The utility model discloses a carrying rod used for a silicon bar. Includes a body; V plate / arc plate, the front end is hinged on the front end of the body, used for supporting the silicon rod at the level of state; and the supporting rod, the rear part of the hull and is located beneath the V plate / arc plate, used to support the V plate / arc plate end; hydraulic turnover device it is arranged between the body and the V plate / arc plate, the plate for flip V / arc plate; side plate, which is vertically arranged on the V plate / arc plate used for supporting the front end, the silicon rod in the vertical state; on rolling supporting device, the bottom is set in the V plate / arc plate on both sides by adjusting the position, for supporting the silicon rod. The utility model has the beneficial effects that a plurality of rolling support devices are arranged, and the front end of the rolling supporting device is provided with a wheel roller capable of rolling and supporting the silicon bar, so that the silicon bar can be conveniently detected.
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
一種應(yīng)用于硅棒的運棒車
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體新材料硅單晶制備
,具體涉及一種應(yīng)用于硅棒的運棒車。
技術(shù)介紹
目前國際主流集成電路依然是使用硅基材料,市場占有率達(dá)高。集成電路硅片加工處理環(huán)境中不能有其他雜質(zhì),否則硅片就會受到污染,影響器件性能。加工生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體硅片時,需要用到更大尺寸的單晶硅材料作為加工時相應(yīng)的輔助材料。因此大尺寸單晶硅材料有著良好的市場前景。單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素,是晶體材料的重要組成部分,處于新材料發(fā)展的前沿。其主要用途是用作半導(dǎo)體材料和利用太陽能光伏發(fā)電、供熱等。單晶硅可以用于二極管級、整流器件級、電路級以及太陽能電池級單晶產(chǎn)品的生產(chǎn)和深加工制造,其后續(xù)產(chǎn)品集成電路和半導(dǎo)體分離器件已廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域,在軍事電子設(shè)備中也占有重要地位。在生產(chǎn)實踐中,大直徑硅棒的取運一直是一個難題。由于投料量的提高,硅棒的重量越來越重。目前均是采用人力搬運并且是沒有安全防護(hù),會存在一定的風(fēng)險。若采用人力去搬運,會對員工的身體健康造成一定的負(fù)擔(dān)。由于在轉(zhuǎn)運的過程中,會有檢測、運輸、開斷等諸多環(huán)節(jié),存在多次搬運的問題,對工作造成了很大的不便。因此,一種能夠便于單晶硅檢測、運輸和開斷的應(yīng)用于硅棒的運棒車為了解決問題的關(guān)鍵。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的在于提供一種應(yīng)用于硅棒的運棒車,設(shè)有多對滾動支撐裝置,便于對硅棒進(jìn)行檢測和運送。為實現(xiàn)上述目的,本技術(shù)采用如下技術(shù)方案,一種應(yīng)用于硅棒的運棒車,包括:車體;V型板/弧形板,其前端鉸接在車體的前端,用于在水平狀態(tài)下承托硅棒;以及支桿,其設(shè)置車體的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方,用于支撐V型板/弧形板的末端; ...
【技術(shù)保護(hù)點】
一種應(yīng)用于硅棒的運棒車,其特征在于,包括:車體;V型板/弧形板,其前端鉸接在車體的前端,用于在水平狀態(tài)下承托硅棒;以及支桿,其設(shè)置車體的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方,用于支撐V型板/弧形板的末端;液壓翻轉(zhuǎn)裝置,其設(shè)置在所述車體與V型板/弧形板之間,用于所翻轉(zhuǎn)述V型板/弧形板;側(cè)托板,其豎直設(shè)置在所述V型板/弧形板前端,用于在豎直狀態(tài)下承托硅棒;多對滾動支撐裝置,其底部通過位置調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在所述V型板/弧形板的兩側(cè),用于支撐硅棒;其中,在所述多對滾動支撐裝置的上端設(shè)有可旋轉(zhuǎn)地輪輥。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種應(yīng)用于硅棒的運棒車,其特征在于,包括:車體;V型板/弧形板,其前端鉸接在車體的前端,用于在水平狀態(tài)下承托硅棒;以及支桿,其設(shè)置車體的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方,用于支撐V型板/弧形板的末端;液壓翻轉(zhuǎn)裝置,其設(shè)置在所述車體與V型板/弧形板之間,用于所翻轉(zhuǎn)述V型板/弧形板;側(cè)托板,其豎直設(shè)置在所述V型板/弧形板前端,用于在豎直狀態(tài)下承托硅棒;多對滾動支撐裝置,其底部通過位置調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在所述V型板/弧形板的兩側(cè),用于支撐硅棒;其中,在所述多對滾動支撐裝置的上端設(shè)有可旋轉(zhuǎn)地輪輥。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于硅棒的運棒車,其特征在于,所述滾動支撐裝置包括:支撐塊,其通過位置調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在所述側(cè)托板上;弧型桿,其下端與支撐塊通過轉(zhuǎn)軸連接;以及扭簧,其套設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸上;輪輥,其可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述弧型桿的前端,用于與所述硅棒相抵接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于硅棒的運棒車,其特征在于,所述位置調(diào)節(jié)裝置包括:兩個滑槽件,其并列設(shè)置在所述V型板/弧形板上,在所述滑槽件上設(shè)有縱向的凹槽內(nèi),在所述滑槽件的側(cè)面上設(shè)有齒形槽;兩個支撐板,其分別插入所述凹槽內(nèi),在所述支撐板上分別通孔,其用于連接所述支撐塊;以及兩個...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:戴志輝,韓剛,秦朗,
申請(專利權(quán))人:錦州神工半導(dǎo)體有限公司,
類型:新型
國別省市:遼寧,21
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