兩段式角閥制造技術

本發明專利技術涉及一種兩段式角閥，其使用于真空艙壓力平衡作業，包括：一閥體，具有相連通的一第一管道及一第二管道；以及一連接于所述閥體處的驅動缸，所述驅動缸并具有一沿軸向位移的驅動軸，所述驅動軸端部設置有一位于所述第一管道與第二管道間的氣密閥片，所述氣密閥片并與第一管道活動氣密。本發明專利技術的有益效果為：所述驅動軸可帶動氣密閥片與第一管道先產生一第一間距，以控制第一、第二管道間以較小流量降低壓力差，再產生一較第一間距大的第二間距以大流量完成壓力平衡。確實避免第一、第二管道壓力差所產生氣流造成真空艙內待加工物被吹移的問題。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術有關于真空艙壓力平衡用的兩段式角閥有關，具體涉及一種具有兩段開啟行程、可先以第一段較小流量降低真空艙壓力差，再以第二段大流量完成真空艙壓力平衡，以避免壓力差所產生氣流造成真空艙內待加工物被吹移的問題的兩段式角閥。
技術介紹
晶圓、TFT IXD玻璃基板于制程中常需于真空環境下處理，一般待加工的晶圓、TFTLCD玻璃基板多于一可抽真空的真空艙內進行加工，而真空艙通常具有一進氣閥門連接大氣或空氣泵，可于加工完成后開啟進氣閥門以破除真空艙的真空狀況，并使真空艙之壓力直到與大氣壓力平衡，以方便真空艙可進行取料及進料動作。然而，傳統進氣閥門僅有一段行程，只能控制全開或全關，并無流量控制功效。當進氣閥門于真空艙真空狀態下開啟時，開啟初期的壓力差會造成極大、快速的氣流，造成真空艙內部的晶圓、TFT LCD玻璃基板容易被吹動而位移，導致晶圓、TFT LCD玻璃基板自載具上掉落、撞擊的問題產生。
技術實現思路
針對現有技術中存在的不足，本專利技術的目的在于提供一種兩段式角閥，可產生第一間距及第二間距兩段行程，以控制先以第一間距較小流量降低壓力差，再產生一較第一間距大的第二間距以大流量完成壓力平衡。本專利技術的技術方案如下: 一種兩段式角閥，包括:一閥體，所述閥體具有相連通的至少一第一管道及至少一第二管道；以及 一驅動缸，其一端連接于所述閥體處，并具有一沿驅動缸軸向位移的驅動軸，所述驅動軸端部可供一氣密閥片設置，且所述氣密閥片位于所述第一管道與第二管道間，所述氣密閥片并與第一管道活動氣密；其中，所述驅動軸可帶動氣密閥片與第一管道產生一第一間距及一第二間距，使得所述氣密閥片得以控制第一管道及第二管道間的流體流量。上述的兩段式角閥，所述驅動缸還包括有: 一設于所述驅動缸內的第一腔室； 一設于所述第一腔室的外活塞桿，所述外活塞桿具有一密合于第一腔室壁面的外活塞部，以及一沿驅動缸軸向設置的外桿部，所述外桿部軸向穿設有一軸孔； 一第二腔室，其設于所述外活塞部內，并與所述軸孔連通； 一內活塞桿，其具有一密合于第二腔室壁面的內活塞部，以及一穿設于所述軸孔內的內桿部，且所述內桿部連接于驅動軸； 一連通于第一腔室的外驅動流道；以及一連通于第二腔室的內驅動流道。上述的兩段式角閥，所述驅動缸連接于閥體的一端為一開口，所述開口處設有一端塊，所述端塊上穿設有一樞孔，以供所述外桿部端部穿設。上述的兩段式角閥，所述外驅動流道設置于端塊內，一端連通于所述第一腔室，另一端連通于端塊外部。上述的兩段式角閥，所述端塊處沿平行于外活塞桿軸向的方向突伸設有至少一滑桿，且所述外活塞部設有可供所述滑桿穿伸的滑孔。上述的兩段式角閥，所述內驅動流道具有一設于端塊內之第一段以及一設于所述滑桿內之第二段，且所述第二段一端連通于所述第一段，另一端則連通于所述第二腔室。上述的兩段式角閥，所述第二段自滑桿連接于端塊的一端沿滑桿軸心設置，并于滑桿的外周緣形成一開孔，且所述開孔并連通于第二腔室接近軸孔處。上述的兩段式角閥，所述外驅動流道與內驅動流道連通于端塊外部的一端設有一接頭。上述的兩段式角閥，所述內驅動流道設有一止逆裝置，俾以限制所述內驅動流道內之流體僅能由第一段往第二段方向流動。上述的兩段式角閥，所述止逆裝置為一設置于所述第一段與接頭間的止逆鋼珠，且所述止逆鋼珠往接頭方向位移時，所述止逆鋼珠可與所述接頭密合。上述的兩段式角閥，所述驅動缸相反于所述開口的另一端為一封閉端，所述封閉端與外活塞桿的外活塞部間設有一復位彈簧。上述的兩段式角閥，所述外活塞部的第二腔室可軸向滑動地設有一彈簧座，所述彈簧座可供復位彈簧的端部套設固定。