本實用新型專利技術公開了一種真空吸附石墨舟，所述石墨舟設有若干個單元舟片，每個單元舟片為中空結構，每個單元舟片設置有吸附孔和石墨插銷，每個單元舟片均與石英管道相連接。與現有技術相比，本實用新型專利技術具有如下有益效果：本實用新型專利技術通過設有若干個單元舟片，每個單元舟片為中空結構，每個單元舟片設置有吸附孔和石墨插銷，每個單元舟片均與石英管道相連接，石英管道抽去每個單元舟片內的空氣后就通過吸附孔吸入氮氣，不同于傳統石墨舟的卡槽模式，具有可以避免硅片產生崩邊和缺口，使硅片形成整面均勻的氮化硅鍍膜，減少太陽能電池產品的不良率的優點。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及太陽能電池
，尤其涉及一種真空吸附石墨舟。
技術介紹
在光伏太陽能行業，太陽能電池的制造要經過制絨，擴散，刻蝕，鍍膜，絲網印刷和燒結六大工序。其中，鍍膜工序的目的是采用等離子增強化學氣相沉積的方法在硅片正面鍍氮化硅膜，減少太陽光反射以及對硅片表面起鈍化作用。目前，光伏行業大多采用管式PECVD對硅片鍍膜，操作員工將花籃中的硅片插入專門的石墨舟里，然后將石墨舟放入爐管中鍍膜。石墨舟的單元舟片上設置有3個卡槽，卡住硅片的三條邊，將硅片固定住。由于卡槽對硅片有一定的遮擋，導致硅片的卡槽處沒有鍍上氮化硅膜或氮化硅膜很薄，顏色明顯不同，卡槽也容易使硅片產生崩邊和缺口，從而增加電池的不合格率。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題在于提供一種能形成整面均勻的氮化硅鍍膜，減少太陽能電池產品的不良率的真空吸附石墨舟。為了解決上述技術問題，本技術提供了一種真空吸附石墨舟，所述石墨舟設有有可裝載硅片的若干個單元舟片，每個單元舟片為中空結構，每個單元舟片設置有吸附孔和石墨插銷，每個單元舟片均與石英管道相連接。作為上述方案的改進，所述若干個單元舟片均勻分布在石墨舟上。作為上述方案的改進，所述每個單元舟的厚度為8mm-10mm。作為上述方案的改進，所述石英管道的直徑為3mm-5mm。作為上述方案的改進，所述每個單元舟片設置有五個吸附孔。作為上述方案的改進，所述五個吸附孔設在單元舟片的一側壁上。作為上述方案的改進，所述石墨插銷固定在單元舟片的上表面。作為上述方案的改進，所述石英管道與單元舟片的上表面相連接。實施本技術實施例，具有如下有益效果:本技術通過設有若干個有可裝載硅片的單元舟片，每個單元舟片為中空結構，每個單元舟片設置有吸附孔和石墨插銷，每個單元舟片均與石英管道相連接，石英管道抽去每個單元舟片內的空氣后就通過吸附孔吸入氮氣，不同于傳統石墨舟的卡槽模式，具有可以避免硅片產生崩邊和缺口，使硅片形成整面均勻的氮化硅鍍膜，減少太陽能電池產品的不良率的優點。【附圖說明】圖1是本技術一種真空吸附石墨舟示意圖；圖2是本技術單元舟片的結構示意圖。【具體實施方式】為使本技術的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖對本專利技術作進一步地詳細描述。如圖1、圖2所示，本技術的一種真空吸附石墨舟，所述石墨舟設有可裝載硅片的多個單元舟片I，每個單元舟片I為中空結構，每個單元舟片I設置有吸附孔11和石墨插銷12，每個單元舟片I均與石英管道2相連接。作為實施例的改進，多個單元舟片I均勻分布在石墨舟上。每個單元舟I的厚度為8mm-10mm。所述石英管道的直徑為3mm-5mm。每個單元舟片I設置有五個吸附孔11。五個吸附孔11設在單元舟片I的一側壁上。石墨插銷12固定在單元舟片I的上表面。石英管道2與單元舟片I的上表面相連接。本技術的一種真空吸附石墨舟通過設有可裝載硅片的多個單元舟片I，每個單元舟片I為中空結構，每個單元舟片設置有吸附孔11和石墨插銷12，每個單元舟片I均與石英管道2相連接，石英管道2抽去每個單元舟片I內的空氣后就通過吸附孔吸入氮氣，不同于傳統石墨舟的卡槽模式，具有可以避免硅片產生崩邊和缺口，使硅片形成整面均勻的氮化硅鍍膜，減少太陽能電池產品的不良率的優點。最后所應當說明的是，以上實施例僅用以說明本技術的技術方案而非對本技術保護范圍的限制，盡管參照較佳實施例對本技術作了詳細說明，本領域的普通技術人員應當理解，可以對本技術的技術方案進行修改或者等同替換，而不脫離本技術技術方案的實質和范圍。【主權項】1.一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石墨舟設有可裝載硅片的若干個單元舟片，每個單元舟片為中空結構，每個單元舟片設置有吸附孔和石墨插銷，每個單元舟片均與石英管道相連接。2.如權利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述若干個單元舟片均勻分布在石墨舟上。3.如權利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述每個單元舟的厚度為8mm-1Omm04.如權利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石英管道的直徑為3mm-5mm ο5.如權利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述每個單元舟片設置有五個吸附孔。6.如權利要求5所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述五個吸附孔設在單元舟片的一側壁上。7.如權利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石墨插銷固定在單元舟片的上表面。8.如權利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石英管道與單元舟片的上表面相連接。【專利摘要】本技術公開了一種真空吸附石墨舟，所述石墨舟設有若干個單元舟片，每個單元舟片為中空結構，每個單元舟片設置有吸附孔和石墨插銷，每個單元舟片均與石英管道相連接。與現有技術相比，本技術具有如下有益效果：本技術通過設有若干個單元舟片，每個單元舟片為中空結構，每個單元舟片設置有吸附孔和石墨插銷，每個單元舟片均與石英管道相連接，石英管道抽去每個單元舟片內的空氣后就通過吸附孔吸入氮氣，不同于傳統石墨舟的卡槽模式，具有可以避免硅片產生崩邊和缺口，使硅片形成整面均勻的氮化硅鍍膜，減少太陽能電池產品的不良率的優點。【IPC分類】H01L21/673, H01L31/18【公開號】CN205335233【申請號】CN201521142692【專利技術人】方結彬, 秦崇德, 石強, 黃玉平, 何達能, 陳剛 【申請人】廣東愛康太陽能科技有限公司【公開日】2016年6月22日【申請日】2015年12月31日本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石墨舟設有可裝載硅片的若干個單元舟片，每個單元舟片為中空結構，每個單元舟片設置有吸附孔和石墨插銷，每個單元舟片均與石英管道相連接。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：方結彬，秦崇德，石強，黃玉平，何達能，陳剛，
申請(專利權)人：廣東愛康太陽能科技有限公司，
類型：新型
國別省市：廣東;44
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