一種旋轉(zhuǎn)靶材澆鑄工裝制造技術(shù)

本實用新型專利技術(shù)涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材澆鑄工裝，其包括內(nèi)模、外模、鎖緊裝置、定位端蓋、橫澆道、直澆道以及冒口；所述外模設(shè)置在內(nèi)模的外周；所述定位端蓋用于連接內(nèi)模和外模；所述鎖緊裝置用于鎖緊定位端蓋，并與內(nèi)模螺紋連接；所述冒口在垂直軸向方向上設(shè)置在外模的管壁上。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種工裝，具體涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材澆鑄工裝，屬于機械

技術(shù)介紹
自旋轉(zhuǎn)靶材被開發(fā)出來后，靶材的利用率由傳統(tǒng)矩形平面靶材的40％提高到80％，大量節(jié)約鍍膜成本，從此旋轉(zhuǎn)靶材在大面積鍍膜行業(yè)得到了廣發(fā)應(yīng)用。然而，制備長達4米的矩形靶材尚且不容易，而制備類似長度的中空圓柱靶材，更為不易，現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)Sn、ZnSn、ZnAl等低熔點的靶材一般都是采用澆鑄和噴涂工藝，在實際的實用過程中，存在著澆鑄工藝制備的管型管不可避免晶粒的過分長大，影響鍍膜的均勻性；噴涂工藝得到的管型管材料氧氮含量都比較高，且致密度較低，導(dǎo)致膜層品質(zhì)與靶材壽命相對較低。現(xiàn)有技術(shù)中公開了一些旋轉(zhuǎn)靶材的澆鑄工裝，例如CN102554149A、CN102260847A、CN104032271A、CN104399897A均公開了一種旋轉(zhuǎn)靶材的立式澆鑄工裝，其工裝組裝難度大，安全性能差，而且靶材密度均勻性不夠完美。
技術(shù)實現(xiàn)思路
為了解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)提供一種旋轉(zhuǎn)靶材澆鑄工裝，該旋轉(zhuǎn)靶材澆鑄工裝用于低熔點的金屬或合金旋轉(zhuǎn)靶材的生產(chǎn)加工。可以加工旋轉(zhuǎn)銦靶材，旋轉(zhuǎn)鋅鋁靶材，旋轉(zhuǎn)鋅錫靶材，旋轉(zhuǎn)鋅錫銅靶材，旋轉(zhuǎn)鋁靶材等，采用橫澆鑄的形式，大大降低了模具安裝的難度，也提高了澆鑄操作的安全性。本技術(shù)的技術(shù)方案如下：一種旋轉(zhuǎn)靶材澆鑄工裝，其包括內(nèi)模、外模、鎖緊裝置、定位端蓋、橫澆道、直澆道以及冒口；所述外模設(shè)置在內(nèi)模的外周；所述定位端蓋用于連接內(nèi)模和外模；所述鎖緊裝置用于鎖緊定位端蓋，并與內(nèi)模螺紋連接；所述冒口在垂直軸向方向上設(shè)置在外模的管壁上。其中，所述內(nèi)模為不銹鋼管。其中，所述鎖緊裝置為鎖緊螺母。本技術(shù)具有如下有益效果：(1)該澆鑄工裝采用橫澆鑄的形式，大大降低了模具安裝的難度，也提高了澆鑄操作的安全性；(2)澆鑄工裝設(shè)置了兩個補縮點(冒口和澆道)，最終精加工將去除，保證靶材不會因為端部的補縮產(chǎn)生縮松縮孔缺陷，靶材密度均勻性更好；(3)澆鑄完成后，內(nèi)模內(nèi)通水霧冷卻能大大縮短靶材的冷卻時間，能生產(chǎn)細晶粒的金屬或合金靶材，且晶粒生長方向沿徑向生長，靶材的使用性能大大提供。(晶粒越細，靶材濺射速率越快，晶粒生長方向作為濺射面亦能提高濺射速率)(4)該澆鑄工裝安裝簡單，生產(chǎn)效率高。且可用于生產(chǎn)多種低熔點的金屬或合金旋轉(zhuǎn)靶材。最長可加工4米長的旋轉(zhuǎn)靶材。附圖說明圖1為本技術(shù)工裝的整體結(jié)構(gòu)圖；圖2是本技術(shù)圖1中的工裝沿著A-A方向切面的剖面圖；圖中附圖標(biāo)記表示為：1-鎖緊裝置、2-定位端蓋、3-外模、4-內(nèi)模、5-直澆道、6-橫澆道、7-冒口。具體實施方式下面結(jié)合附圖和具體實施例來對本技術(shù)進行詳細的說明。參見圖1、圖2，一種旋轉(zhuǎn)靶材澆鑄工裝，其包括內(nèi)模4、外模3、鎖緊裝置1、定位端蓋2、橫澆道6、直澆道5以及冒口7；所述外模3設(shè)置在內(nèi)模4的外周；所述定位端蓋2用于連接內(nèi)模4和外模3；所述鎖緊裝置1用于鎖緊定位端蓋2，并與內(nèi)模4螺紋連接；所述冒口7在垂直軸向方向上設(shè)置在外模3的管壁上；所述定位端蓋2確保澆鑄成品壁厚的一致性；所述外模3的內(nèi)徑可以控制靶材的大小；所述直澆道5用于澆鑄液的注入，同時作為凝固階段的補縮；所述橫澆道用于澆鑄液形成穩(wěn)流進入澆鑄型腔內(nèi)；所述冒口7用于澆鑄凝固階段的補縮。優(yōu)選的，所述內(nèi)模為不銹鋼管。優(yōu)選的，所述鎖緊裝置為鎖緊螺母。以上所述僅為本技術(shù)的實施例，并非因此限制本技術(shù)的專利范圍，凡是利用本技術(shù)說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關(guān)的
，均同理包括在本技術(shù)的專利保護范圍內(nèi)。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種旋轉(zhuǎn)靶材澆鑄工裝，其特征在于：包括內(nèi)模、外模、鎖緊裝置、定位端蓋、橫澆道、直澆道以及冒口；所述外模設(shè)置在內(nèi)模的外周；所述定位端蓋用于連接內(nèi)模和外模；所述鎖緊裝置用于鎖緊定位端蓋，并與內(nèi)模螺紋連接；所述冒口在垂直軸向方向上設(shè)置在外模的管壁上。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種旋轉(zhuǎn)靶材澆鑄工裝，其特征在于：包括內(nèi)模、外模、鎖緊裝置、定位端蓋、橫澆道、直澆道以及冒口；所述外模設(shè)置在內(nèi)模的外周；所述定位端蓋用于連接內(nèi)模和外模；所述鎖緊裝置用于鎖緊定位端蓋，并與內(nèi)模螺紋連接；所述冒口在垂...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳欽忠，張科，林志河，
申請(專利權(quán))人：福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司，
類型：新型
國別省市：福建;35