一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法及除膠裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法及除膠裝置。除膠方法包括以下步驟：S1：將半導(dǎo)體器件置于化學溶液中浸泡使得散熱板表面的溢膠軟化；S2：使用旋轉(zhuǎn)毛刷將所述散熱板表面的軟化后溢膠刷除。由于溢膠已經(jīng)被軟化，即使溢膠非常嚴重，旋轉(zhuǎn)毛刷也可以快速地清除溢膠，且由于溢膠已經(jīng)軟化，因此，旋轉(zhuǎn)毛刷采用普通毛刷即可，不需要使用耐磨的專用毛刷，節(jié)約成本，也不會對散熱板的表面產(chǎn)生磨損，省時省力，提高工作效率。

Method for removing glue of heat sink plate of semiconductor device and glue removing device

The invention discloses a method for removing glue of a heat sink plate of a semiconductor device and a glue removing device. The removing method comprises the following steps: S1: soaking the semiconductor device in the chemical solution to soften the overflow of the heat radiation plate surface; S2: using a rotary brush to remove the softened overflow glue on the surface of the heat dissipation plate. The overflow has been softened, even if the glue overflow is very serious, the rotating brush can quickly remove excess glue, and the overflow has softened, therefore, the rotating brush brush can be used in general, does not require special brush, use wear cost saving, no cooling plate surface abrasion, saving time and labor, improve work efficiency.

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法及除膠裝置
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體的
，尤其涉及一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法及除膠裝置。
技術(shù)介紹
半導(dǎo)體引線框架在使用環(huán)氧樹脂封裝后，有些產(chǎn)品由于設(shè)計問題，會有溢膠殘留在引線腳和散熱片上，需要在后續(xù)的鍍錫之前去除干凈。去除溢膠方法目前主要是化學溶液浸泡法(ChemicalDeflush)、電解法(ElectrolisisDeflush)和機械法(MichenicalDeflush)。機械法因采用的噴射介質(zhì)會損傷基材現(xiàn)在已很少采用。電解法主要是通過在散熱板表面電解產(chǎn)生氣體將溢膠和散熱板的表面分離，當電解電壓或電流過高會損傷芯片造成分層，并且對某些嚴重的溢膠也無法去除。化學溶液浸泡法通過化學溶液和溢膠之間的化學作用使溢膠溶解或軟化松動，再結(jié)合后續(xù)的高壓水刀噴淋，可以干凈徹底的除去溢膠，是目前行業(yè)除溢膠的主流方法。但是當溢膠比較嚴重時，化學溶液浸泡軟膠后，水刀也無法將比較嚴重的溢膠清除掉，仍然會有殘留，影響產(chǎn)品的性能，此時往往只能通過人工使用刮板等繼續(xù)刮除，勞動強度大且效率低下。申請?zhí)枮椤?00610022335.9”的對比文件公開了一種清除半導(dǎo)體元器件上殘膠的方法及設(shè)備，其利用刀具將半導(dǎo)體器件的殘膠進行切除，再利用含金剛沙耐磨拋光專用毛刷清除剩余的殘膠。從對比文件的描述可以看出，其主要是上下沖裁切除半導(dǎo)體側(cè)面的毛邊的殘膠，無法針對散熱板的殘膠進行清除，且利用刀具強行清除有可能會損壞到半導(dǎo)體元器件本身，且含金剛沙耐磨拋光專用毛刷清除剩余的殘膠時是相當于一個打磨的過程，將表面的殘膠磨掉，直接對固態(tài)的殘膠打磨不僅效率低下，且可能對半導(dǎo)體器件產(chǎn)生傷害。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的第一目的在于提出一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法，可以方便的清除散熱板表面的溢膠，省時省力。為達此目的，本專利技術(shù)采用以下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法，包括以下步驟：S1：將半導(dǎo)體器件置于化學溶液中浸泡使得散熱板表面的溢膠軟化；S2：使用旋轉(zhuǎn)毛刷將所述散熱板表面的軟化后溢膠刷除。