本上垂直地定向。

    12、根據一些實施方式,第一表面與第二表面之間的角度預期為小于約20度。第一表面和第二表面預期為小于約10度。

    13、根據一些實施方式,第一表面和第二表面旨在彼此平行或基本上平行。

    14、根據一些實施方式,第一表面和第二表面是外表面。根據一些實施方式,第一表面和第二表面中的至少一個是內部小面。根據一些實施方式,所述至少一個第二表面可以包括標稱地共平行的多個內部小面,其中,所述至少一個準直入射光束的投射和所述光束的感測在第一表面和內部小面中的每個內部小面上單獨地執行。

    15、根據一些實施方式,第一棱鏡部件和/或第二棱鏡部件可以包括結合的子棱鏡,在子棱鏡之間限定內部小平面,以及/或者第一棱鏡和/或第二棱鏡部件包括嵌入的內部小面。

    16、根據一些實施方式,第一表面和/或第二表面涂覆有反射涂層。

    17、根據一些實施方式,第二表面是嵌入的內部小面,并且其中,該方法還可以包括將復合棱鏡浸入折射率等于第二棱鏡部件的浸沒介質中的初始階段;以及/或者第二棱鏡部件可以包括結合的第一子棱鏡和第二子棱鏡,其中,第二表面是由第一子棱鏡與第二子棱鏡之間的邊界限定的內部小面,并且其中,該方法還可以包括將復合棱鏡浸入折射率等于第一子棱鏡的介質中的初始階段。

    18、根據一些實施方式,所述至少一個入射光束被垂直于浸沒介質的表面投射。

    19、根據一些實施方式,第二棱鏡部件可以包括第一子棱鏡和第二子棱鏡,其中,所述至少一個入射光束包括分別傳播到第一表面和第二表面上的第一入射光束和第二入射光束,并且其中,第二入射光束橫穿第一子棱鏡以到達第二表面。

    20、根據一些實施方式,該方法還本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種用于通過對準兩個或更多個棱鏡部件并沿著所述兩個或更多個棱鏡部件的接合表面來接合所述兩個或更多個棱鏡部件來生產具有多個平坦外表面的復合棱鏡的方法,所述方法包括以下階段:

    2.根據權利要求1所述的方法,其中,所述結合包括以下中的一個或更多個:接合、固化、施加壓力、加熱以及/或者機械收緊。

    3.根據權利要求1所述的方法,其中,所述方法還包括:如果所述第一表面和所述第二表面之間的所述實際相對取向與所述預期相對取向之間的差在所述準確度閾值以上,則重新對準所述第一表面和所述第二表面。

    4.根據權利要求1所述的方法,其中,所述方法還包括:如果所述第一表面和所述第二表面之間的所述實際相對取向與所述預期相對取向之間的差在所述準確度閾值以上,則重復以下階段:對準所述第一表面和所述第二表面;投射所述至少一個入射光束;以及確定所述第一表面與所述第二表面之間的所述實際相對取向。

    5.根據權利要求1所述的方法,其中,在對準所述第一表面和所述第二表面的階段之前,在所述接合表面之間施加粘合劑,并且其中,如果所述第一表面和所述第二表面之間的所述實際相對取向與預期相對取向之間的差在所述準確度閾值以下,則沿著所述第一棱鏡部件和所述第二棱鏡部件的接合表面固化所述第一棱鏡部件和所述第二棱鏡部件。

    6.根據權利要求1所述的方法,其中,所述至少一個入射光束包括被引導成分別相對于所述第一表面和所述第二表面成第一角度和第二角度的第一入射光束和第二入射光束。

    7.根據權利要求1所述的方法,其中,所述至少一個入射光束是單色的。

    8.根據權利要求7所述的方法,其中,所述至少一個入射光束中的每一個入射光束是激光束。

    9.根據權利要求1所述的方法,其中,所述至少一個入射光束是相干的。

    10.根據權利要求1所述的方法,其中,從所述第一表面和所述第二表面反射的所述光束聚焦到光敏表面上,并且其中,所述第一表面和所述第二表面之間的所述實際相對取向與所述預期相對取向之間的差是從分別由從所述第一表面和所述第二表面反射的光在所述光敏表面上形成的第一斑點和第二斑點的位置得出的。

    11.根據權利要求10所述的方法,其中,所述入射光束是使用自準直儀生成的,并且其中,所述光敏表面是所述自準直儀的圖像傳感器的光敏表面。

    12.根據權利要求1所述的方法,其中,所述入射光束是相干的,并且其中,所述第一表面和所述第二表面之間的所述實際相對取向與所述預期相對取向之間的差是從對所反射的光束的干涉圖案的測量得出的。

    13.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和所述第二表面旨在是鄰接的。

    14.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和所述第二表面旨在彼此垂直或基本上垂直地定向。

    15.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面與所述第二表面之間的角度預期為小于約20度。

    16.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面與所述第二表面之間的角度預期為小于約10度。

    17.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和所述第二表面預期為彼此平行或基本上平行。

    18.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和所述第二表面是外表面。

    19.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和所述第二表面中的至少一個是內部小面。

    20.根據權利要求1所述的方法,其中,所述至少一個第二表面包括標稱地共平行的多個內部小面,其中,所述至少一個準直入射光束的投射和所述光束的感測在所述第一表面和所述內部小面中的每一個內部小面上單獨地執行。

