提供一種油擴散泵，其具有能夠解決使用加熱線作為工作油加熱源時的問題的油蒸氣產生器。該油擴散泵為真空泵，在殼體(51)內配置有油蒸氣產生器(70)，使該油蒸氣產生器(70)工作以使工作油(8)氣化而成為油蒸氣，將該油蒸氣從噴射器(53、53a)噴射出去，并對吸入的氣體進行排氣動作。油蒸氣產生器(70)具有：容器(71、72)，其在立起設置方向上延伸，且使由被加熱材料構成的筒部件(71)的下端封閉，用于在內部貯油；感應線圈(75)，其隔著絕緣材料(73)纏繞于筒部件(71)(尤其是外殼內壁71b)的大氣側周圍；以及供電單元，其對感應線圈(75)施加數10Hz至數100Hz的低頻交流電。而且，構成為，通過使供電單元工作并對線圈(75)施加低頻交流電，由此使筒部件(71)自身加熱，使容器內的油氣化。
【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及作為真空泵的油擴散泵和組裝有該泵的真空成膜裝置，該油擴散泵與構成蒸鍍裝置或濺鍍裝置等各種真空成膜裝置的真空腔室連接，特別適用于對該腔內抽真空的用途。
技術介紹
在蒸鍍裝置或濺鍍裝置等各種真空成膜裝置中，作為在對構成該裝置的真空腔室的內部抽真空的排氣裝置中使用的真空泵，使用油擴散泵。在以往的油擴散泵中，已知下述這樣的油擴散泵:使用具有加熱線的電熱器作為收容于鍋爐內的工作油的加熱源(專利文獻I)。現有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2007-23778號公報
技術實現思路
專利技術要解決的課題在使用加熱線作為工作油的加熱源的情況下，具有能夠以低成本形成裝置的優點，但會包含引起以下各種問題的因素:例如，由于加熱線的斷線而使加熱功能消失、由于加熱線的絕緣不良而產生漏電、由于高溫而發生端子座的接觸不良等。此外，在使用加熱線的情況下，會產生接近赤熱水平的高溫，因而必須謹慎選擇其安裝場所，從而還存在設置場所選擇的自由度受限的問題。進而，在能量效率方面，作為工作油加熱源的加熱線的熱傳導損失較多。其結果是，例如還存在以下的冋題。(I)浪費電力；(2)加熱的上升速度慢(起動時間長)；(3)熱響應性和保養性差；(4)加熱對象(被加熱體)的材質必須選擇能夠長時間耐高溫的材料；(5)也會對被加熱體的周邊加熱，而不會與被加熱體一起有助于工作油的加熱等。根據本專利技術的一個觀點，提供一種油擴散泵和使用該泵作為排氣裝置的真空成膜裝置，其中，該油擴散泵具有能夠解決使用加熱線作為工作油加熱源時的問題的油蒸氣產生器，且故障少，有助于工作時的節能。用于解決課題的手段本專利技術的油擴散泵是一種真空泵，其在配置于殼體內的噴射器內配置有油蒸氣產生器，通過使該油蒸氣產生器工作，由此使工作油氣化而生成油蒸氣，將該油蒸氣從噴射器噴射出去而對吸入氣體進行排氣動作。油蒸氣產生器構成為具有:容器，其在立起設置方向上延伸，使由被加熱材料構成的筒部件的下端封閉，用于在其內部貯油；感應線圈，其隔著絕緣材料纏繞于筒部件的周圍；以及供電單元，其對感應線圈施加低頻交流電。而且，其特征在于，構成為，通過使供電單元工作并對線圈施加低頻交流電，由此使筒部件自身加熱，從而使容器內的油氣化。在本專利技術中，使油蒸氣產生器的筒部件沿著其立起設置方向延伸，并且在周向上形成為在隔著環狀的中空部的兩側配置的筒狀的內壁和外壁的雙重結構，由感應線圈隔著絕緣材料纏繞在內壁的周圍即大氣側而構成。在本專利技術中，能夠利用進行了絕緣包覆的耐熱電線構成油蒸氣產生器的感應線圈。本專利技術的真空成膜裝置具有用于對真空腔室內抽真空的排氣裝置，其特征在于，使用本專利技術的油擴散泵作為排氣裝置。專利技術的效果組裝在本專利技術的油擴散泵中的油蒸氣產生器構成為，使用在由被加熱材料構成的筒部件(其最終成為發熱體)的周圍隔著絕緣材料纏繞感應線圈而成的結構，作為工作油加熱源，通過對線圈施加低頻交流電而使筒部件自身加熱，利用該熱使工作油氣化。即根據組裝在本專利技術的油擴散泵中的油蒸氣產生器，不對線圈加熱，而是對線圈施加低頻交流電，從而在筒部件的立起設置方向上產生上下交鏈的磁通，利用該產生的磁通在筒部件中產生感應電流、即渦電流，由此生成焦耳熱(低頻感應加熱)。憑借該生成的熱使筒部件自身加熱(筒部件的自身加熱)，由此加熱工作油。因此，基本上不會由于斷線而使得發熱功能消失。此外，由于所有的電流都消耗于作為發熱體的筒部件本身上，因此不會產生絕緣不良導致的漏電。此外，由于是這樣的原理:不對線圈加熱，而是通過對線圈施加低頻交流電來使筒部件本身加熱，因此，線圈自身不會成為發熱體，亦不會發生因高溫導致的端子座的接觸不良。