刮傷掩模修補裝置及方法制造方法及圖紙

本發明專利技術公開了一種刮傷掩模修補裝置及方法，該裝置包括支架裝置、缺陷檢測裝置以及修補模塊，其中，支架裝置安裝在光刻機室內，所述缺陷檢測裝置和修補模塊均安裝在所述支架裝置上，且所述修補模塊包括多個不同尺寸的修補筆芯。所述刮傷掩模修補裝置的支架裝置直接安裝在光刻機室內，能夠在掩模刮傷時及時且快速的在光刻機內部進行修理，不影響光刻機的產能，使光刻機的功能更齊全、自動化程度更高，使掩模修補直接在光刻機內完成，充分利用了光刻機的內部空間，大幅度縮短了送修周期，且快速簡便、成本低廉、不影響產能。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及光刻機制造領域，特別涉及一種可應用于光刻機內部的。
技術介紹
IXD (液晶顯示屏)生產制造行業中，彩色濾光片的光刻制程需使用光刻機，由于接近式光刻機的價格遠低于步進掃描光刻機，同時也能滿足彩色濾光片的各項特性規格，所以業界彩色濾光片的光刻制程均采用近接式光刻設備。但實際生產過程中，由于接近式光刻機的掩模和載臺上產品的間隙較小，一般在300um以下，掩模很容易被污染和刮傷，污染后可在廠內清洗，而掩模刮傷后則直接對產品造成影響，且掩模刮傷造成的產品異常經常是批量性的，良率損失較大。因此，在掩模刮傷后，通常是將損傷的掩模送至專門的掩模制作或修補廠家進行修補，修補周期較長，修補成本也很高。現在生產中，彩色濾光片的掩模多為鉻膜版，其光密度(OD)規格一般要求不小于4,目前的掩模版刮傷后主要有三種修補方法:錯射CVD (化學氣相沉積)修補方法、錯射液態合金涂布修補方法、注射印刷修補方法。另外，目前市場上在售或者相關文獻提及的修補設備，都是孤立的專門的有修理平臺的較大型的設備。例如，現有技術中存在的一種用于修補刮傷掩模的修理設備，該設備采用鐳射和光阻注射結合的修理方法，由于該修理設備都是相互孤立的，價格比較昂貴，需要掩模的修理平臺，且對于刮傷類的缺陷都使用比較復雜和昂貴的修補材料，成本較高。
技術實現思路
本專利技術提供一種可應用于光刻機內部的，以克服現有技術中掩模修補周期長、成本高的問題。為解決上述技術問題，本專利技術提供一種刮傷掩模修補裝置，包括:支架裝置、缺陷檢測裝置以及修補模塊，其中，支架裝置安裝在光刻機室內，所述缺陷檢測裝置和修補模塊均安裝在所述支架裝置上，且所述修補模塊包括多個不同尺寸的修補筆芯。作為優選，所述支架裝置包括懸吊桿、掩模支架以及二維移動導桿，所述懸吊桿設置在所述掩模支架的兩側，所述二維移動導桿與所述缺陷檢測裝置和修補模塊相連。作為優選，所述懸吊桿通過一旋轉桿與所述掩模支架相連。作為優選，所述掩模支架的四周設有多個掩模吸附夾。作為優選，所述修補模塊包括筆芯夾持裝置和修補液的存儲和抽取裝置，其中，所述筆芯夾持裝置包括卡盤和可升降桿；所述修補液的存儲和抽取裝置包括:抽取泵、存儲瓶和存儲管，所述可升降桿分別與所述二維移動導桿和卡盤接觸，所述卡盤上設有與所述不同尺寸筆芯對應的卡槽，所述存儲管設置在所述修補筆芯的頂部并與所述存儲瓶相連，所述存儲瓶與所述抽取泵相連。作為優選，所述修補筆芯為記號筆芯。作為優選，采用速干墨水作為修補液。作為優選，所述存儲管為塑料材質。作為優選，所述存儲瓶與所述存儲管之間通過導管連通。作為優選，所述筆芯夾持裝置還包括設置在所述修補筆芯上，用于控制所述修補筆芯升降的升降導桿。作為優選，所述控制模塊為PC機。