微顯示器件及其制備方法技術

本申請涉及一種微顯示器件及其制備方法。該微顯示器件包括：襯底；發光結構，位于襯底的一側；以及驅動電路，位于發光結構的旁側，并于連接節點處與發光結構相連接；其中，驅動電路包括第一晶體管和第二晶體管；第一晶體管的控制極連接連接節點，第一極連接讀位線，第二極連接讀字線；第二晶體管的控制極連接寫字線，第一極連接寫位線，第二極連接連接節點。該微顯示器件提供了驅動電路中至少兩個晶體管的連接方式，以利于實現發光結構與包含至少兩個晶體管的驅動電路的集成。晶體管的驅動電路的集成。晶體管的驅動電路的集成。

【技術實現步驟摘要】
微顯示器件及其制備方法


[0001]本申請涉及顯示
，特別是涉及一種微顯示器件及其制備方法。

技術介紹

[0002]微米級發光二極管(Micro LED)顯示屏具有高像素密度(Pixels Per Inch，簡稱PPI)、高刷新頻率、盡可能多的灰階展開及高亮度均勻性等優點。為此，對應的驅動電路通常需要數量很多的高性能薄膜晶體管(Thin Film Transistor，簡稱TFT)來實現前述高性能需求。
[0003]然而，對于這些數量很多的TFT，其具體結構和位置以及與Micro LED發光芯片的相對位置和連接方式目前仍沒有很好的解決方案。因此，如何實現Mi cro LED發光芯片與驅動電路中TFT的集成，是當前亟需解決的問題。

