鍍膜設備頂升系統和鍍膜設備技術方案

本實用新型專利技術屬于鍍膜設備技術領域，具體涉及一種鍍膜設備頂升系統和鍍膜設備。鍍膜設備頂升系統包括：升降平臺，用于在鍍膜設備的工藝腔體內承載加熱器；安裝支架，設于升降平臺的下方；多個頂升組件，分別連接于安裝支架相對的兩側，每個頂升組件均包括驅動機構和能夠在豎向上進行升降運動的升降機構，每個升降機構的頂部均與升降平臺連接；其中，多個驅動機構之間通信連接。通過本實用新型專利技術的技術方案，可以通過多個升降機構實現對升降平臺的多點支撐，且每個升降機構均設有驅動機構，便于安裝和調平操作，可以有效減少升降機構的高度偏差，以使升降平臺能夠準確、平穩地進行升降操作，進而提高硅片鍍膜操作的均勻性和準確性。進而提高硅片鍍膜操作的均勻性和準確性。進而提高硅片鍍膜操作的均勻性和準確性。

【技術實現步驟摘要】
鍍膜設備頂升系統和鍍膜設備


[0001]本技術屬于鍍膜設備
，具體涉及鍍膜設備頂升系統和鍍膜設備。

技術介紹

[0002]在光伏
，光伏電池的生產過程中需要對硅片進行鍍膜加工，目前主要采用HJT(Heterojunction Technology，異質結電池片技術)與PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等離子體增強化學氣相沉積法)設備進行鍍膜處理。其中，PECVD設備的頂升裝置是實現工藝腔加熱器、載板和硅片升降的裝置，能夠調整硅片與噴淋板之間的距離實現硅片鍍膜的最佳工藝間距，因而頂升裝置對硅片的鍍膜質量起著至關重要的作用。
[0003]現有PECVD設備中，頂升裝置的設計存在一些缺陷，與升降平臺的連接點布置不合理，多采用單點頂升的方式，不利于安裝調平操作，容易產生高度偏差，長期使用過程中容易導致偏差堆積影響正常升降操作，甚至可能導致加熱器以及載板損壞。