本專利技術還提供一種刮傷掩模修補方法，包括:對刮傷掩模進行清洗；將清洗后的刮傷掩模送至支架裝置；缺陷檢測裝置對所述刮傷掩模進行缺陷定位掃描和拍照；根據缺陷檢測裝置的檢測結果選擇掩模的修補區域和路徑；修補模塊根據已選擇的修補區域和路徑對刮傷掩模進行修補。作為優選，所述修補模塊根據已選擇的修補區域和路徑對刮傷掩模進行修補的步驟包括:對修補區域上的缺陷進行尺寸測量，并選擇對應尺寸的修補筆芯；抽取泵提供動力將修補液供應至對應的修補筆芯處；修補筆芯沿著已選擇路徑對刮傷掩模進行修補。作為優選，采用接觸式修補方法對所述刮傷掩模進行修補。與現有技術相比，本專利技術具有以下優點:刮傷掩模修補裝置的支架裝置直接安裝在光刻機室內，能夠在掩模刮傷時及時且快速的在光刻機內部進行修理，不影響光刻機的產能，使光刻機的功能更齊全、自動化程度更高，使掩模修補直接在光刻機內完成，充分利用了光刻機的內部空間，大幅度縮短了送修周期，且快速簡便、成本低廉、不影響產能。【附圖說明】圖1為本專利技術一【具體實施方式】中刮傷掩模修補裝置(掩模支架垂直于水平面)的結構示意圖；圖2為本專利技術一【具體實施方式】中刮傷掩模修補裝置(掩模支架平行于水平面)的結構示意圖；圖3為本專利技術一【具體實施方式】中刮傷掩模修補裝置中修補模塊(修補筆芯傾斜設置)的結構示意圖；圖4為本專利技術一【具體實施方式】中刮傷掩模修補裝置中修補模塊(修補筆芯豎直設置)的結構示意圖；圖5為本專利技術一【具體實施方式】中刮傷掩模修補方法的流程圖。圖中:1-支架裝置、11-懸吊桿、12-掩模支架、13-二維移動導桿、14-旋轉桿、15-掩模吸附夾、2-缺陷檢測裝置、3-修補模塊、31-可升降桿、32-卡盤、33-修補筆芯、34-存儲瓶、35-存儲管、36-導管。【具體實施方式】為使本專利技術的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本專利技術的【具體實施方式】做詳細的說明。需說明的是，本專利技術附圖均采用簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本專利技術實施例的目的。請參照圖f 4，本專利技術提供一種刮傷掩模修補裝置，包括支架裝置1、缺陷檢測裝置2、控制模塊(未圖示)以及修補模塊3。其中，所述支架裝置I安裝在光刻機室內用于固定刮傷掩模，所述缺陷檢測裝置2和修補模塊3均安裝在所述支架裝置I上。具體地，所述支架裝置I可懸吊在光刻機的任何空閑的空間內，本實施例優選為懸吊在光刻機的載臺原位區上方，當然也可以用于掩模清洗機等其它設備內部作為其附屬結構。掩模刮傷時，缺陷檢測裝置2通過在所述支架裝置I上移動對所述刮傷掩模進行定位掃描及拍照；控制模塊根據所述缺陷檢測裝置2的檢測結果選擇所述刮傷掩模的修補區域及路徑，并對所述修補區域的掩模缺陷尺寸進行測量；修補模塊3包括多個不同尺寸的修補筆芯，并根據所述控制模塊測量的結果選擇對應尺寸的修補筆芯33，并根據所述路徑在所述支架裝置I上移動修補模塊3至所述修補區域對所述掩模缺陷進行修補。無需將刮傷掩模送至修補廠家進行修理，縮短了掩模的修補周期并節省了修補成本。此外，本實施例的刮傷掩模修補裝置能夠在掩模刮傷時及時且快速的在光刻機內部進行修理，不影響光刻機的產能，并可以大大縮短送修周期。請繼續參照圖1~4，所述支架裝置I包括懸吊桿11、掩模支架12以及二維移動導桿13，所述懸吊桿11設置在所述掩模支架12的兩側，所述二維移動導桿13與所述缺陷檢測裝置2和修補模塊3相連。