The utility model discloses a crystal pulling car for a direct drawing single crystal furnace, comprising two parallel bottom rods. A first connecting rod is connected with the bottom end of the bottom rod. The first connecting rod is provided with an oil cylinder. The oil cylinder is provided with a sliding plate which is movably fixed on the oil cylinder. A rotating device, a mechanical hand device and a fixed clamping rod device are arranged on the sliding plate along the direction perpendicular to the oil cylinder. A single crystal furnace is used to heat the polysilicon into a single crystal silicon rod. After the end, the single crystal rod is dropped from the chamber of the single crystal furnace into the fixed clamping rod device. The fixed clamping rod of the utility model plays a fixed role, and the single crystal roller is transported to the placing position because of the role of the first roller in the bottom rod, and the single crystal bar is flatly placed by the rotating device, and then released to achieve the purpose of transportation.
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
直拉單晶爐用取晶車
本技術(shù)涉及單晶棒取放裝置領(lǐng)域,特別涉及一種直拉單晶爐用取晶車。
技術(shù)介紹
單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程中的必要設(shè)備。本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員通過單晶爐將多晶硅加熱拉制成單晶硅棒。在單晶硅拉制結(jié)束后從單晶爐副室中降下單晶棒,落在正下方的取晶架內(nèi)。公開號為CN203320184U的中國專利公開了一種取晶車,該取晶車包括基板和基板一側(cè)設(shè)置的車輪。基板端部設(shè)有垂直基板的支撐板。支撐板上固連有呈圓形的承接桶。基板上沿著基板的縱向設(shè)置有若干個承接座。該取晶車通過直接在單晶爐下方承接單晶硅棒,可直接將單晶硅棒運輸至特定工位。該取晶車運輸、取晶以及放置晶棒的過程中無法調(diào)整取晶車的工作角度,只能人工改變?nèi)【к嚨墓ぷ鹘嵌龋龃罅巳斯と【閭⒌袈浜蜖C傷的風險,有待改進。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是提供一種可旋轉(zhuǎn)的直拉單晶爐用取晶車。本技術(shù)的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)的:一種直拉單晶爐用取晶車,包括多根平行的底桿,所述底桿同一端連接有第一連接桿,所述第一連接桿上設(shè)置有油缸,所述油缸設(shè)置有活動固定于油缸的滑動板,所述滑動板上沿垂直于油缸的方向設(shè)置有旋轉(zhuǎn)裝置、機械手裝置和固定夾棒裝置,所述旋轉(zhuǎn)裝置包括緊貼在滑動板上的第一固定塊,所述第一固定塊設(shè)置有穿過第一固定塊且平行于滑動板的蝸桿,所述蝸桿上嚙合有蝸輪,所述蝸輪的軸心處穿設(shè)有與蝸輪固接的第二連接桿,所述第二連接桿遠離蝸輪的一端連接有轉(zhuǎn)動軸,所述轉(zhuǎn)動軸與機械手裝置連接。通過采用上述技術(shù)方案,使得單晶爐將多晶硅加熱拉制成單晶硅棒結(jié)束后,可從單晶爐副室中降下單晶棒落入固定夾棒裝置中。該運晶車的固定夾棒起到了固 ...
【技術(shù)保護點】
一種直拉單晶爐用取晶車,包括多根平行的底桿(1),所述底桿(1)同一端連接有第一連接桿(2),所述第一連接桿(2)上設(shè)置有油缸(3),其特征是:所述油缸(3)設(shè)置有活動固定于油缸(3)的滑動板(4),所述滑動板(4)上沿垂直于油缸(3)的方向設(shè)置有旋轉(zhuǎn)裝置(5)、機械手裝置(6)和固定夾棒裝置(7),所述旋轉(zhuǎn)裝置(5)包括緊貼在滑動板(4)上的第一固定塊(8),所述第一固定塊(8)設(shè)置有穿過第一固定塊(8)且平行于滑動板(4)的蝸桿(10),所述蝸桿(10)上嚙合有蝸輪(9),所述蝸輪(9)的軸心處穿設(shè)有與蝸輪(9)固接的第二連接桿(11),所述第二連接桿(11)遠離蝸輪(9)的一端連接有轉(zhuǎn)動軸(14),所述轉(zhuǎn)動軸(14)與機械手裝置(6)連接。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種直拉單晶爐用取晶車,包括多根平行的底桿(1),所述底桿(1)同一端連接有第一連接桿(2),所述第一連接桿(2)上設(shè)置有油缸(3),其特征是:所述油缸(3)設(shè)置有活動固定于油缸(3)的滑動板(4),所述滑動板(4)上沿垂直于油缸(3)的方向設(shè)置有旋轉(zhuǎn)裝置(5)、機械手裝置(6)和固定夾棒裝置(7),所述旋轉(zhuǎn)裝置(5)包括緊貼在滑動板(4)上的第一固定塊(8),所述第一固定塊(8)設(shè)置有穿過第一固定塊(8)且平行于滑動板(4)的蝸桿(10),所述蝸桿(10)上嚙合有蝸輪(9),所述蝸輪(9)的軸心處穿設(shè)有與蝸輪(9)固接的第二連接桿(11),所述第二連接桿(11)遠離蝸輪(9)的一端連接有轉(zhuǎn)動軸(14),所述轉(zhuǎn)動軸(14)與機械手裝置(6)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐用取晶車,其特征是:所述底桿(1)遠離第一連接桿(2)的一端設(shè)置有多個滾輪(15)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐用取晶車,其特征是:所述第一連接桿(2)的一側(cè)連接有第二固定塊(16),所述第二固定塊(16)遠離第一連接桿(2)的一端設(shè)置有第三固定塊(18),所述第三固定塊(18)設(shè)置有第一把手(12)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直拉單晶爐用取晶車,其特征是:所述第三固定塊(18)設(shè)置有多個滾輪(15),所述第二固定塊(16)設(shè)置有驅(qū)動滾輪(15)和滑動板(4)的電動裝置。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐用取晶車,其特征是:所述第一連接桿(2)設(shè)置有平行油缸(3)且分布油缸(3)兩側(cè)的第二固定桿(20)和第三固定桿(21),所述油缸(3)、第二固定桿(20)和第三固定桿(21)上設(shè)置有多個固定板(22)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐用取晶車,其特征是:所述固定夾棒裝置(7)包括底板(23),所述底板(23)包括底盤...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:周云龍,
申請(專利權(quán))人:溫州永泰電器有限公司,
類型:新型
國別省市:浙江,33
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