一種石墨烯槽波導(dǎo)光探測器制造技術(shù)

提供了一種石墨烯槽波導(dǎo)光探測器，該石墨烯槽波導(dǎo)光探測器相比于普通的石墨烯波導(dǎo)光探測器具有較高的探測響應(yīng)度和光電轉(zhuǎn)換效率。該石墨烯槽波導(dǎo)光探測器包括：下套層(10)；間隔設(shè)置于下套層(10)上的至少兩個芯層(11)，至少兩個芯層(11)中的至少一個芯層(11)與下套層(10)接觸；設(shè)置于下套層(10)上、各相鄰芯層(11)之間的槽層(12)，槽層(12)的數(shù)量大于等于1，槽層(12)的折射率均小于與該槽層(12)相鄰的兩個芯層(11)的折射率；石墨烯層(13)以及兩個金屬電極(14)，石墨烯層(13)與槽層(12)中的至少一個槽層(12)接觸或者石墨烯層(13)設(shè)置在槽層(12)中的至少一個槽層(12)中，石墨烯層(13)與兩個金屬電極(14)中的至少一個金屬電極(14)接觸。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】PCT國內(nèi)申請，說明書已公開。

【技術(shù)保護點】
PCT國內(nèi)申請，權(quán)利要求書已公開。

【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】PCT國內(nèi)申請，...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王志仁，劉磊，鄧舒鵬，
申請(專利權(quán))人：華為技術(shù)有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：廣東;44