本實用新型專利技術涉及晶圓表面薄膜制備設備技術領域，公開了一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置，包括平臺、平面密封板和管路，平臺上固定平面密封板，平面密封板上設置有溝槽，溝槽的形狀與穹頂的邊緣形狀相匹配，平臺及平面密封板位于溝槽內側的部分開設有氣孔，平臺的下方設置管路，管路與氣孔連通；該用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置可以對穹頂的氣密性進行檢測，簡化了穹頂的安裝過程，提高了安裝效率，節約了時間和人力；各支腿均為可升降結構，使平臺可以自動升降，實現了平臺將穹頂穩定地送至外罩的位置，省去了人工托舉的過程，提高了穹頂安裝的成功率，節約了人力。
【技術實現步驟摘要】
一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置
本技術涉及晶圓表面薄膜制備設備
，具體涉及一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置。
技術介紹
在晶圓的制造過程中，為使晶圓具有良好的電路性能，需要在其表面制備一層薄膜，薄膜的制備過程需要在專用的工藝腔體中進行，將晶圓置于密封的工藝腔體中，在其中充入相關氣體，并經過一系列反應后，在晶圓表面形成一層薄膜。該工藝腔體包括穹頂和外罩，使用時，穹頂安裝于外罩內。現有技術中，需要先將穹頂上的各種部件安裝好，然后再將穹頂與外罩進行連接安裝，接著對穹頂內部的氣密性進行檢測，若氣密性不滿足要求，則卸下穹頂，將穹頂上的各種部件重新安裝，重復上述過程，直到穹頂位置正確地與外罩安裝連接，并且氣密性滿足反應要求，該過程極為繁瑣、復雜，耗費時間和人力較多，存在改進的空間。另外，將穹頂安裝到外罩內部的時候，通常是利用人工將穹頂托舉到外罩的位置，然后將穹頂與外罩連接，由于穹頂的質量較大，這種安裝方式十分耗費人力，另外由于人工托舉時穹頂的位置不穩定，穹頂與外罩進行安裝時也容易發生位置偏移，導致安裝的成功率也不高。
技術實現思路
針對現有技術存在的不足，本技術的目的在于提供一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置，該用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置能夠解決穹頂與外罩連接安裝時需要多次重復安裝、耗費時間和人力較多的問題。為了實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置，包括平臺、平面密封板和管路，所述平臺上固定所述平面密封板，所述平面密封板上設置有溝槽，所述溝槽的形狀與穹頂的邊緣形狀相匹配，所述平臺及平面密封板位于所述溝槽內側的部分開設有氣孔，所述平臺的下方設置所述管路，所述管路與所述氣孔連通。在本技術中，優選的，所述管路包括兩條分路，兩條所述分路分別用于連接氣泵和外部真空源或氣源。在本技術中，優選的，所述平臺的下方連接有若干支腿。在本技術中，優選的，各所述支腿均為可升降結構，其中至少一個所述支腿為主動升降支腿，其余所述支腿為被動升降支腿。在本技術中，優選的，所述主動升降支腿包括馬達和絲杠，所述馬達的輸出軸與所述絲杠固定連接，所述平臺的底部固定連接有螺紋筒，所述絲杠與所述螺紋筒螺紋連接。在本技術中，優選的，所述主動升降支腿包括氣缸或電動缸，所述氣缸或電動缸的輸出軸與所述平臺的底部固定連接。在本技術中，優選的，所述支腿下方安裝有腳輪。在本技術中，優選的，相鄰的所述支腿之間固定連接有若干橫梁。與現有技術相比，本技術的有益效果是：本技術的用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置的平臺上設置平面密封板，平面密封板上的溝槽與穹頂相匹配，可以將穹頂置于溝槽內，從平臺下方的管路向穹頂內注入特殊氣體或將穹頂內的氣體抽空，可以對穹頂的氣密性進行檢測，從而實現了在穹頂安裝到外罩內部之前檢測其氣密性，確定其氣密性符合要求后再進行安裝，簡化了穹頂的安裝過程，提高了安裝效率，節約了時間和人力；各支腿均為可升降結構，使平臺可以自動升降，實現了平臺將穹頂穩定地送至外罩的位置，省去了人工托舉的過程，而且對穹頂的支撐更加穩定，移動也較為方便，使穹頂與外罩連接時的位置更加準確，提高了穹頂安裝的成功率，節約了人力。附圖說明圖1為用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置的立體圖。圖2為用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置的前視圖。圖3為用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置的后視圖。圖4為用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置的左視圖。圖5為用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置的右視圖。圖6為用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置的俯視圖。