高真空玻璃油擴散泵制造技術

本實用新型專利技術公開了一種高真空玻璃油擴散泵，該泵包括主泵體，主泵體上下兩側分別連有吸氣管和抽氣管，主泵體內設有輸油管，輸油管上從上至下設有四級噴嘴，該泵還包括一副泵體，連接設于抽氣管另一端，并且副泵體內還設有與抽氣管相連通的數級噴嘴，副泵體的另一端設有抽氣口。通過副泵體與主泵體的噴嘴共同作用，能夠將油蒸汽更加均勻的擴散到整個泵體及管路內，從而能夠有效提高系統的抽真空度，完全滿足各類高真空產品的生產工藝需求。（*該技術在2020年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種高真空玻璃油擴散泵，包括主泵體，主泵體上下兩側分別連有吸氣管和抽氣管，主泵體內設有輸油管，輸油管上從上至下設有四級噴嘴，其特征在于：該泵還包括一副泵體，連接設于抽氣管另一端，并且副泵體內還設有與抽氣管相連通的數級噴嘴，副泵體的另一端設有抽氣口。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：鄒仲秋，
申請(專利權)人：上海易璽電子科技有限公司，上海嘉定泰和玻璃廠，
類型：實用新型
國別省市：31[中國|上海]