具體地，所述懸吊桿11用于懸掛和固定所述刮傷掩模修補裝置，所述掩模支架12用于承載掩模，缺陷檢測裝置2和修補模塊3在所述二維移動導桿13上移動，實現對掩模的檢測和修補。較佳的，所述懸吊桿11通過一旋轉桿14與所述掩模支架12相連。所述旋轉桿14能夠繞自身的中心軸進行90度旋轉，使得所述掩模支架12能夠在平行于水平面和 垂直于水平面兩種狀態下轉換，便于實際運用，具體請對比圖1和圖2ο較佳的，所述掩模支架12周圍還設有多個掩模吸附夾15,用于固定掩模,避免掩模在修補過程中發生移動或者脫落。請參照圖:1`4，并結合圖1`~2，本實施例中，所述修補模塊3包括筆芯夾持裝置和修補液的存儲和抽取裝置，其中，所述筆芯夾持裝置包括卡盤32和可升降桿31 ;所述修補液的存儲和抽取裝置包括:抽取泵(圖中未示出)、存儲瓶34和存儲管35。較佳的，所述可升降桿31分別與所述二維移動導桿13和卡盤32接觸，所述卡盤32上設有與所述不同尺寸修補筆芯33對應的卡槽(未圖示)，所述存儲管35設置在本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種刮傷掩模修補裝置，其特征在于，包括：支架裝置，安裝在光刻機室內用于固定刮傷掩模；缺陷檢測裝置，安裝在所述支架裝置上，并通過在所述支架裝置上移動對所述刮傷掩模進行定位掃描及拍照；控制模塊，根據所述缺陷檢測裝置的檢測結果選擇所述刮傷掩模的修補區域及路徑，并對所述修補區域的掩模缺陷尺寸進行測量；以及修補模塊，安裝在所述支架裝置上，包括多個不同尺寸的修補筆芯，并根據所述控制模塊測量的結果選擇對應尺寸的修補筆芯，并根據所述路徑在所述支架裝置上移動所述修補模塊至所述修補區域對所述掩模缺陷進行修補。

【技術特征摘要】
1.一種刮傷掩模修補裝置，其特征在于，包括: 支架裝置，安裝在光刻機室內用于固定刮傷掩模； 缺陷檢測裝置，安裝在所述支架裝置上，并通過在所述支架裝置上移動對所述刮傷掩模進行定位掃描及拍照； 控制模塊，根據所述缺陷檢測裝置的檢測結果選擇所述刮傷掩模的修補區域及路徑，并對所述修補區域的掩模缺陷尺寸進行測量；以及 修補模塊，安裝在所述支架裝置上，包括多個不同尺寸的修補筆芯，并根據所述控制模塊測量的結果選擇對應尺寸的修補筆芯，并根據所述路徑在所述支架裝置上移動所述修補模塊至所述修補區域對所述掩模缺陷進行修補。2.如權利要求1所述的刮傷掩模修補裝置，其特征在于，所述支架裝置包括懸吊桿、掩模支架以及二維移動導桿，所述懸吊桿設置在所述掩模支架的兩側，所述二維移動導桿與所述缺陷檢測裝置和修補模塊相連。3.如權利要求2所述的刮傷掩模修補裝置，其特征在于，所述懸吊桿通過一旋轉桿與所述掩模支架相連。4.如權利要求2所述的刮傷掩模修補裝置，其特征在于，所述掩模支架的四周設有多個掩模吸附夾。5.如權利要求2所述的刮傷掩模修補裝置，其特征在于，所述修補模塊還包括筆芯夾持裝置和修補液的存儲和抽取裝置，其中，所述筆芯夾持裝置包括卡盤和可升降桿；所述修補液的存儲和抽取裝置包括:抽取泵、存儲瓶和存儲管，所述可升降桿分別與所述二維移動導桿和卡盤接觸，所述卡盤上設有與所述多個不同尺寸修補筆芯對應的卡槽，所述存儲管設置在所述修補筆芯的頂部并與所述...

【專利技術屬性】
技術研發人員：李會麗，聞人青青，張俊，李志丹，
申請(專利權)人：上海微電子裝備有限公司，
類型：發明
國別省市：上海;31