圖7為用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置的仰視圖。圖8為由缸體構成主動升降支腿的用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置的立體圖。附圖中：1-平臺、2-平面密封板、201-溝槽、3-管路、4-氣孔、5-氣泵、6-主動升降支腿、601-馬達、602-絲杠、603-螺紋筒、604-缸體、7-被動升降支腿、8-腳輪、9-橫梁。具體實施方式下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。需要說明的是，當組件被稱為“固定于”另一個組件，它可以直接在另一個組件上或者也可以存在居中的組件。當一個組件被認為是“連接”另一個組件，它可以是直接連接到另一個組件或者可能同時存在居中組件。當一個組件被認為是“設置于”另一個組件，它可以是直接設置在另一個組件上或者可能同時存在居中組件。本文所使用的術語“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的。除非另有定義，本文所使用的所有的技術和科學術語與屬于本技術的
的技術人員通常理解的含義相同。本文中在本技術的說明書中所使用的術語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本技術。本文所使用的術語“及/或”包括一個或多個相關的所列項目的任意的和所有的組合。請同時參見圖1至圖8，本技術一較佳實施方式提供一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置，包括平臺1、平面密封板2和管路3。在本實施方式中，平臺1的表面平整，其形狀可以根據需要設置，如圓形、方形、矩形、平行四邊形、橢圓等，一般情況下，平臺1為矩形，本實施方式中主要以矩形的平臺1為例。平臺1上固定有平面密封板2，平面密封板2與平臺1的形狀相匹配。平面密封板2上設置有溝槽201，溝槽201的形狀與穹頂的邊緣形狀相匹配。穹頂的底部形狀通常為圓形，因而溝槽201的形狀通常也為與穹頂的底部大小向匹配的圓形，穹頂底部的邊緣位于溝槽201內，平面密封板2的溝槽201兩側高出的部分能夠將穹頂底部的邊緣封堵住，使氣體無法從此處通過。平臺1及平面密封板2位于溝槽201內側的部分，也就是指穹頂置于平面密封板2上時所覆蓋的部分，在這部分的任意位置均可開設貫穿平臺1及平面密封板2的氣孔4，按照一般的習慣，氣孔4應開設在溝槽201形成的圓形的圓心位置。平臺1的下方設置有管路3，管路3應當與氣孔4連通，該管路3可以與平臺1固定連接，以使管路3穩定。這樣，將穹頂置于平臺1上時，平面密封板2將穹頂的邊緣密封，通過管路3可以向穹頂與平面密封板2之間的空間內充入特殊氣體(如氦氣)，檢測是否漏氣；也可以在管路3內設置壓力表，將穹頂與平面密封板2之間的空間內的氣體抽出，檢測空間內的氣壓。利用這兩種方式均可檢測出穹頂的氣密性情況，若不符合要求，可以將穹頂重新組裝后繼續檢測，直至氣密性復合要求后，再將穹頂安裝到外罩內部。通過這種檢測和安裝方式，技術人員可以在穹頂安裝到外罩內部之前檢測其氣密性，確定其氣密性符合要求后再進行安裝，簡化了穹頂的安裝過程，提高了安裝效率，節約了時間和人力。本技術的一個本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置，其特征在于，包括平臺、平面密封板和管路，所述平臺上固定所述平面密封板，所述平面密封板上設置有溝槽，所述溝槽的形狀與穹頂的邊緣形狀相匹配，所述平臺及平面密封板位于所述溝槽內側的部分開設有氣孔，所述平臺的下方設置所述管路，所述管路與所述氣孔連通。/n
【技術特征摘要】
1.一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置，其特征在于，包括平臺、平面密封板和管路，所述平臺上固定所述平面密封板，所述平面密封板上設置有溝槽，所述溝槽的形狀與穹頂的邊緣形狀相匹配，所述平臺及平面密封板位于所述溝槽內側的部分開設有氣孔，所述平臺的下方設置所述管路，所述管路與所述氣孔連通。
2.根據權利要求1所述的一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置，其特征在于，所述管路包括兩條分路，兩條所述分路分別用于連接氣泵和外部真空源或氣源。
3.根據權利要求1所述的一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置，其特征在于，所述平臺的下方連接有若干支腿。
4.根據權利要求3所述的一種用于晶圓薄膜制備的穹頂輔助裝置，其特征在于，各所述支腿均為可升降結構，其中至少一個所述支腿為主動...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王彬，張彬彬，
申請(專利權)人：天津維普泰克科技發展有限公司，
類型：新型
國別省市：天津;12
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