技術實現思路

[0004]基于此，有必要針對上述技術問題，提供一種微顯示器件及其制備方法，以實現發光結構與包含多個晶體管的驅動電路的集成。
[0005]一方面，本申請提供一種微顯示器件，包括：
[0006]襯底；
[0007]發光結構，位于所述襯底的一側；以及
[0008]驅動電路，位于所述發光結構的旁側，并于連接節點處與所述發光結構相連接；
[0009]其中，所述驅動電路包括第一晶體管和第二晶體管；所述第一晶體管的控制極連接所述連接節點，第一極連接讀位線，第二極連接讀字線；所述第二晶體管的控制極連接寫字線，第一極連接寫位線，第二極連接所述連接節點。
[0010]在一些實施例中，所述發光結構的數量為多個，且相鄰所述發光結構之間具有間隔；
[0011]所述第一晶體管的第一極隨形覆蓋對應所述間隔的內壁；
[0012]所述第一晶體管的第二極位于其第一極背離所述襯底的一側，且所述第二極位于所述間隔內的部分具有第一開口，以暴露出部分所述第一極；
[0013]所述第一晶體管還包括：覆蓋其第二極且位于所述第一開口內并與其第一極相連接的第一溝道層；所述第一晶體管的控制極位于所述間隔內且位于所述第一溝道層背離所述襯底的一側。
[0014]在一些實施例中，所述第二晶體管的第一極位于所述第一晶體管背離所述襯底的一側；
[0015]所述第二晶體管還包括：覆蓋其第一極且與所述第一晶體管的控制極相連接的第二溝道層；所述第二晶體管的控制極位于所述第二溝道層背離所述襯底的一側。
[0016]在一些實施例中，所述第一晶體管的控制極亦為所述第二晶體管的第二極。
[0017]在一些實施例中，所述第二晶體管的第二極位于所述第一晶體管的控制極與所述
第二溝道層之間，并與所述第一晶體管的控制極和所述第二溝道層接觸連接。
[0018]在一些實施例中，所述第二晶體管的第二極在所述襯底上的正投影位于對應所述間隔在所述襯底上的正投影的中心區域。
[0019]另一方面，本申請還提供一種微顯示器件的制備方法，包括：
[0020]提供襯底；
[0021]于所述襯底的一側形成發光結構；
[0022]于所述發光結構的旁側形成驅動電路，所述驅動電路于連接節點處與所述發光結構相連接；
[0023]其中，所述驅動電路包括第一晶體管和第二晶體管；所述第一晶體管的控制極連接所述連接節點，第一極連接讀位線，第二極連接讀字線；所述第二晶體管的控制極連接寫字線，第一極連接寫位線，第二極連接所述連接節點。
[0024]在一些實施例中，所述發光結構的數量為多個，且相鄰所述發光結構之間具有間隔；
[0025]所述于所述發光結構的旁側形成驅動電路，包括：
[0026]形成隨形覆蓋對應所述間隔內壁的所述第一晶體管的第一極；
[0027]于所述第一晶體管的第一極背離所述襯底的一側形成所述第一晶體管的第二極；所述第一晶體管的第二極位于所述間隔內的部分具有第一開口，以暴露出部分所述第一極；
[0028]形成覆蓋所述第一晶體管的第二極且位于所述第一開口內并與所述第一晶體管的第一極相連接的第一溝道層；
[0029]于所述第一溝道層背離所述襯底的一側形成所述第一晶體管的控制極，所述第一晶體管的控制極還位于所述間隔內。
[0030]在一些實施例中，所述于所述發光結構的旁側形成驅動電路，還包括：
[0031]于所述第一晶體管背離所述襯底的一側形成所述第二晶體管的第一極；
[0032]形成覆蓋所述第二晶體管的第一極且與所述第一晶體管的控制極相連接的第二溝道層；
[0033]于所述第二溝道層背離所述襯底的一側形成所述第二晶體管的控制極。
[0034]在一些實施例中，所述第一晶體管的控制極亦為所述第二晶體管的第二極；
[0035]或者，所述于所述第一晶體管背離所述襯底的一側形成所述第二晶體管的第一極之前，所述于所述發光結構的旁側形成驅動電路，還包括：于所述第一晶體管的控制極背離所述襯底的一側形成所述第二晶體管的第二極；其中，所述第二晶體管的第一極形成于其第二極背離所述襯底的一側，且所述第二晶體管的第一極位于所述間隔內的部分具有第二開口，以暴露出所述第二極；所述第二溝道層通過所述第二晶體管的第二極與所述第一晶體管的控制極接觸連接。
[0036]本申請提供的微顯示器件及其制備方法，將驅動電路設置于發光結構的旁側，并提供了驅動電路中至少兩個晶體管的連接方式，以利于實現發光結構與包含至少兩個晶體管的驅動電路的集成；并且，由于驅動電路至少包括兩個晶體管，集成度更高。
[0037]在本申請的一些實施例中，驅動電路的第一晶體管設置于相鄰發光結構的間隔內，第一晶體管的第一極、第二極、第一溝道層和控制極由下至上層疊設置，共同構成第一
晶體管，這樣的結構布置較為簡單，能夠簡化制備工藝流程。并且，通過在第一晶體管的第二極位于間隔內的部分設置第一開口的方式，暴露出部分第一晶體管的第一極，使得第一溝道層能夠設置于第一開口內，并實現與第一晶體管的第一極的連接。如此，能夠縮減第一晶體管所占用的空間，從而有利于微顯示器件尺寸的微縮。
[0038]如此，占用空間較小，制備工藝流程較簡單，且利于后續制程中的平面化布線。在本申請一些實施例中，驅動電路的第二晶體管與第一晶體管層疊設置，從而進一步減少占用空間。
附圖說明
[0039]為了更清楚地說明本申請實施例或傳統技術中的技術方案，下面將對實施例或傳統技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0040]圖1為本申請一些實施例提供的微顯示器件的電路結構示意圖；
[0041]圖2為本申請一些實施例提供的微顯示器件的截面結構示意圖；
[0042]圖3為本申請另一些實施例提供的微顯示器件的截面結構示意圖；
[0043]圖4為本申請一些實施例提供的微顯示器件的制備方法的流程示意圖；
[0044]圖5為本申請一些實施例提本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種微顯示器件，其特征在于，包括：襯底；發光結構，位于所述襯底的一側；以及驅動電路，位于所述發光結構的旁側，并于連接節點處與所述發光結構相連接；其中，所述驅動電路包括第一晶體管和第二晶體管；所述第一晶體管的控制極連接所述連接節點，第一極連接讀位線，第二極連接讀字線；所述第二晶體管的控制極連接寫字線，第一極連接寫位線，第二極連接所述連接節點。2.根據權利要求1所述的微顯示器件，其特征在于，所述發光結構的數量為多個，且相鄰所述發光結構之間具有間隔；所述第一晶體管的第一極隨形覆蓋對應所述間隔的內壁；所述第一晶體管的第二極位于其第一極背離所述襯底的一側，且所述第二極位于所述間隔內的部分具有第一開口，以暴露出部分所述第一極；所述第一晶體管還包括：覆蓋其第二極且位于所述第一開口內并與其第一極相連接的第一溝道層；所述第一晶體管的控制極位于所述間隔內且位于所述第一溝道層背離所述襯底的一側。3.根據權利要求2所述的微顯示器件，其特征在于，所述第二晶體管的第一極位于所述第一晶體管背離所述襯底的一側；所述第二晶體管還包括：覆蓋其第一極且與所述第一晶體管的控制極相連接的第二溝道層；所述第二晶體管的控制極位于所述第二溝道層背離所述襯底的一側。4.根據權利要求3所述的微顯示器件，其特征在于，所述第一晶體管的控制極亦為所述第二晶體管的第二極。5.根據權利要求3所述的微顯示器件，其特征在于，所述第二晶體管的第二極位于所述第一晶體管的控制極與所述第二溝道層之間，并與所述第一晶體管的控制極和所述第二溝道層接觸連接。6.根據權利要求5所述的微顯示器件，其特征在于，所述第二晶體管的第二極在所述襯底上的正投影位于對應所述間隔在所述襯底上的正投影的中心區域。7.一種微顯示器件的制備方法，其特征在于，包括：提供襯底；于所述襯底的一側形成發光結構；于所述發光結構的旁側形成驅動電路，所述驅動電路于連接節點處與所述發光結構相連接...

【專利技術屬性】
技術研發人員：籍亞男，趙影，
申請(專利權)人：蘇州市奧視微科技有限公司，
類型：發明
國別省市：