    21.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一棱鏡部件和/或所述第二棱鏡部件包括結合的子棱鏡,在所述子棱鏡之間限定內部小面,以及/或者其中,所述第一棱鏡部件和/或所述第二棱鏡部件包括嵌入的內部小面。

    22.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和/或所述第二表面涂覆有反射涂層。

    23.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第二表面是嵌入的內部小面,并且其中,所述方法還包括將所述復合棱鏡浸入折射率等于所述第二棱鏡部件的折射率的浸沒介質中的初始階段;以及/或者

    24.根據權利要求23所述的方法,其中,所述至少一個入射光束被垂直于所述浸沒介質的表面投射。

    25.根據權利要求24所述的方法,其中,所述第二棱鏡部件包括所述第一子棱鏡和所述第二子棱鏡,其中,所述至少一個入射光束包括分別傳播到所述第一表面和所述第二表面上的第一入射光束和第二入射光束,并且其中,所述第二入射光束橫穿所述第一子棱鏡以到達所述第...

    【技術特征摘要】
    【國外來華專利技術】

    1.一種用于通過對準兩個或更多個棱鏡部件并沿著所述兩個或更多個棱鏡部件的接合表面來接合所述兩個或更多個棱鏡部件來生產具有多個平坦外表面的復合棱鏡的方法,所述方法包括以下階段:

    2.根據權利要求1所述的方法,其中,所述結合包括以下中的一個或更多個:接合、固化、施加壓力、加熱以及/或者機械收緊。

    3.根據權利要求1所述的方法,其中,所述方法還包括:如果所述第一表面和所述第二表面之間的所述實際相對取向與所述預期相對取向之間的差在所述準確度閾值以上,則重新對準所述第一表面和所述第二表面。

    4.根據權利要求1所述的方法,其中,所述方法還包括:如果所述第一表面和所述第二表面之間的所述實際相對取向與所述預期相對取向之間的差在所述準確度閾值以上,則重復以下階段:對準所述第一表面和所述第二表面;投射所述至少一個入射光束;以及確定所述第一表面與所述第二表面之間的所述實際相對取向。

    5.根據權利要求1所述的方法,其中,在對準所述第一表面和所述第二表面的階段之前,在所述接合表面之間施加粘合劑,并且其中,如果所述第一表面和所述第二表面之間的所述實際相對取向與預期相對取向之間的差在所述準確度閾值以下,則沿著所述第一棱鏡部件和所述第二棱鏡部件的接合表面固化所述第一棱鏡部件和所述第二棱鏡部件。

    6.根據權利要求1所述的方法,其中,所述至少一個入射光束包括被引導成分別相對于所述第一表面和所述第二表面成第一角度和第二角度的第一入射光束和第二入射光束。

    7.根據權利要求1所述的方法,其中,所述至少一個入射光束是單色的。

    8.根據權利要求7所述的方法,其中,所述至少一個入射光束中的每一個入射光束是激光束。

    9.根據權利要求1所述的方法,其中,所述至少一個入射光束是相干的。

    10.根據權利要求1所述的方法,其中,從所述第一表面和所述第二表面反射的所述光束聚焦到光敏表面上,并且其中,所述第一表面和所述第二表面之間的所述實際相對取向與所述預期相對取向之間的差是從分別由從所述第一表面和所述第二表面反射的光在所述光敏表面上形成的第一斑點和第二斑點的位置得出的。

    11.根據權利要求10所述的方法,其中,所述入射光束是使用自準直儀生成的,并且其中,所述光敏表面是所述自準直儀的圖像傳感器的光敏表面。

    12.根據權利要求1所述的方法,其中,所述入射光束是相干的,并且其中,所述第一表面和所述第二表面之間的所述實際相對取向與所述預期相對取向之間的差是從對所反射的光束的干涉圖案的測量得出的。

    13.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和所述第二表面旨在是鄰接的。

    14.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和所述第二表面旨在彼此垂直或基本上垂直地定向。

    15.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面與所述第二表面之間的角度預期為小于約20度。

    16.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面與所述第二表面之間的角度預期為小于約10度。

    17.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和所述第二表面預期為彼此平行或基本上平行。

    18.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和所述第二表面是外表面。

    19.根據權利要求1所述的方法,其中,所述第一表面和所述第二表面中的至少一個是內部小面。

    20.根據權利要求1所述的方法,其中,所述至少一個第二表面包括標稱地共平行的多個內部小面,其中,所述至少一個準直入射光束的投射和所述光束的感測在所述第一表面和所述內部小面中的每一個內部小面上單獨地執行。

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    【專利技術屬性】
    技術研發人員:羅寧·切里基伊多·艾森貝格埃坦·羅寧莉亞·洛巴欽斯基科比·格林斯坦埃德加·弗里德曼埃拉德·拉維
    申請(專利權)人:魯姆斯有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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