一種TEM樣品的制備方法技術

一種TEM樣品的制備方法，包括：步驟S1：提供樣品，樣品之硅基襯底上設置金屬層與低介電常數材料之組合層，且硅基襯底上設置的金屬層已完成化學機械研磨；步驟S2：在樣品的目標區域之表面涂覆有機材料層；步驟S3：對有機材料層進行減薄工藝處理；步驟S4：在有機材料層經減薄工藝處理后之樣品的目標區域沉積金屬保護層；步驟S5：對樣品進行減薄工藝處理，以完成TEM樣品制備。本發明專利技術通過在已完成化學機械研磨的目標區域上涂覆有機材料層，并進行減薄工藝處理，隨后沉積金屬保護層，完成TEM樣品的制備，不僅操作簡單、使用方便，而且可以獲得完好無損、清晰的樣品之表面形貌信息，值得推廣應用。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種TEM樣品的制備方法，其特征在于，所述TEM樣品的制備方法，包括：執行步驟S1：提供樣品，所述樣品之硅基襯底上設置金屬層與低介電常數材料之組合層，且所述硅基襯底上設置的金屬層已完成化學機械研磨；執行步驟S2：在所述樣品的目標區域之表面涂覆有機材料層；執行步驟S3：對所述有機材料層進行減薄工藝處理；執行步驟S4：在所述有機材料層經減薄工藝處理后之樣品的目標區域沉積金屬保護層；執行步驟S5：對樣品進行減薄工藝處理，以完成所述TEM樣品制備。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳強，陳勝，
申請(專利權)人：上海華力微電子有限公司，
類型：發明
國別省市：上海;31