進一步的，所述步驟S2之后還包括：S3：使用高壓水刀將所述散熱板的表面的殘膠清除。進一步的，在所述步驟S3之后還包括：步驟S4：將所述半導(dǎo)體器件進行電鍍。本專利技術(shù)的第二目的在于提出一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠裝置，可以方便的清除散熱板表面的溢膠，省時省力。為達此目的，本專利技術(shù)采用以下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠裝置，包括：浸泡池、旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)以及將半導(dǎo)體器件從浸泡池運輸?shù)叫D(zhuǎn)毛刷機構(gòu)的運輸機構(gòu)，所述浸泡池中容置有用于軟化溢膠的化學溶液，所述旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)包括用于清除軟化后的溢膠的毛刷。進一步的，所述旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)還包括用于驅(qū)動所述毛刷旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機構(gòu)和固定所述半導(dǎo)體器件的固定件，所述固定件可移動，以使得所述散熱板的表面的不同位置接觸所述毛刷。進一步的，所述旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)還包括碎屑收集板，所述碎屑收集板的端部位于所述毛刷的刷毛的旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)。進一步的，所述碎屑收集板包括底板和凸設(shè)于所述底板一端的刮板，所述刮板靠近所述毛刷且位于刷毛的旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)，所述刮板的凸設(shè)方向與刷毛在刮板處的運動方向相反。進一步的，所述運輸機構(gòu)包括傳輸鏈，所述固定件位于所述傳輸鏈上，所述毛刷位于所述固定件用于固定半導(dǎo)體器件的一側(cè)。進一步的，所述驅(qū)動機構(gòu)包括驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機和所述毛刷的轉(zhuǎn)軸之間連接有減速機構(gòu)。進一步的，除膠裝置還包括位于所述旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)后方的水刀清洗機構(gòu)。有益效果：本專利技術(shù)提供了一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法及除膠裝置。除膠方法包括以下步驟：S1：將半導(dǎo)體器件置于化學溶液中浸泡使得散熱板表面的溢膠軟化；S2：使用旋轉(zhuǎn)毛刷將所述散熱板表面的軟化后溢膠刷除。由于溢膠已經(jīng)被軟化，即使溢膠非常嚴重，旋轉(zhuǎn)毛刷也可以快速地清除溢膠，且由于溢膠已經(jīng)軟化，因此，旋轉(zhuǎn)毛刷采用普通毛刷即可，不需要使用耐磨的專用毛刷，節(jié)約成本，也不會對散熱板的表面產(chǎn)生磨損，省時省力，提高工作效率。附圖說明圖1是本專利技術(shù)提供的除膠方法的流程圖。圖2是本專利技術(shù)提供的除膠裝置的旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)的示意圖。其中：1-旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)，11-毛刷，2-半導(dǎo)體器件，21-注膠封裝層，22-散熱板，23-溢膠，3-碎屑收集板，31-底板，32-刮板，4-碎屑。具體實施方式為使本專利技術(shù)解決的技術(shù)問題、采用的技術(shù)方案和達到的技術(shù)效果更加清楚，下面結(jié)合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本專利技術(shù)的技術(shù)方案。如圖2所示，半導(dǎo)體器件2在注塑封裝時，散熱板22下面形成注塑封裝層21，散熱板22上面可能會產(chǎn)生溢膠23，且有時溢膠23非常嚴重，直接使用化學溶液浸泡軟化后使用高壓水刀也不能清除干凈，因此，如圖1所示，本專利技術(shù)提供了一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法，包括以下步驟：S1：將半導(dǎo)體器件2置于化學溶液中浸泡使得散熱板22表面的溢膠23軟化，通過化學溶液浸泡軟化溢膠23是成熟的工藝，此處不再具體贅述，主要通過控制化學溶液的濃度、溫度和浸泡時間等來控制溢膠23的軟化程度；S2：使用旋轉(zhuǎn)毛刷將散熱板22表面的軟化后溢膠23刷除，如圖2所示。由于溢膠23已經(jīng)被軟化，即使溢膠22非常嚴重，旋轉(zhuǎn)毛刷也可以快速地清除溢膠23，且由于溢膠23已經(jīng)軟化，因此，旋轉(zhuǎn)毛刷采用普通毛刷即可，不需要使用耐磨的專用毛刷，節(jié)約成本，也不會對散熱板22的表面產(chǎn)生磨損，省時省力，提高工作效率。