【技術實現步驟摘要】
保持熱場水平的單晶爐筒
本技術涉及一種太陽能級單晶硅棒生產過程中使用的單晶爐,特別是單晶爐筒。
技術介紹
在單晶硅棒生產過程中,拉晶步驟有兩個重要的因素一真空和水平。水平問題主要包括兩部分:一種是爐體本身的水平,這個完全可以由維修人員借助水平儀調整,滿足拉晶時的需求;另一種是爐內熱場自身的水平,熱場是否處于水平狀態直接影響到拉晶過程是否順暢及硅棒內在品質是否能得到保證。如果熱場底部不處于水平狀態,那么最上端的熱場水平會更差。由于目前拉晶行業所使用的單晶爐筒底部保溫材料基本上是碳氈材料,其缺陷是多爐使用后容易塌陷及粉化,因此,新的熱場在水平問題上不會有太大的差異,等到了中后期,熱場水平問題就會突顯出來。
技術實現思路
技術目的:針對上述問題,本技術的目的是提供一種能夠長久保持整個爐內熱場處于較為理想的水平狀態、改善熱場內部熱循環的單晶爐筒。技術方案:一種保持熱場水平的單晶爐筒,其底部敷設碳氈層進行保溫,還包括石墨底盤和石墨支撐柱,所述碳氈層上開孔安裝所述石墨支撐柱,所述石墨底盤安裝在所述石墨支撐柱上。所述石墨底盤底面與所述碳氈層上表面保持5mm距離。所述石墨支撐柱至少為一個,在所述碳氈層上均布且保持在同一水平面上。有益效果:與現有技術相比,本技術的優點是在單晶爐筒內熱場底部采用石墨支撐柱支撐石墨底盤,在保證了爐內底部的熱場水平的同時,相應的爐內上部的熱場水平也得到了解決,保證了熱場長久處于水平狀態,改善了內部熱循環;增加底部保溫,減少了底部碳氈的老化;最終使硅棒內在品質得到改善,使硅片內在電阻分布更均勻。【附圖說明】附圖為本技術剖視結構示意圖。【具體實施方式 ...
【技術保護點】
一種保持熱場水平的單晶爐筒,其底部敷設碳氈層(1)進行保溫,其特征在于:還包括石墨底盤(2)和石墨支撐柱(3),所述碳氈層(1)上開孔安裝所述石墨支撐柱(3),所述石墨底盤(2)安裝在所述石墨支撐柱(3)上。
【技術特征摘要】
1.一種保持熱場水平的單晶爐筒,其底部敷設碳氈層(I)進行保溫,其特征在于:還包括石墨底盤(2 )和石墨支撐柱(3 ),所述碳氈層(I)上開孔安裝所述石墨支撐柱(3 ),所述石墨底盤(2)安裝在所述石墨支撐柱(3)上。2.根據權利要求1所...
【專利技術屬性】
技術研發人員:王誼,
申請(專利權)人:鎮江大成新能源有限公司,
類型:新型
國別省市:江蘇;32
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