上述的兩段式角閥，所述彈簧座呈中空狀，其內設有一內復位彈簧，且所述內復位彈簧的一端抵接于彈簧座，另一端抵接于內活塞部。本專利技術的有益效果為: (1)產生第一間距及第二間距兩段行程，以控制先以第一間距較小流量降低壓力差，再產生一較第一間距大的第二間距以大流量完成壓力平衡。確實避免第一、第二管道壓力差所產生氣流造成真空艙內待加工物被吹移之問題； (2)真空艙剛開啟時由于內外壓力差最大，造成需額外增加開啟之驅動力量。而本專利技術兩段式角閥先以較小第一間距開啟氣密閥片與第一管道，先破除真空艙之真空狀態，可有效減少開啟所需之驅動力量，并減少兩段式角閥與氣密閥片之耗損、增加產品耐用度。【附圖說明】圖1為本專利技術的立體結構組合圖。圖2為本專利技術的局部立體結構分解圖(一)。圖3為本專利技術的局部立體結構分解圖(二)。圖4為本專利技術的剖面示意圖。圖5為本專利技術剖面動作示意圖(一)。圖6為本專利技術剖面動作示意圖(二)。其中: 閥體10 第一管道11 第二管道12 驅動缸20 驅動軸21 氣密閥片22 第一間距dl 第二間距d2 第一腔室23 開□ 24 封閉端25 端塊30 樞孔31 滑桿32 外活塞桿40 外活塞部41 外桿部42 軸孔43 第二腔室44 滑孔45 環槽46 內活塞桿50 內活塞部51 內桿部52 外驅動流道60 內驅動流道70 接頭63 第一段71 第二段72 開孔721 接頭73 止逆裝置74 止逆鋼珠741 復位彈簧80 彈簧座81 內復位彈簧82。【具體實施方式】如圖圖4所示，本專利技術一種兩段式角閥，包括: 一閥體10，所述閥體10具有相連通的至少一第一管道11及至少一第二管道12，所述第一管道11連接于真空艙(圖未示)而第二管道12則連通于大氣或空氣泵(圖未示)； 以及 一驅動缸20，其一端連接于所述閥體10處，并具有一沿驅動缸20軸向位移的驅動軸21，所述驅動軸21端部可供一氣密閥片22設置，且所述氣密閥片22位于所述第一管道11與第二管道12間，并可受驅動軸21的帶動與所述第一管道11活動氣密；其中，所述驅動軸21可帶動氣密閥片22與第一管道11產生一第一間距dl及一第二間距d2，以使得所述氣密閥片22得以控制第一管道11及第二管道12間的流體流量。所述驅動缸20進一步包括有: 一設于所述驅動缸20內的第一腔室23 ;其中，所述驅動缸20連接于閥體10之一端為一開口 24，所述開口 24處設有一端塊30，所述端塊30上穿設有一樞孔31 ； 一設于所述第一腔室23的外活塞桿40，所述外活塞桿40具有一密合于第一腔室23壁面的外活塞部41，以及一沿驅動缸20軸向設置的外桿部42，所述外桿部42軸向穿設有一軸孔43 ;且所述外桿部42端部可滑動地穿設于樞孔31處；另外，所述端塊30處沿平行于外活塞桿40軸向的方向突伸設有至少一滑桿32，且所述外活塞部41設有可供所述滑桿32穿伸之滑孔45 ;在較佳的實施例中，所述滑桿32與滑孔45的數量可為兩個以上，圖3、圖4中以兩個為例。一第二腔室44，其設于所述外活塞部41內，并與所述軸孔43連通； 一內活塞桿50，其具有一密合于第二腔室44壁面的內活塞部51，以及一穿設于所述軸孔43內的內桿部52，且所述內桿部52的端部連接于驅動軸21 ;其中，在本實施例所述驅動軸21由外桿部42及內桿部52所組成； 一連通于第一腔室23的外驅動流道60 ;以及 一連通于第二腔室44的內驅動流道70，所述外驅動流道60與內驅動流道本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種兩段式角閥，其特征在于，包括：一閥體，所述閥體具有相連通的至少一第一管道及至少一第二管道；以及一驅動缸，其一端連接于所述閥體處，并具有一沿驅動缸軸向位移的驅動軸，所述驅動軸端部可供一氣密閥片設置，且所述氣密閥片位于所述第一管道與第二管道間，所述氣密閥片并與第一管道活動氣密；其中，所述驅動軸可帶動氣密閥片與第一管道產生一第一間距及一第二間距，使得所述氣密閥片得以控制第一管道及第二管道間的流體流量。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：蔡環宇，
申請(專利權)人：新萊應材科技有限公司，
類型：發明
國別省市：中國臺灣;71