【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu)及其拉直取晶方法
本專利技術(shù)涉及單晶爐
，具體是一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu)及其拉直取晶方法。
技術(shù)介紹
單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)狻⒑鉃橹?環(huán)境中，用石墨石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備，半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料，半導(dǎo)體在消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、醫(yī)療儀器等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，無(wú)論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看，半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的，今日大部分的電子產(chǎn)品，如計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)連，常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等，物質(zhì)存在的形式多種多樣，固體、液體、氣體、等離子體等等，我們通常把導(dǎo)電性差的材料，如煤、人工晶體、琥珀、陶瓷等稱為絕緣體，而把導(dǎo)電性比較好的金屬如金、銀、銅、鐵、錫、鋁等稱為導(dǎo)體，可以簡(jiǎn)單的把介于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料稱為半導(dǎo)體。現(xiàn)有的單晶爐在進(jìn)行拉升時(shí)由于拉繩轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不穩(wěn)定，偶爾會(huì)出現(xiàn)偏移現(xiàn)象，導(dǎo)致硅晶棒不同心，影響產(chǎn)品質(zhì)量，在進(jìn)行取晶時(shí)，需要穩(wěn)定、可靠的取晶裝置。針對(duì)這種情況，現(xiàn)提出一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu)及其拉直取晶方法。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的在于提供一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu)及其拉直取晶方法，能夠有效解決現(xiàn)有的單晶爐在進(jìn)行拉升時(shí)由于拉繩轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不穩(wěn)定，偶爾會(huì)出現(xiàn)偏移現(xiàn)象，導(dǎo)致硅晶棒不同心，影響產(chǎn)品質(zhì)量，在進(jìn)行取晶時(shí)，需要穩(wěn)定、可靠的取晶裝置的情況。本專利技術(shù)生產(chǎn)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，硅晶棒拉直簡(jiǎn)單快捷，導(dǎo)向組件能夠有效避免單晶爐在進(jìn)行拉升時(shí)由于拉繩轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu)，生產(chǎn)機(jī)構(gòu)包括第一底板(1)，其特征在于，所述第一底板(1)上設(shè)有第一支架(11)，第一支架(11)上設(shè)有單晶爐(2)，單晶爐(2)包括爐體(21)，爐體(21)下方設(shè)有坩堝升降轉(zhuǎn)動(dòng)組件(23)，爐體(21)上設(shè)有旋閥(24)，旋閥(24)上設(shè)有副室(25)，爐體(21)上端設(shè)有導(dǎo)向組件(23)，副室(25)上端設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)(27)，第一底板(1)一側(cè)設(shè)有取晶組件(3)，取晶組件(3)包括夾緊組件(4)和尾托組件(5)，夾緊組件(4)包括鏡像分布的第一夾緊塊(46)，第一夾緊塊(46)下方設(shè)有尾托組件(5)，尾托組件(5)包括軸向分布的夾爪(532)，軸向分布的夾爪(532)內(nèi)設(shè)有托塊(56)。/n
【技術(shù)特征摘要】
1.一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu)，生產(chǎn)機(jī)構(gòu)包括第一底板(1)，其特征在于，所述第一底板(1)上設(shè)有第一支架(11)，第一支架(11)上設(shè)有單晶爐(2)，單晶爐(2)包括爐體(21)，爐體(21)下方設(shè)有坩堝升降轉(zhuǎn)動(dòng)組件(23)，爐體(21)上設(shè)有旋閥(24)，旋閥(24)上設(shè)有副室(25)，爐體(21)上端設(shè)有導(dǎo)向組件(23)，副室(25)上端設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)(27)，第一底板(1)一側(cè)設(shè)有取晶組件(3)，取晶組件(3)包括夾緊組件(4)和尾托組件(5)，夾緊組件(4)包括鏡像分布的第一夾緊塊(46)，第一夾緊塊(46)下方設(shè)有尾托組件(5)，尾托組件(5)包括軸向分布的夾爪(532)，軸向分布的夾爪(532)內(nèi)設(shè)有托塊(56)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于，所述第一底板(1)上設(shè)有第一支柱(12)和第二支柱(14)，第一支柱(12)一側(cè)設(shè)有第一伸縮桿(13)，第一伸縮桿(13)固定在第一底板(1)上，第一伸縮桿(13)上端設(shè)有第一伸縮板(131)，第二支柱(14)上設(shè)有第一滑桿(141)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于，所述第一支柱(12)上端設(shè)有第三支柱(15)，第三支柱(15)上設(shè)有第一滑塊(151)，第一滑塊(151)與第一滑桿(141)滑動(dòng)配合，第三支柱(15)一側(cè)設(shè)有陣列分布的第一轉(zhuǎn)動(dòng)塊(152)、第二支架(156)和第三支架(18)，第一轉(zhuǎn)動(dòng)塊(152)內(nèi)設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸(153)，第一轉(zhuǎn)軸(153)與第一轉(zhuǎn)動(dòng)塊(152)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一轉(zhuǎn)軸(153)上設(shè)有陣列分布的第一安裝塊(154)，第一安裝塊(154)與第一轉(zhuǎn)軸(153)固定連接，第一轉(zhuǎn)軸(153)下端設(shè)有第一圓錐齒輪(155)；