技術實現思路

[0004]有鑒于此，為改善現有技術中所存在的上述問題中的至少一個，本技術提供了鍍膜設備頂升系統和鍍膜設備。
[0005]本技術的第一方面提供一種鍍膜設備頂升系統，包括：升降平臺，用于在鍍膜設備的工藝腔體內承載加熱器；安裝支架，設于升降平臺的下方；多個頂升組件，分別連接于安裝支架相對的兩側，每個頂升組件均包括驅動機構和能夠在豎向上進行升降運動的升降機構，每個升降機構的頂部均與升降平臺連接；其中，多個驅動機構之間通信連接。
[0006]本技術上述技術方案中的有益效果體現在：
[0007]通過對結構進行改進，可以通過多個升降機構實現對升降平臺的多點支撐，且每個升降機構均設有驅動機構，驅動機構之間通信連接，便于安裝和調平操作，可以有效減少升降機構的高度偏差，以使升降平臺能夠準確、平穩地進行升降操作，進而提高硅片鍍膜操作的均勻性和準確性。
[0008]在一種可行的實現方式中，頂升組件還包括：傳動機構，沿豎向設置，傳動機構的輸入端與驅動機構傳動連接；升降機構包括直線滑軌、滑動件和頂桿；直線滑軌沿豎向設置，并與安裝支架的側壁連接；滑動件與直線滑軌滑動連接，并與傳動機構相連接；頂桿設于滑動件上，且頂桿的頂部與升降平臺的底部連接。
[0009]在一種可行的實現方式中，驅動機構包括傳動連接的伺服電機和減速機；其中，每個伺服電機均設有伺服控制器，且多個伺服電機的伺服控制器之間通信連接；傳動機構包括螺紋配合的滾珠絲杠和絲杠螺母，滾珠絲杠的底端與減速機傳動連接，絲杠螺母與滑動件連接；直線滑軌為滾珠直線滑軌。
[0010]在一種可行的實現方式中，頂桿為中空管狀結構，且頂桿的頂端設有連接法蘭，頂桿的內部適于設置加熱器的導線；升降平臺上與頂桿對應的位置設有安裝板，安裝板上開
設有朝向升降平臺的幾何中心延伸的腰形孔，連接法蘭的頂端設有凸臺結構，凸臺結構伸入腰形孔中。
[0011]在一種可行的實現方式中，升降機構還包括：波紋管，套設于頂桿的外側，波紋管的底部與滑動件連接，波紋管的頂部適于與工藝腔體的底部連接。
[0012]在一種可行的實現方式中，頂升組件還包括：第一限位機構，設于與直線滑軌的頂端對應的位置，第一限位機構用于檢測滑動件的位置信息，并與伺服控制器通信連接，以向伺服控制器發送滑動件的位置信息；第二限位機構，與滾珠絲杠相連接，第二限位機構用于對滾珠絲杠的轉動進行限位。
[0013]在一種可行的實現方式中，第一限位機構包括光電限位開關，光電限位開關朝向設有滑動件的一側，且光電限位開關的高度可調；第二限位機構包括棘輪機構和電缸，棘輪機構的棘輪套設于滾珠絲杠的頂端，電缸的活塞端與棘輪機構的棘爪相連接，電缸與伺服控制器通信連接，電缸能夠根據伺服控制器的控制信號驅動棘爪動作，以與棘輪卡接或解除卡接。
[0014]在一種可行的實現方式中，頂升組件還包括第三限位機構，第三限位機構為柔性緩沖結構，設于直線滑軌的底端；和/或伺服電機內設有抱閘機構。
[0015]本技術的第二方面還提供了一種鍍膜設備，包括：工藝腔體，工藝腔體的底部設有多個升降孔；上述任一項中的鍍膜設備頂升系統，其中，升降平臺設于工藝腔體內，升降機構由對應的升降孔伸入工藝腔體內，并與升降平臺相連接；加熱器，設于工藝腔體內，并位于升降平臺上。
[0016]在一種可行的實現方式中，升降平臺的頂面設有多個支撐柱，加熱器通過多個支撐柱與升降平臺相連接；其中，多個支撐柱在升降平臺上均勻設置，且任意相鄰的兩個支撐柱之間的間距在260mm至320mm的范圍內。
附圖說明
[0017]圖1所示為本技術一個實施例提供的一種鍍膜設備頂升系統的主視圖。
[0018]圖2所示為本技術一個實施例提供的一種鍍膜設備的局部剖切狀態的主視圖。
[0019]圖3所示為本技術一個實施例提供的一種鍍膜設備頂升系統的左視圖。
[0020]圖4所示為本技術一個實施例提供的鍍膜設備的局部剖切狀態的立體示意圖。
[0021]圖5所示為本技術一個實施例提供的鍍膜設備的局部剖切狀態的主視圖。
[0022]圖6所示為本技術一個實施例提供的頂桿的立體示意圖。
[0023]圖7所示為本技術一個實施例提供的鍍膜設備頂升系統的俯視圖。
[0024]圖8所示為本技術一個實施例提供的鍍膜設備頂升系統的仰視圖。
[0025]圖9所示為本技術一個實施例提供的第二限位機構的示意圖。
[0026]圖10所示為本技術一個實施例提供的鍍膜設備的立體示意圖。
具體實施方式
[0027]本申請的描述中，“多個”的含義是至少兩個，例如兩個，三個等，除非另有明確具
體的限定。本申請實施例中所有方向性指示(諸如上、下、左、右、前、后、頂、底
……
)僅用于解釋在某一特定姿態(如附圖所示)下各部件之間的相對位置關系、運動情況等，如果該特定姿態發生改變時，則該方向性指示也相應地隨之改變。此外，術語“包括”和“具有”以及它們任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含。例如包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統、產品或設備沒有限定于已列出的步驟或單元，而是可選地還包括沒有列出的步驟或單元，或可選地還包括對于這些過程、方法、產品或設備固有的其它步驟或單元。
[0028]另外，在本文中提及“實施例”意味著，結合實施例描述的特定特征、結構或特性可以包含在本申請的至少一個實施例中。在說明書中的各個位置出現該短語并不一定均是指相同的實施例，也不是與其它實施例互斥的獨立的或備選的實施例。本領域技術人員顯式地和隱式地理解的是，本文所描述的實施例可以與其它實施例相結合。
[0029]下面將結合本申請實施例中的附圖，對本申請實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本申請一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本申請中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種鍍膜設備頂升系統，其特征在于，升降平臺(11)，用于在鍍膜設備的工藝腔體(21)內承載加熱器(22)；安裝支架(12)，設于所述升降平臺(11)的下方；多個頂升組件(13)，分別連接于所述安裝支架(12)相對的兩側，每個所述頂升組件(13)均包括驅動機構(131)和能夠在豎向上進行升降運動的升降機構(132)，每個所述升降機構(132)的頂部均與所述升降平臺(11)連接；其中，多個所述驅動機構(131)之間通信連接。2.根據權利要求1所述的鍍膜設備頂升系統，其特征在于，所述頂升組件(13)還包括：傳動機構(133)，沿豎向設置，所述傳動機構(133)的輸入端與所述驅動機構(131)傳動連接；所述升降機構(132)包括直線滑軌(1321)、滑動件(1322)和頂桿(1323)；所述直線滑軌(1321)沿豎向設置，并與所述安裝支架(12)的側壁連接；所述滑動件(1322)與所述直線滑軌(1321)滑動連接，并與所述傳動機構(133)相連接；所述頂桿(1323)設于所述滑動件(1322)上，且所述頂桿(1323)的頂部與所述升降平臺(11)的底部連接。3.根據權利要求2所述的鍍膜設備頂升系統，其特征在于，所述驅動機構(131)包括傳動連接的伺服電機(1311)和減速機(1313)；其中，每個所述伺服電機(1311)均設有伺服控制器，且多個所述伺服電機(1311)的伺服控制器之間通信連接；所述傳動機構(133)包括螺紋配合的滾珠絲杠(1331)和絲杠螺母(1332)，所述滾珠絲杠(1331)的底端與所述減速機(1313)傳動連接，所述絲杠螺母(1332)與所述滑動件(1322)連接；所述直線滑軌(1321)為滾珠直線滑軌。4.根據權利要求3所述的鍍膜設備頂升系統，其特征在于，所述頂桿(1323)為中空管狀結構，且所述頂桿(1323)的頂端設有連接法蘭(1324)，所述頂桿(1323)的內部適于設置所述加熱器(22)的導線(221)；所述升降平臺(11)上與所述頂桿(1323)對應的位置設有安裝板(111)，所述安裝板(111)上開設有朝向所述升降平臺(11)的幾何中心延伸的腰形孔(1111)，所述連接法蘭(1324)的頂端設有凸臺結構(1325)，所述凸臺結構(1325)伸入所述腰形孔(1111)中。5.根據權利要求4所述的鍍膜設備頂升系統，其特征在于，所述升降機構(132)還包括：波紋管(1326)，套設于所述頂桿(1323...

【專利技術屬性】
技術研發人員：丁想，請求不公布姓名，請求不公布姓名，
申請(專利權)人：三一硅能株洲有限公司，
類型：新型
國別省市：