【技術實現步驟摘要】
本技術屬于真空
，具體涉及一種螺桿真空泵。
技術介紹
螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,它是20世紀90年代初期出現的一種理想的真空泵,以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點而在微電子、半導體、制藥、精密加工等行業得到廣泛應用。國產的螺桿真空泵經過二十年的快速發展，其主要性能指標(如抽速、極限壓力、能耗、零流量壓縮比、壓差)均達到或接近國外先進水平；但泵運行穩定性、使用可靠性與國外先進泵仍差距較大，其動密封技術是主要影響因素之一，如何提高密封的可靠性及密封件的使用壽命成為目前國內螺桿泵市場面臨的關鍵問題。螺桿真空泵工作過程分為吸氣、等容輸送、壓縮、排氣四個過程，壓縮和排氣的過程中會使氣體溫度急劇升高，導致排氣端轉子與軸的溫度較高，密封組件處于高溫高速的惡劣工況下，而且傳統機械密封動靜環直接接觸，使密封組件易損，使用壽命大大降低。
技術實現思路
為了解決高溫高速運行的螺桿真空泵的機械密封組件存在的問題，提高螺桿真空泵的使用壽命，本技術提供一種具有動密封結構的螺桿真空泵。一種具有動密封結構的螺桿真空泵包括泵體21、前端蓋3、后端蓋、軸1和轉子2；所述泵體21的一側徑向上設有進氣端口，所述前端蓋3和后端蓋分別固定設于泵體21的軸向兩端；所述前端蓋3的一側徑向上分別設有排氣端口和冷卻介質入口；所述后端蓋的一側徑向上設有冷卻介質出口；所述轉子2套設固定在軸1上，轉子2位于泵體21內...
【技術保護點】
一種具有動密封結構的螺桿真空泵，包括泵體(21)、前端蓋(3)、后端蓋、軸(1)和轉子(2)；所述泵體(21)的一側徑向上設有進氣端口，所述前端蓋(3)和后端蓋分別固定設于泵體(21)的軸向兩端；所述前端蓋(3)的一側徑向上分別設有排氣端口和冷卻介質入口；所述后端蓋的一側徑向上設有冷卻介質出口；所述轉子(2)套設固定在軸(1)上，轉子(2)位于泵體(21)內；所述軸(1)的一端固定設于后端蓋內，另一端伸至前端蓋(3)外部，軸(1)和前端蓋(3)之間設有密封機構；所述密封機構包括密封靜環(6)和密封動環(7)，所述密封動環(7)上套設有彈簧，密封動環(7)通過緊定螺釘固定在軸(1)上，其特征在于：所述密封機構還包括冷卻套管(4)；與密封機構對應的轉子(2)的軸向一端為套管臺階孔，使轉子(2)與軸(1)之間有環形空腔；所述冷卻套管(4)為一端敞口另一端封閉的夾套管，所述夾套管的內管壁和外管壁之間的空腔為環狀的冷卻通道(9)；冷卻套管(4)的敞口端固定連接著前端蓋(3)的軸向內端面，冷卻套管(4)的封閉口端位于轉子(2)的套管臺階孔內；所述冷卻通道(9)與前端蓋(3)內的冷卻腔(10)連通，...
【技術特征摘要】
1.一種具有動密封結構的螺桿真空泵，包括泵體(21)、前端蓋(3)、后端蓋、軸(1)和轉子(2)；所述泵體(21)的一側徑向上設有進氣端口，所述前端蓋(3)和后端蓋分別固定設于泵體(21)的軸向兩端；所述前端蓋(3)的一側徑向上分別設有排氣端口和冷卻介質入口；所述后端蓋的一側徑向上設有冷卻介質出口；所述轉子(2)套設固定在軸(1)上，轉子(2)位于泵體(21)內；所述軸(1)的一端固定設于后端蓋內，另一端伸至前端蓋(3)外部，軸(1)和前端蓋(3)之間設有密封機構；所述密封機構包括密封靜環(6)和密封動環(7)，所述密封動環(7)上套設有彈簧，密封動環(7)通過緊定螺釘固定在軸(1)上，其特征在于：
所述密封機構還包括冷卻套管(4)；與密封機構對應的轉子(2)的軸向一端為套管臺階孔，使轉子(2)與軸(1)之間有環形空腔；
所述冷卻套管(4)為一端敞口另一端封閉的夾套管，所述夾套管的內管壁和外管壁之間的空腔為環狀的冷卻通道(9)；冷卻套管(4)的敞口端固定連接著前端蓋(3)的軸向內端面，冷卻套管(4)的封閉口端位于轉子(2)的套管臺階孔內；
所述冷卻通道(9)與前端蓋(3)內的冷卻腔(10)連通，冷卻腔(10)內設有冷卻介質，實現在軸和轉子之間形成絕熱層，阻擋溫度沿著軸向密封靜環(6)和密封動環(7)處傳遞；
與密封動環(7)對應的密封靜環(6)的摩擦副表面(14)上均布開設有微孔(15)，所述微孔(15)為盲孔，微孔(15)作為微儲油池向摩擦副表面提供潤滑油。
2.根據權利要求1所述的一種具有動密封結構的螺桿真空泵，其特征在于：與所述密封機構相鄰的軸(1)的表面設有迷宮密封槽(...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王國棟，王慶生，陳宗武，李卓慧，祝敏，郭金光，鄭志，陳長琦，
申請(專利權)人：合肥工業大學，山東伯仲真空設備股份有限公司，
類型：新型
國別省市：安徽;34
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