所述第二支架(156)上設(shè)有第一電機(jī)(157)，第一電機(jī)(157)動(dòng)力端設(shè)有第二圓錐齒輪(158)，第一圓錐齒輪(155)與第二圓錐齒輪(158)嚙合，第一安裝塊(154)一側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)支架(16)，轉(zhuǎn)動(dòng)支架(16)與第一安裝塊(154)固定連接，轉(zhuǎn)動(dòng)支架(16)一側(cè)設(shè)有固定架(17)，固定架(17)上設(shè)有陣列分布的固定環(huán)(171)，第三支架(18)固定在第一伸縮板(131)上，第一伸縮桿(13)推動(dòng)第一支柱(12)升降，第一電機(jī)(157)帶動(dòng)固定架(17)轉(zhuǎn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于，所述爐體(21)固定在第一支架(11)上，爐體(21)一側(cè)設(shè)有抽氣孔(211)，爐體(21)上端設(shè)有進(jìn)氣孔(212)和激光測(cè)徑儀(213)，爐體(21)內(nèi)設(shè)有第一開(kāi)槽(214)，第一開(kāi)槽(214)外設(shè)有擋邊(215)，第一開(kāi)槽(214)外側(cè)設(shè)有封閉門(mén)(216)，爐體(21)兩側(cè)均設(shè)有第二伸縮桿(217)，第二伸縮桿(217)上端設(shè)有第二伸縮板(218)，第二伸縮板(218)與封閉門(mén)(216)固定連接，第二伸縮桿(217)推動(dòng)封閉門(mén)(216)升降。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于，所述導(dǎo)向組件(22)包括鏡像分布的第三伸縮桿(221)，第三伸縮桿(221)一端均設(shè)有第三伸縮柱(222)，第三伸縮柱(222)一端設(shè)有導(dǎo)向塊(223)，導(dǎo)向塊(223)內(nèi)設(shè)有軸向陣列分布的導(dǎo)向鋼珠(224)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于，所述坩堝升降轉(zhuǎn)動(dòng)組件(23)包括鏡像分布的滑動(dòng)氣缸(231)，滑動(dòng)氣缸(231)固定在第一底板(1)上，滑動(dòng)氣缸(231)上均設(shè)有氣缸滑動(dòng)塊(232)，滑動(dòng)氣缸(231)之間設(shè)有第一升降板(233)，第一升降板(233)與氣缸滑動(dòng)塊(232)固定連接，第一升降板(233)上設(shè)有第二電機(jī)(234)和第四支架(236)，第二電機(jī)(234)動(dòng)力端設(shè)有第一齒輪(235)，第四支架(236)上設(shè)有第二齒輪(237)，第一齒輪(235)與第二齒輪(237)嚙合，第二齒輪(237)上設(shè)有第二轉(zhuǎn)軸(238)，第二轉(zhuǎn)軸(238)下端與第二齒輪(237)固定連接，第二轉(zhuǎn)軸(238)上端設(shè)有石墨加熱器(239)，石墨加熱器(239)與爐體(21)固定連接，石墨加熱器(239)內(nèi)設(shè)有石墨托(2310)，石墨托(2310)內(nèi)設(shè)有坩堝(2311)，滑動(dòng)氣缸(231)帶動(dòng)石墨托(2310)和坩堝(2311)升降，第二電機(jī)(234)帶動(dòng)第二轉(zhuǎn)軸(238)轉(zhuǎn)動(dòng)，第二轉(zhuǎn)軸(238)帶動(dòng)石墨托(2310)和坩堝(2311)轉(zhuǎn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空直拉爐生產(chǎn)機(jī)構(gòu),其特征在于，所述旋閥(24)固定在爐體(21)上端，旋閥(24)一側(cè)設(shè)有觀察口(241)，旋閥(24)上端設(shè)有軸向分布的卡柱(242)，旋閥(24)上當(dāng)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(243)，轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(243)上設(shè)有軸向分布的卡槽(244)，轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(243)使轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(243)與旋閥(24)封閉或打開(kāi)；
所述轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(243)上方設(shè)有副室(25)，副室(25)與轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(243)固定連接，副室(25)上端設(shè)有頂端柱(26)，頂端柱(26)上設(shè)有第五支架(261)，第五支架(261)上設(shè)有第四電機(jī)(262)，第四電機(jī)(262)動(dòng)力端設(shè)有轉(zhuǎn)輪(263)，頂端柱(26)上端設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)(27)，轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)(27)與頂端柱(26)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，轉(zhuǎn)輪(263)與轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)(27)上共同設(shè)有同步帶(264)，轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)(27)上設(shè)有第六支架(271)，第六支架(271)上設(shè)有第五電機(jī)(272)和軸承座(274)，第五電機(jī)(272)一端設(shè)有蝸桿(273)，軸承座(274)內(nèi)設(shè)有第三轉(zhuǎn)軸(275)，第三轉(zhuǎn)軸(275)上設(shè)有蝸輪(276)和線圈(277)，蝸輪(276)和線圈(277)與第三轉(zhuǎn)軸(275)固定連接，蝸桿(273)帶動(dòng)蝸輪(276)轉(zhuǎn)動(dòng)；
所述線圈(277)內(nèi)設(shè)有鋼繩(28)，鋼繩(28)下端設(shè)有籽晶軸(281)，籽晶軸(281)下端設(shè)有軸向分布的夾持塊(282)，夾持塊...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：程旭兵，周波，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：浙江晶陽(yáng)機(jī)電股份有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：浙江;33
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