旋轉(zhuǎn)毛刷可以將絕大部分的軟化后的溢膠23清除，但是可能會遺漏一些細小的溢膠23，為了進一步清除剩余的細小的溢膠23，步驟S2之后還包括：S3：使用高壓水刀將散熱板22的表面的殘膠清除，高壓水刀不僅可以將細小的溢膠23清除，且對半導(dǎo)體器件2上的化學溶液進行清洗干凈，方便后續(xù)操作。由于散熱板22上的大部分殘膠均被旋轉(zhuǎn)毛刷取出，因此，高壓水刀的清除工作量不大，可以使用小功率的高壓水刀作業(yè)，節(jié)約設(shè)備成本。一般而言，在步驟S3之后還會包括：步驟S4：將半導(dǎo)體器件進行電鍍，和其他元件等結(jié)合。本專利技術(shù)還提供了一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠裝置，如圖2所示，包括：浸泡池、旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)1以及將半導(dǎo)體器件2從浸泡池運輸?shù)叫D(zhuǎn)毛刷機構(gòu)1的運輸機構(gòu)，浸泡池中容置有用于軟化溢膠23的化學溶液，旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)1包括用于清除軟化后的溢膠23的毛刷11。半導(dǎo)體器件2上的溢膠23在浸泡池中被化學溶液軟化后，隨著半導(dǎo)體器件2被運輸機構(gòu)帶到旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)1處，被毛刷11清除。由于溢膠23已經(jīng)被軟化，即使溢膠22非常嚴重，旋轉(zhuǎn)毛刷也可以快速地清除溢膠23，且由于溢膠23已經(jīng)軟化，旋轉(zhuǎn)毛刷采用普通毛刷即可，不需要使用耐磨的專用毛刷，節(jié)約成本，也不會對散熱板22的表面產(chǎn)生磨損，省時省力，提高工作效率。旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)1后方還可以設(shè)置水刀清洗機構(gòu)，以通過高壓水刀對散熱板23上的剩余殘膠進行清除，也將半導(dǎo)體器件2上的化學溶液清洗干凈。本專利技術(shù)的旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)1包括用于驅(qū)動毛刷11旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機構(gòu)和固定半導(dǎo)體器件2的固定件，固定件可移動，以使得散熱板22的表面的不同位置接觸毛刷11，將散熱板22的表面的不同部位的溢膠23均能被毛刷11清除。運輸機構(gòu)包括傳輸鏈，固定件位于傳輸鏈上，毛刷11位于固定件用于固定半導(dǎo)體器件2的一側(cè)，傳輸鏈在運動時，可以帶動固定件和半導(dǎo)體器件2運動，并經(jīng)過毛刷11的下部。本專利技術(shù)的旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)1還包括本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法，其特征在于，包括以下步驟：S1：將半導(dǎo)體器件(2)置于化學溶液中浸泡使得散熱板(22)表面的溢膠(23)軟化；S2：使用旋轉(zhuǎn)毛刷將所述散熱板(22)表面的軟化后溢膠(23)刷除。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法，其特征在于，包括以下步驟：S1：將半導(dǎo)體器件(2)置于化學溶液中浸泡使得散熱板(22)表面的溢膠(23)軟化；S2：使用旋轉(zhuǎn)毛刷將所述散熱板(22)表面的軟化后溢膠(23)刷除。2.如權(quán)利要求1所述的除膠方法，其特征在于，所述步驟S2之后還包括：S3：使用高壓水刀將所述散熱板(22)的表面的殘膠清除。3.如權(quán)利要求2所述的除膠方法，其特征在于，在所述步驟S3之后還包括：步驟S4：將所述半導(dǎo)體器件(2)進行電鍍。4.一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠裝置，其特征在于，包括：浸泡池、旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)(1)以及將半導(dǎo)體器件(2)從浸泡池運輸?shù)叫D(zhuǎn)毛刷機構(gòu)(1)的運輸機構(gòu)，所述浸泡池中容置有用于軟化溢膠(23)的化學溶液，所述旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)(1)包括用于清除軟化后的溢膠(23)的毛刷(11)。5.如權(quán)利要求4所示的除膠裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)(1)還包括用于驅(qū)動所述毛刷(11)旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機構(gòu)和固定所述半導(dǎo)體器件(2)的固定件，所述...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：江一漢，梁鈺華，曹周，
申請(專利權(quán))人：杰群電子科技東莞有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：廣東,44