此外，根據可局部地加熱工作油加熱源的性質，還具備線圈的配置場所的選擇自由度增加這樣的優點。本專利技術的油擴散泵中組裝有本專利技術的油蒸氣產生器，因此能夠使施加給油蒸氣產生器的線圈的全部電流消耗于作為發熱體的筒部件上。其結果是具有這樣的優點:能夠提升發熱體的熱響應性，能量效率較好，消耗能量較少，并且能夠縮短工作油加熱升溫時間(起動時間短)等。另外，在本專利技術的油蒸氣產生器中，纏繞感應線圈的作為發熱體的筒部件的立起設置方向上端從所接觸的工作油的油面上露出，因此從油面起升起的油蒸氣會接觸到從油面上露出的筒部件內壁的上部分，由此被進一步加熱，生成被充分加熱的油蒸氣。其結果，在組裝有這種油蒸氣產生器的油擴散泵中，能夠在更短時間內實現工作油加熱的升溫，對于能量效率而言是極為有益的。【附圖說明】圖1是示出本專利技術的一個實施方式的真空成膜裝置的概要結構圖。圖2是示出作為用于圖1的真空成膜裝置中的一例的油擴散泵的概要結構剖面圖。圖3是示出作為用于圖2的油擴散泵中的一例的油蒸氣產生器的主要部位的概要結構剖面圖。圖4是沿著圖3中的IV-1V線的剖面圖。圖5是與圖3相當的用于油擴散泵中的其他方式的油蒸氣產生器的局部剖面圖。圖6是與圖3相當的用于油擴散泵中的其他方式的油蒸氣產生器的局部剖面圖。圖7是示出組裝在本例的油擴散泵中的油蒸氣產生器的配置方式的另一例的圖。圖8是示出組裝在本例的油擴散泵中的油蒸氣產生器的配置方式的另一例的圖。標號說明1:真空成膜裝置；10:真空腔室;21、23、25?29:管路；31:主排氣閥；33:泄漏閥；35:粗閥；37:輔助閥；39:泄漏閥；50:油擴散泵；51:殼體；53:噴射器；53a:噴嘴；55:進氣部；57:排氣部；58:水冷管；60:旋轉泵(油旋轉真空泵)；70:油蒸氣產生器；71:筒部件(外殼)；71a:中空部；71b:外殼內壁；71c:外殼外壁；71d:外殼上壁；72:下蓋；73:絕緣材料；74:加熱體；75:感應線圈；76:散熱部件；77:管路；78:鐵芯；79:凸緣；8:工作油。【具體實施方式】以下，根據【附圖說明】本專利技術的一例。如圖1所示，本例的真空成膜裝置I具有作為裝置主體的真空腔室(真空容器)10，該真空腔室10在內部配置有蒸發源或濺鍍源等成膜源(省略圖示)、保持作為處理對象的基板的基板保持器等形成薄膜(成膜)所需要的各種裝備。管路21的下游側與腔室10連接。真空計(省略圖示)與腔室10連接，以檢測腔室10內的氣壓(真空度)。抽吸管路23的下游側經由主排氣閥31與管路21的上游側連接。抽吸管路23的上游側連接于油擴散泵(油擴散真空泵)50的進氣部55。分支管路25的下游側連接至管路21的中途。管路26的下游側連接至分支管路25的中途，在管路26的上游側設有泄漏閥33。管路27的下游側經由粗閥35與分支管路25的上游側連接。管路27的上游側連接于旋轉泵(油旋轉真空泵)60。在管路27的中途連接著管路28的下游側。管路28的上游側經由輔助閥37連接于油擴散泵50的排氣部57。管路29的下游側與管路27的和管路28連接的連接部相連接，在管路29的上游側設有泄漏閥39。管路28內連接有真空計(省略圖示)，檢測油擴散泵50內的氣壓(真空度)。本例的真空成膜裝置I除了上述結構之外，還具有對裝置I的動作進行控制的控制裝置(省略圖示)。本例中所具備的控制裝置構成為具有:含有CPU(中央處理裝置)等處理電路的主控制電路(省略圖示)；內置于該控制電路中的存儲單元(存儲器)；控制旋轉泵60運轉的旋轉泵控制電路(省略圖示)；以及控制油本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種油擴散泵，在配置于殼體內的噴射器內配置有油蒸氣產生器，通過使該油蒸氣產生器工作，由此使工作油氣化而生成油蒸氣，將該油蒸氣從噴射器噴射出去而對吸入氣體進行排氣動作，其特征在于，所述油蒸氣產生器具有：容器，其在立起設置方向上延伸，使由被加熱材料構成的筒部件的下端封閉，用于在其內部貯油；感應線圈，其隔著絕緣材料纏繞于筒部件的周圍；以及供電單元，其對感應線圈施加數十Hz至數百Hz的低頻交流電，所述油蒸氣產生器構成為，通過使所述供電單元工作，由此使所述筒部件自身加熱，從而使所述容器內的油氣化。
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
【專利技術屬性】
技術研發人員：稅所慎一郎，
申請(專利權)人：株式會社新柯隆，
類型：發明
國別省市：日本;JP
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